杨瑾
- 作品数：26 被引量：18H指数：2
- 供职机构：天津师范大学物理与电子信息学院更多>>
- 发文基金：天津市应用基础与前沿技术研究计划国家自然科学基金天津市科技计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺理学更多>>
- 工作气压对TaN/VN纳米多层膜结构与机械性能的影响被引量：1
- 2007年
- 本研究选择钽和钒的氮化物作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备TaN、VN及一系列的TaN/VN多层薄膜。通过XRD,纳米力学测试系统分析了该体系合成中工作气压对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明多层膜的纳米硬度值都高于两种个体材料混合相的硬度值;当工作气压为0.2Pa时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、弹性模量、应力均达到最佳效果,最大硬度达到31GPa。多层膜的机械性能改善明显与工作气压的变化有直接的联系。证明了通过选择合适的工作气压条件,合成具有高硬度的纳米多层膜是可以实现的。
- 张学华曹猛乔林杨瑾刘桐李德军
- 关键词：射频磁控溅射工作气压
- ZrN、WN的调制比例对ZrN／WN纳米多层膜结构与机械性能的影响
- 利用射频磁控溅射系统制备了调制周期A等于30 nm的一系列具有不同调制比例的 ZrN／WN纳米多层膜。X射线衍射仪、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究表明:ZrN／WN纳米多层膜的界面清晰,调制周期性良好;适当的ZrN和W...
- 杨瑾王明霞李德军
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
- 调制周期对TaN/VN纳米多层膜的影响被引量：3
- 2007年
- 本研究选择钽和钒的氮化物作为个体层材料,利用射频磁控溅射系统制备TaN、VN及一系列的TaN/VN多层薄膜。通过XRD和纳米力学测试系统分析了该体系合成以后的晶体结构、调制周期对力学性能的影响。结果表明:多层膜的纳米硬度值普遍高于两种个体材料混合相的硬度值;当调制周期为30 nm时TaN/VN多层膜达到最大硬度31 GPa,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、弹性模量以及耐磨性能均达到最佳效果。
- 张学华曹猛杨瑾刘桐王明霞邓湘云李德军
- 关键词：射频磁控溅射调制周期
- 不同靶材制备TaN单层薄膜的晶体结构与力学性能被引量：3
- 2007年
- 以钽氮化物为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统,制备以TaN和金属Ta为靶材的两种TaN单层薄膜.通过XRD和纳米力学测试系统分析它们的晶体结构和TaN靶材对薄膜机械性能的影响.结果表明,TaN靶材制备的TaN单层膜的纳米硬度值普遍高于Ta靶材的;当工作气压为0.4 Pa时,TaN单层膜的硬度最大,即35.4 GPa,其结晶出现多元化,使单层膜的硬度、弹性模量以及膜基结合性能均达到最佳.
- 张学华曹猛杨瑾刘桐李德军
- 关键词：射频磁控溅射
- ZrC/ZrB_2纳米多层膜的微结构和耐磨性被引量：1
- 2007年
- 采用射频磁控溅射方法在Si(100)基底上制备了一系列ZrC/ZrB2纳米多层膜和ZrC,ZrB2单层薄膜.通过扫描电子显微镜(SEM),MS-T3000摩擦磨损仪及表面轮廓仪(XP-2)研究了薄膜的微结构和耐磨性.结果表明,多层膜的界面清晰,调制周期性好,周期为3.52 nm的多层膜摩擦系数最小,约为0.24;ZrC/ZrB2纳米多层膜的耐磨性优于ZrC和ZrB2单层薄膜;ZrC/ZrB2多层膜耐磨性提高的主要原因是,调制结构中大量界面的存在,提高了薄膜的韧性,从而增强了薄膜的耐磨性能.
- 杨瑾李德军
- 关键词：磁控溅射微结构耐磨性
- CrN／ZrN纳米多层膜的合成及其结构和性能的研究
- 利用非平衡直流磁控双靶溅射在不同的基底转速(4-11 r／min)和不同反应气体流量下制备一系列的具有纳米周期的CrN／ZrN多层膜。利用X射线衍射,俄歇电子能谱,X射线光电子能谱表征了薄膜的成分和结构,利用纳米力学测试...
- 张晶晶王明霞杨瑾刘谦祥李德军
- 关键词：磁控溅射多层膜
- 文献传递
- N_2分压对ZrN/WN纳米多层膜缺陷性质与力学性能的影响被引量：2
- 2007年
- 利用射频磁控溅射系统在不同N2分压的条件下,制备了一系列ZrN/WN纳米多层膜.借助慢正电子湮没技术分析了样品的缺陷性质,采用纳米压痕仪研究了多层膜的力学性能.结果发现:N2分压为0.4Pa的多层膜具有最小的空位型缺陷浓度,其中心层和膜基结合层的平均S参数分别为0.4402和0.4641,而较低或较高的N2分压都可能导致空位型缺陷浓度的增加.随着空位型缺陷浓度的减小,多层膜的硬度和临界载荷增大.对于空位型缺陷浓度最小的多层膜,其硬度和临界载荷达到最大值,分别为34.8GPa和100mN,说明较低的缺陷浓度有利于提高多层膜的力学性能.
- 王立群王明霞李德军杨瑾余大书宿杰
- 关键词：力学性能
- ZrN、WN的调制比例对ZrN/WN纳米多层膜结构与机械性能的影响
- 利用射频磁控溅射系统制备了调制周期Λ等于30nm的一系列具有不同调制比例的ZrN/WN纳米多层膜。X射线衍射仪、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究表明:ZrN/WN纳米多层膜的界面清晰,调制周期性良好;适当的ZrN和WN调...
- 杨瑾王明霞李德军
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
- 用IBAD方法合成ZrN/W纳米多层膜被引量：2
- 2006年
- 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备具有纳米尺寸的ZrN/W多层膜,通过改变双靶的沉积时间,合成一系列的具有不同调制周期(3 nm^10 nm)的纳米多层膜。利用AES,XRD和纳米力学测试系统,表面形貌仪表征了薄膜的成分、结构和机械性能,分析了不同调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明:多层膜的机械性能普遍优于两种个体材料的混合相;在调制周期为8.6 nm时,显示出强的ZrN(111),W(110)织构和较弱的ZrN(220)峰,与其他条件下制备的样品比较,它具有较高的硬度(~26 GPa),较高的弹性模量(~310 GPa)和较强的膜基结合力(~80 mN)。低角度XRD分析证明了薄膜的多层结构。
- 张晶晶王明霞杨瑾刘谦祥李德军
- 关键词：IBAD多层膜超晶格
- CrN/zrN纳米多层膜的合成及其结构和机械性能的研究
- 在切削工具表面沉积保护膜可以明显提高其使用寿命和切削速度。近年来,过渡金属氮化物如CrN,ZrN,TiN已被广泛应用作保护涂层,而且CrN己被证实具有良好的的抗腐蚀和耐磨性,比TiN有更好的抗氧化性,与众多金属有更好的结...
- 张晶晶王明霞杨瑾刘谦祥李德军
- 文献传递
