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徐海滨

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

主题

  • 8篇晶圆
  • 5篇干燥装置
  • 4篇组件
  • 4篇机械手
  • 3篇刷洗
  • 3篇装载装置
  • 2篇水箱
  • 2篇转盘
  • 2篇卡爪
  • 2篇夹持
  • 2篇夹持机构
  • 1篇药剂
  • 1篇兆声清洗
  • 1篇喷头
  • 1篇平移
  • 1篇自转
  • 1篇晶圆清洗
  • 1篇可旋转
  • 1篇化学药剂

机构

  • 8篇清华大学
  • 2篇天津华海清科...

作者

  • 8篇徐海滨
  • 6篇路新春
  • 6篇何永勇
  • 5篇沈攀
  • 3篇许振杰
  • 3篇雒建斌
  • 3篇裴召辉
  • 3篇郭振宇
  • 3篇张莉瑶
  • 3篇王同庆
  • 1篇周顺
  • 1篇李冉

年份

  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2013
  • 2篇2012
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
晶圆干燥装置
本发明公开了一种晶圆干燥装置。所述晶圆干燥装置包括：本体；晶圆夹持机构，所述晶圆夹持机构设在所述本体上用于支撑沿竖直方向定向的晶圆；水箱，所述水箱可上下移动地设在所述本体上，所述水箱的顶壁上设有沿上下方向贯通所述顶壁的槽...
路新春徐海滨沈攀何永勇
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化学机械抛光设备
本发明公开了一种化学机械抛光设备。所述化学机械抛光设备包括：用于存放晶圆的晶盒装载装置；用于放置晶圆的晶圆过渡装置；第一机械手；化学机械抛光机；晶圆清洗装置，晶圆清洗装置包括具有第一容纳腔的第一本体、设在第一容纳腔内第一...
路新春何永勇沈攀许振杰王同庆裴召辉徐海滨张莉瑶郭振宇雒建斌
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晶圆夹持机构
本发明公开了一种晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括：转盘；多个卡爪，所述多个卡爪包括至少一个活动卡爪，所述活动卡爪活动地设置在所述转盘上，所述卡爪用于将所述晶圆夹持在所述转盘上；弹性夹持力组件，所述弹性夹持力组件设置成用于提...
许振杰徐海滨王剑王同庆李昆路新春
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晶圆夹持机构
本发明公开了一种晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括：转盘；多个卡爪，多个卡爪包括至少一个活动卡爪，活动卡爪活动地设置在转盘上，在至少一个活动卡爪处于夹持位置时活动卡爪夹持晶圆，至少一个活动卡爪处于非夹持位置时晶圆脱离至少一个...
许振杰徐海滨王同庆李昆路新春
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晶圆干燥装置
本发明公开了一种晶圆干燥装置。所述晶圆干燥装置包括：本体；晶圆夹持机构，所述晶圆夹持机构设在所述本体上用于支撑沿竖直方向定向的晶圆；水箱，所述水箱可上下移动地设在所述本体上，所述水箱的顶壁上设有沿上下方向贯通所述顶壁的槽...
路新春徐海滨沈攀何永勇
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化学机械抛光设备
本发明公开了一种化学机械抛光设备。所述化学机械抛光设备包括：用于存放晶圆的晶盒装载装置；用于输送晶圆的晶圆转移装置；第一机械手；化学机械抛光机；用于放置晶圆的晶圆过渡装置；第二机械手；晶圆清洗装置，晶圆清洗装置包括具有第...
路新春何永勇沈攀许振杰王同庆裴召辉徐海滨张莉瑶郭振宇雒建斌
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化学机械抛光设备
本发明公开了一种化学机械抛光设备。所述化学机械抛光设备包括：用于存放晶圆的晶盒装载装置；用于输送晶圆的晶圆转移装置；第一机械手；化学机械抛光机；用于放置晶圆的晶圆过渡装置；第二机械手；晶圆清洗装置，晶圆清洗装置包括具有第...
路新春何永勇沈攀许振杰王同庆裴召辉徐海滨张莉瑶郭振宇雒建斌
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用于晶圆的兆声清洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的兆声清洗装置。所述用于晶圆的兆声清洗装置包括：机架，所述机架内限定有容纳腔；支撑组件，所述支撑组件设在所述容纳腔内用于可旋转地支撑沿竖直方向定向的晶圆；第一兆声喷头和第二兆声喷头，所述第一兆声喷...
路新春徐海滨李冉周顺何永勇
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