张春雷
- 作品数:24 被引量:78H指数:6
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 一种光学元件随机加工路径规划方法
- 一种光学元件随机加工路径规划方法,涉及光学元件的加工领域,解决现有采用伪随机路径规划方法中存在采用直线连接的方式造成加工过程中机床频繁换向,进而容易产生轮廓误差或过冲等问题,在生成随机加工路径后,首先确定判定阈值并依次读...
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- 一种光学元件粗糙度在线检测系统
- 本发明涉及一种光学元件粗糙度在线检测系统,包括一个可沿笛卡尔坐标系的X、Y及Z轴方向运动的检测本体;检测本体上设有一个绕第一支点摆动的第一摆动轴,在检测本体的任一运动位置上,第一摆动轴的摆动面与笛卡尔坐标系的XOZ面平行...
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- 一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法
- 本发明涉及一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法,其步骤为:采用沥青或者聚氨酯抛光方式制备亚表面缺陷玻璃样品;合理确定样品采样点,以全面评价样品亚表面缺陷;根据采样点制作去除区域为规则形状的去除函数,与驻留时间卷积获得规则形状的...
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- 基于大气吸收带的超光谱成像仪光谱定标技术研究被引量:5
- 2012年
- 超光谱成像仪是谱像合一的新型光学遥感仪器,其光谱定标的主要任务就是确定超光谱成像仪各通道中心波长和光谱带宽。利用超光谱成像仪光谱采样间隔和大气吸收带中明显的吸收峰对超光谱成像仪进行光谱定标,并通过与定标好的光纤光谱仪结果进行比对,结果显示利用该方法对超光谱成像仪进行光谱定标的定标精度可达1nm。该方法用于棱镜色散型超光谱成像仪光谱定标具有容易实现的特点,并且可以达到较高的定标精度。
- 张春雷向阳
- 关键词:光谱定标成像光谱仪
- 精磨光学元件面形的干涉检测技术研究被引量:8
- 2015年
- 为解决传统接触式检测方法检测精磨光学元件效率低,精度差的问题,提出了一种采用干涉检测技术对精磨光学元件面形进行测量方法,该方法具有非接触,测量效率高,误差小的特点。干涉检测中干涉条纹的对比度与工作波长成正比,与表面粗糙度成反比,干涉条纹对比度直接影响最终的检测结果。因此首先分析干涉条纹对比度与精磨表面粗糙度之间的关系,证明采用可见光干涉仪对精磨粗糙表面进行检测的可行性,并对利用GPI型数字干涉仪检测精磨粗糙表面进行了实验验证,检测面形结果约为PV 1.5μm,并与红外干涉仪以及接触式轮廓仪测量结果进行了对比,验证结果有效性。最后给出了当粗糙度阈值Rq优于150 nm时,可采用该方法进行检测,具有较高的实用价值。
- 代雷吴迪张健张春雷于长淞谷勇强
- 关键词:光学元件
- 漫反射板法定标成像光谱仪特性研究被引量:1
- 2011年
- 采用漫反射板法定标成像光谱仪是近年来发展起来的一种辐射定标新技术,它具有实现容易、定标精度较高的特点。文章根据漫反射板定标法的原理,对于成像光谱仪狭缝平行和垂直纸面两种特殊定标状况,推导出相应的光谱辐射信号电子数采集表达式,数值分析了在此两种定标状况下成像光谱仪光谱辐射定标的特性。结果表明,成像光谱仪狭缝取向对光谱辐射定标结果有明显不同的影响,对于狭缝平行纸面情况下,不同景物像元相同光谱通道采集到的信号电子数是不同的,越靠近辐照度标准灯,采集到的信号电子数越多,反之亦然;对于狭缝垂直纸面情况下,不同景物像元相同光谱通道采集到的信号电子数是相同的。
- 张春雷向阳
- 关键词:成像光谱仪
- 一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法
- 本发明涉及一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法,其步骤为:采用沥青或者聚氨酯抛光方式制备亚表面缺陷玻璃样品;合理确定样品采样点,以全面评价样品亚表面缺陷;根据采样点制作去除区域为规则形状的去除函数,与驻留时间卷积获得规则形状的...
- 张春雷马占龙王绍治刘健隋永新杨怀江
- 文献传递
- 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工被引量:2
- 2016年
- 考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动范围、压力等加工工艺参数,并使用硅溶胶溶液抛光进一步降低CaF_2元件的高频误差,逐渐去除加工中产生的划痕并且获得极小中频误差(Zernike残差)和高频粗糙度。最后,在不改变CaF_2元件高频误差的同时利用离子束加工精修元件面形。对100mm口径氟化钙材料平面进行了加工和测试。结果表明:其Zernike 37项拟合面形误差RMS值可达0.39nm,Zernike残差RMS值为0.43nm,高频粗糙度均值为0.31nm,实现了对CaF_2元件的亚纳米精度加工,为研发高性能深紫外投影光刻物镜奠定了良好基础。
- 张春雷徐乐刘健马占龙王飞谷永强代雷彭石军
- 关键词:氟化钙投影光刻物镜
- 超光谱成像仪图像均匀性校正被引量:7
- 2013年
- 为获得高质量新型超光谱成像仪图像,根据新型超光谱成像仪图像特点,对其图像均匀性校正进行研究。利用转台旋转模拟超光谱成像仪对地面推扫,对景物成像获得超光谱成像仪三维数据;采用太阳作为新型超光谱成像仪图像均匀性校正光源,应用相应校正系数对超光谱成像仪的数据进行处理。结果表明:所采用校正方法对新型超光谱成像仪具有很好校正效果,同时也验证了新型成像光谱仪具有较高成像质量;单像元校正时间为2×10-6s,大数据量图像校正需较长时间;利用太阳照射漫反射板作为扩展源对亮度均匀物体图像进行校正,校正均匀性小于4%。
- 张春雷向阳
- 关键词:超光谱成像光谱仪数据立方非均匀性太阳
- 漫反射板法标定成像光谱仪的精度分析被引量:2
- 2011年
- 用漫反射板法标定成像光谱仪时不仅要考虑定标仪器的精度,还要了解成像光谱仪几何参数和仪器参数对标定结果的影响。本文根据漫反射板法标定成像光谱仪原理,推导了以定标角度、距离等几何参数和成像光谱仪仪器参数为自变量的探测器沿景物像元方向采集到的信号电子数变化表达式,据此对几何参数和仪器参数对标定的影响进行了分析。结果表明,F/#分别为3和4,入瞳口径为0.1~0.2m,辐照度标准灯照射距离取0.5~2m,且其测量精度为1mm时,只要照射角小于12°,满足0.5°的测量精度,都可以使探测器采集到的信号电子数相对变化小于1%,从而可发挥标准探测器精度高的优势,使利用漫反射板的定标方法实现较高的精度。
- 张春雷向阳
- 关键词:成像光谱仪辐射定标