戴彬
- 作品数:15 被引量:6H指数:2
- 供职机构:中国核工业集团公司核工业西南物理研究院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学更多>>
- 一种阳极层线性离子源
- 本实用新型属于离子束,具体涉及一种适用于离子束清洗和离子束刻蚀的阳极层线性离子源。它包括阴极底板,阴极底板上固定有阴极框,阴极框的顶部固定有阴极外顶板和阴极内顶板,所述的阴极外顶板与阴极内顶板之间设有一开口,阴极内顶板与...
- 韩大凯童洪辉戴彬刘晓波饶敏赵军徐丽云王军生
- 文献传递
- 大面积PET基中频反应磁控溅射沉积TiN隔热薄膜实验研究被引量:2
- 2011年
- 本文讨论在柔性基材PET上沉积氮化钛(TiN)阳光控制膜——作为隔热薄膜。"隔热"是指对红外光区的有效阻隔。氮化钛(TiN)薄膜具有光谱选择透过性,因此可以作为阳光控制薄膜使用。实验采用中频孪生靶磁控溅射实验装置,在等离子体辐射监视系统(PEM)的控制下,在大面积PET柔性基材上沉积TiN隔热薄膜。实验主要研究了制备不同透光率的PET基TiN隔热膜并观察薄膜表面状况;对沉积的TiN薄膜用分光光度仪进行光谱透过率分析并计算各种透过率薄膜的光学性能参数,比较不同透过率的隔热效果;为了对该隔热薄膜的化学稳定性进行分析,还做了耐酸碱性测试。通过本实验为以后的大规模工业产业化发展奠定良好的基础。
- 翟玉涛戴彬王军生韩大凯王治安
- 关键词:阳光控制反应溅射
- 低辐射贴膜、低辐射镀膜玻璃及中空玻璃
- 本发明提供了一种低辐射贴膜,包括基材,在所述基材的一个表面上镀有低辐射镀层,所述低辐射镀层为NiCr合金镀层/AgCu合金镀层/NiCr合金镀层的三层结构。本发明还提供低辐射镀膜玻璃及中空玻璃。本发明的低辐射贴膜,采用A...
- 刘维戴彬
- 文献传递
- 用于加工隔热膜的条缝挤压涂布系统
- 本实用新型所述的一种用于加工隔热膜的条缝挤压涂布系统,其包括一个储料槽,在储料槽下方通过管路依次连接有计量泵、过滤器、超声脱泡器,超声脱泡器出口端与条缝挤压涂布器相连,条缝挤压涂布器下端连接负压箱;在储料槽与计量泵之间设...
- 刘小华赵军戴彬文磊何山胡德福
- 文献传递
- 一种软胶面沟槽展平辊
- 本实用新型属于一种展平辊,具体涉及一种适用于镀膜,涂布,复合,印刷等行业,对柔性基材进行展平使用的软胶面沟槽展平辊。它包括芯轴,芯轴外包有软胶面,在所述的软胶面上开有环状矩形槽,环状矩形槽在软胶面呈等间距排布,环状矩形槽...
- 戴彬韩大凯刘晓波赵军胡德福王军生
- 文献传递
- 柔性基体上沉积大面积高均匀透明导电膜及其制备方法
- 本发明属于复合导电膜技术,具体涉及一种柔性基体上沉积大面积高均匀透明导电膜及其制备方法。该方法将PET柔性基体的一面贴在冷鼓上,采用中频反应磁控溅射孪生靶技术在PET柔性基体的另一面依次连续沉积氧化铟锡、银、钛、氧化铟锡...
- 王治安戴彬陈庆川王珂徐丽云
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- 一种柔性基材卷绕镀膜机的冷鼓系统
- 本实用新型属于真空镀膜技术领域,特别涉及一种柔性基材镀膜机的冷鼓系统。目的是提供一种易于使用的冷鼓系统。它包括:冷鼓轴(14)、焊接于冷鼓轴(14)上的圆柱形冷鼓(15)、进出水隔离管(9);冷鼓(15)整体为圆柱形,其...
- 刘晓波戴彬陈庆川韩大凯胡德福王珂赵嘉学
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- 磁控溅射技术沉积NSN70隔热膜的实验研究
- 2017年
- 利用磁控溅射技术,在柔性基材PET上沉积Ag Cu合金制备的NSN系列隔热膜,继承了单Ag隔热膜良好的光谱选择性,同时能有效的解决Ag易硫化的难题。通过选择合适的Ag Cu合金靶材、NSN70隔热膜的膜系设计与制备、样品的形貌检测、耐候性实验、光学性能测试等多方面研究了NSN隔热膜。实验结果为以后大规模工业化生产NSN系列隔热膜奠定基础。
- 蒋恒戴彬饶敏
- 关键词:磁控溅射
- 影响磁控溅射均匀性的因素
- 用中频孪生靶磁控溅射实验平台,对影响磁控溅射生成的薄膜厚度均匀性的因素进行了实验。结果表明,磁场的均匀性和工作气体的均匀性是影响成膜均匀性的主要因素。针对实验结果,提出了用磁场和气体相互配合达到高的镀膜均匀性。
- 王军生童洪辉赵嘉学韩大凯戴彬
- 关键词:磁控溅射磁场气体均匀性
- 文献传递
- 电源工作模式对中频磁控溅射沉积速率的影响被引量:4
- 2009年
- 在中频孪生靶磁控溅射实验装置上,研究了电源恒压、恒流、恒功率工作模式下沉积速率与气压、电参数之间的关系,得出不同工作模式下电压、电流、功率及频率、占空比对沉积速率的影响:恒流模式下沉积速率稳定性最好,恒压最差;气压变化时,恒功率、恒流工作模式有稳定沉积速率作用;恒流模式下,沉积速率随占空比升高而减小,随频率升高而增大。
- 王军生童洪辉赵嘉学戴彬
- 关键词:磁控溅射沉积速率