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MEMS自供能压电电磁集成发电研究现状被引量：9: 2014年; 压电电磁集成发电是指利用功能材料的压电效应和法拉第电磁感应定律设计压电和电磁两种能量转换方式的集成结构,实现环境振动机械能向电能转换。描述了压电电磁集成微能源技术的原理和特点,介绍了压电电磁集成发电理论建模过程,分析了国内外关于集成微电源结构的设计及优化,概况了各种压电电磁集成发电结构的特点。介绍了各种集成结构的集成化加工技术,包括压电梁制作、感应线圈制作和压电电磁系统集成。最后对压电电磁集成发电存在的技术问题进行了分析,新型集成自供能微能源研究将提高能量收集效率并实现与无线传感节点集成供能。; 杜小振曾祥伟卞丰赵继强; 关键词：压电发电微电源微加工技术

一种基于微加工技术的压电电磁集成发电装置: 本发明公开了一种基于微加工技术的压电电磁集成发电装置，包括衬底，衬底的上方设置有外壳和盖板，外壳的上部和下部均为开口结构，外壳的底端与衬底的上端面相键合，外壳的顶端与盖板的下端面之间设置有相互键合的焊片和金属环片，焊片的...; 杜小振张龙波曾祥伟朱文斗张燕; 文献传递

一种基于微加工技术的压电电磁集成发电装置: 本发明公开了一种基于微加工技术的压电电磁集成发电装置，包括衬底，衬底的上方设置有外壳和盖板，外壳的上部和下部均为开口结构，外壳的底端与衬底的上端面相键合，外壳的顶端与盖板的下端面之间设置有相互键合的焊片和金属环片，焊片的...; 杜小振张龙波曾祥伟朱文斗张燕

红外圆偏振光透雾性能分析被引量：4: 2017年; 雾对红外系统的探测性能有一定影响,圆偏振光在雾中传输时具有优良的保偏性和持久性,为解决雾的红外遮蔽问题提供了新思路。分析雾对红外光波的衰减是由吸收和散射共同作用;阐述了圆偏振光透雾是由圆偏振光波螺旋性的随机化速率缓慢和圆偏振光子在传播方向的随机化速率缓慢共同作用,致使圆偏振光受雾滴的光散射影响较小;结合圆偏振透雾机理和大气光谱特征,探究雾中目标检测的优化波段,研究表明:在近红外波段的0.78~1.1μm、1.48~1.56μm、1.63~1.86μm、2.03~2.18μm、2.39~2.5μm和中红外波段的3.6~4.15μm,适宜采用圆偏振成像技术提高红外系统透雾性能,长红外波段,雾滴的光吸收占总消光的比例增大,已不宜采用圆偏振成像技术来提高红外系统的透雾性能。最后,分析了红外圆偏振透雾技术的特点,并对深入研究提出了建议。; 曾祥伟褚金奎康维东; 关键词：圆偏振波段选择

基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅被引量：9: 2017年; 用纳米压印工艺制备红外金属光栅时,硬模板压印极易造成光栅结构缺陷致使光栅性能下降。本文采用柔性纳米压印工艺作为替代方法制备了适合在3-5μm波段工作,高度为100nm,上下金属层厚为40nm的双层金属纳米光栅,其光栅结构参数为:周期200nm,线宽100nm,深宽比1∶1。该方法采用热纳米压印工艺将母模板光栅结构复制到IPS(Intermediate Ploymer Sheet)材料上,制作出压印所需软模板;随后通过紫外纳米压印工艺将IPS软模板压印到STU-7压印胶,得到结构完整均匀的介质光栅;最后在介质光栅上垂直热蒸镀金属铝,完成中红外双层金属纳米光栅的制备。对所制备光栅进行了测试,结果表明,所制备光栅在2.5~5μm波段的TM偏振透射率超过70%,在2.7~5μm波段的消光比超过30dB,在2.72~3.93μm波段的消光比超过35dB,显示了优异的消光比特性和偏振特性。该研究结果在红外偏振探测、红外偏振传感等方面具有潜在应用。; 褚金奎康维东曾祥伟张然; 关键词：金属光栅

微型压电电磁振动能采集器设计制作工艺研究被引量：3: 2016年; 为收集环境中普遍存在的振动能,设计了一种微型压电电磁式振动能量采集器,研究系统设计参数对输出功率的影响因素。依据压电电磁集成发电工作原理设计了复合采集器,建立能量转换的理论计算模型分析压电电磁复合发电系统的输出功率及其与感应线圈高度的关系,分别讨论了压电和电磁独立发电系统和集成发电系统等的输出功率及其相互关系。经反复试验确定了微电源集成制作流程。; 杜小振曾祥伟关乐张然张龙波; 关键词：压电发电微电源

压电电磁式振动能量采集器设计与集成微工艺研究: 微机电系统(简称MEMS)是指特征尺寸在1～1000μm之间、利用集成电路加工技术将机械和电子元件集成的器件。利用微加工技术制作的MEMS产品已经广泛应用到无线传感网络、医疗与卫生、生物、环境监测、气象预报、军事、信息通...; 曾祥伟; 关键词：微电源微加工技术

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曾祥伟