张景和
- 作品数：7 被引量：48H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- IC封装设备划片机的研制
- 划片是集成电路(IC)后封装中的第一道工序,其加工质量将直接影响整个生产线的整体质量。本文介绍了中科院长春光机所自行研制的划片机的研制过程。重点阐述了总体机构设计、主要分系统设计和设备的最终检测结果。结果表明,设备主要性...
- 冯晓国张景和张承嘉何惠阳
- 关键词：划片机封装设备集成电路
- 文献传递
- 二元光学元件激光直接写入设备
- 卢振武邢忠宝张景和邹振书廖江红翁志成张新刘伟肖文礼熊木地李凤有李志来宋立维
- 项目研制的二元光学元件激光直接写入设备是新型大尺寸光刻设备，主要用于二元光学元件的制作，其质量明显优于机械刻划方法。其主要创新点如下：1、创造性地实现了在同一设备上完成曲面直角和极坐标两种光刻方式，降低了设备的研制费用，...
- 关键词：
- 关键词：二元光学元件计算机控制
- 丝杠扭转刚度的探讨被引量：13
- 2000年
- 精密传动 ,尤其是位置闭环的精密传动 ,必需计算传动链的刚度。本文从实际出发 ,讨论了由丝杠组成的传动链刚度问题 ,分析了传动链刚度对位置闭环控制的重要性 ,提出了计算丝杠传动刚度的量纲问题 ,最后推导了丝杠的扭转刚度与拉压刚度的量纲转换公式 ,利用量纲转换公式 。
- 张景和宋立维刘伟冯晓国
- 关键词：传动链扭转刚度刚度丝杠
- 二元光学元件激光直接写入设备的研制被引量：22
- 2001年
- 本文介绍了二元光学元件制作的基本情况 ,国外制作二元光学元件设备的发展情况及国内制作二元光学元件设备的现状。重点介绍了长春光机所研制的二元光学元件激光直接写入设备中机械总体方面的主要关键技术 ,给出了导轨、传动系统、回转轴系、调焦伺服机构的主要技术指标和完成情况。另外还介绍了临界角法的调焦原理及实现光学调焦的调焦机构。
- 张景和廖江红刘伟冯晓国
- 关键词：二元光学元件导轨传动系统
- 轴颈测量中支撑对测量影响的探讨
- 回转轴系的精度主要取决于回转轴颈的圆度,目前大多数轴颈的圆度都是用圆度仪进行测量的。但轴颈的圆度在亚微米级精度以及轴颈的外形尺寸和重量都很大时,圆度仪的系统误差对测量精度的影响以及圆度仪受所能容纳被测件的空间限制,就造成...
- 张景和冯晓国
- 文献传递
- IC封装设备划片机的研制被引量：3
- 2003年
- 划片是集成电路 (IC)后封装中的第一道工序 ,其加工质量将直接影响整个生产线的整体质量。本文介绍了中科院长春光机所自行研制的划片机的研制过程。重点阐述了总体机构设计、主要分系统设计和设备的最终检测结果。结果表明 ,设备主要性能指标已达到了国际 2 0世纪
- 冯晓国张景和张承嘉何惠阳
- 关键词：划片机封装设备集成电路
- 用反向法测轴系回转误差被引量：12
- 2001年
- 阐述了用反向法对高精度轴系回转误差测试的过程及测试的一些结果。对轴系各种测试方法作了简单介绍 ,重点介绍了“二元光学元件激光直接写入设备”轴系回转误差的测试过程。测得轴系的回转误差为 0 .0 1 8μm。对反向法测试原理、误差分离的数学方法及实际应用 ,进行了描述。总结了影响测量结果重复性的几个因素。测试结果证明 ,此方法简单实用、结果准确 。
- 张景和冯晓国刘伟
- 关键词：反向法
