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林旭峰

作品数：6 被引量：12H指数：1
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 4篇导光
  • 4篇阵列
  • 4篇阵列波导
  • 4篇阵列波导光栅
  • 4篇光栅
  • 4篇波导
  • 4篇波导光栅
  • 3篇共掺
  • 3篇光波
  • 3篇光波导器件
  • 3篇波导器件
  • 2篇氧化硅
  • 2篇氧化硅薄膜
  • 2篇退火
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇二氧化硅
  • 2篇二氧化硅薄膜
  • 2篇高温退火
  • 2篇硼
  • 2篇锗

机构

  • 6篇浙江大学
  • 2篇中国计量学院

作者

  • 6篇林旭峰
  • 3篇何建军
  • 2篇郎婷婷
  • 1篇李炉航
  • 1篇沈小明
  • 1篇莫凡
  • 1篇赵彦彦

传媒

  • 1篇光学学报
  • 1篇全国第14次...

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
基于硼锗共掺高温退火实现二氧化硅波导间隙填充
用等离子增强化学气相沉积方法生长二氧化硅波导时，如果波导间距较小，会在波导芯层间产生空隙，并因此导致损耗增加。本文针对这个问题，提出一种新颖的简便方法，在上包层使用硼锗共掺，利用高温退火工艺，实现二氧化硅波导间隙填充，从...
林旭峰郎婷婷何建军
关键词：化学气相沉积
文献传递
手性螺环磷酸催化制备光学活性α-氨基膦酸酯衍生物的方法
本发明公开了一种手性螺环磷酸催化制备光学活性α-氨基膦酸酯衍生物的方法。它是以手性螺环磷酸为催化剂，在有机溶剂中亚胺和亚膦酸二烷基酯在室温搅拌反应，经简易后处理纯化过程制备得到高纯度的光学活性α-氨基膦酸酯衍生物。本发明...
沈小明莫凡李炉航赵彦彦林旭峰
文献传递
基于硼锗共掺上包层的二氧化硅光波导器件及制备方法
本发明公开了一种基于硼锗共掺上包层的二氧化硅光波导器件及制备方法。在基底上沉积二氧化硅下包层，在下包层上表面沉积掺杂锗的二氧化硅薄膜后，通过光刻、刻蚀工艺形成截面为方形的波导芯层；在二氧化硅下包层与波导芯层上面沉积一层掺...
何建军林旭峰
文献传递
硅基二氧化硅阵列波导光栅制作工艺的研究被引量：12
2011年
硅基二氧化硅阵列波导光栅是集成化波分复用光网络中的核心器件之一。对其制作工艺的研究对提高器件的性能具有重大意义。提出一种在波导上包层使用硼锗共掺高温退火的工艺方法,成功实现阵列波导间空隙的填充,并将阵列波导光栅的插入损耗成功降低约2 dB。相对于传统的硼磷硅玻璃工艺,此方法避免了剧毒气体磷烷的使用,工艺简便安全,同时降低了成本。最后,通过对光刻、增强型等离子体化学气相沉积法(PECVD)薄膜沉积、感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀和高温退火回流等工艺步骤的改进、完善和优化,实现了额外损耗约为1.5 dB的阵列波导光栅。
郎婷婷林旭峰何建军
关键词：集成光学平面光波导器件阵列波导光栅
基于硼锗共掺上包层的阵列波导光栅波分复用器件研制
上世纪70年代，磷化铟材料外延技术的进步使得长寿命，高可靠性的半导体有源器件走向成熟，为光通信的飞跃式发展奠定了基础。磷化铟及其四元衍生物的能带结构可以随组分变化，为各种高集成度光子器件的实现提供了极大的灵活性，因此磷化...
林旭峰
关键词：蚀刻衍射光栅
基于硼锗共掺上包层的二氧化硅光波导器件及制备方法
本发明公开了一种基于硼锗共掺上包层的二氧化硅光波导器件及制备方法。在基底上沉积二氧化硅下包层，在下包层上表面沉积掺杂锗的二氧化硅薄膜后，通过光刻、刻蚀工艺形成截面为方形的波导芯层；在二氧化硅下包层与波导芯层上面沉积一层掺...
何建军林旭峰
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