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周远

作品数：40 被引量：57H指数：5
供职机构：长沙学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金湖南省教育厅科研基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 23篇专利
  • 15篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 10篇电子电信
  • 7篇机械工程
  • 6篇理学
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇文化科学

主题

  • 6篇上位机
  • 6篇上位机控制
  • 6篇消防
  • 6篇消防车
  • 6篇举高喷射消防...
  • 6篇光刻
  • 6篇成像系统
  • 4篇摄像
  • 4篇摄像头
  • 4篇光学
  • 4篇滚球
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇预设
  • 3篇预设目标
  • 3篇折射率
  • 3篇探测器
  • 3篇通信
  • 3篇图像

机构

  • 32篇长沙学院
  • 6篇中国科学院
  • 5篇国防科学技术...
  • 5篇北京理工大学
  • 3篇清华大学
  • 1篇桂林电子科技...
  • 1篇湖南大学
  • 1篇上海交通大学
  • 1篇西安应用光学...

作者

  • 39篇周远
  • 18篇陈英
  • 10篇张竹娴
  • 7篇王路露
  • 7篇李艳秋
  • 6篇李方敏
  • 6篇李正大
  • 5篇范大鹏
  • 5篇孙利平
  • 4篇谢明华
  • 4篇杨丞
  • 4篇刘莉
  • 4篇熊跃军
  • 4篇刘安玲
  • 3篇鲁亚飞
  • 3篇刘光灿
  • 3篇熊飞湍
  • 3篇李凯
  • 2篇范世珣
  • 2篇张强

传媒

  • 5篇光学学报
  • 2篇光学精密工程
  • 2篇中国激光
  • 1篇量子电子学报
  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇应用光学
  • 1篇科教文汇
  • 1篇中国光学
  • 1篇新天地（开拓...

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2023
  • 2篇2022
  • 2篇2021
  • 5篇2020
  • 2篇2019
  • 9篇2018
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 3篇2013
  • 4篇2011
  • 1篇2010
  • 5篇2008
  • 1篇2007
共 40 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种全息消像差方法及其投影光刻系统
一种全息消像差方法，利用全息照明技术在特定条件下曝光，将光刻中照明信息，投影物镜调制信息以及掩模版位相调制信息同时记录在全息干板上。曝光后的全息干板替代现有技术的掩模版以及照明系统，采用共轭再现方式，令再现后的共轭光波再...
张强李艳秋周远
文献传递
举高喷射消防车及其测距系统、测距方法
本发明涉及一种举高喷射消防车及其测距系统、测距方法。举高喷射消防车测距系统包括测距装置及控制装置，测距装置包括光电测距仪、位于其发射和接收光束路径上的两个圆形楔形棱镜及旋转驱动装置，控制装置中的上位机控制根据预设图像中预...
周远陈英张竹娴李正大李方敏
文献传递
双液体层消色差氩氟浸没干涉光刻性能分析被引量：1
2010年
氩氟(ArF)浸没干涉光刻系统可产生高分辨周期图形,是研究高数值孔径ArF浸没光刻的有力工具。消色差ArF浸没干涉光刻系统能降低系统对曝光光源的相干性要求,实现高分辨率成像。提出了一种双液体层消色差浸没干涉光刻系统,由衍射理论和几何光学理论分析了系统的消色差原理和成像机制。对比传统的单液体层系统分析了其成像性能并分析其优点。结果表明,该系统的成像焦深和可分辨像场宽度较大且不依赖于激光光源的带宽;系统性能对外界环境不敏感,成像稳定性得到改善;该系统以简单的对称结构解决了干涉光刻成像中ArF准分子激光光源相干性差的问题,并保证了系统成像性能的稳定。
周远李艳秋
关键词：成像系统消色差相干性焦深
高数值孔径光学光刻成像中的体效应被引量：3
2008年
为有效控制成像线宽,研究了高数值孔径光学光刻中的体效应并提出一种光刻胶膜层优化方法,利用成像中的摇摆效应平衡体效应对成像线宽的影响。首先根据系统数值孔径和照明相干因子确定成像光入射角分布,相对所有入射光求出光刻胶底面单位体积吸收的能量平均值。然后用最小二乘法拟合得到能量平均值随光刻胶厚度变化的解析式并求能量平均值的导数。最后通过优化光刻胶膜层,使能量平均值的导数绝对值最小。按优化结果设计光刻胶膜层,利用商业光刻软件Prolith9.0得到成像线宽随光刻胶厚度的变化。结果表明,该方法能在3040nm的光刻胶厚度范围,有效地减小由体效应引起的成像线宽的变化。
周远李艳秋
关键词：光刻体效应
一种基于光纤光栅的声发射检测装置
本实用新型公开了一种基于光纤光栅的声发射检测装置，包括声发射装置、光纤检测模块、压电传感器、前置放大器和数据采集模块；(1)声发射模块包括用于产生声音信号的激励器和作为声传播介质的基板；(2)光纤检测模块包括光源、光耦合...
陈英周远王路露杨丞汪之又邹莹畅刘蒙瑞
文献传递
高数值孔径光刻中光的传播与成像研究
根据2007年版国际半导体技术蓝图(ITRS)，高数值孔径浸没式光刻已成为扩展193nm光刻到45nm以下技术节点最有潜力的候选技术之一。针对高数值孔径浸没光刻进行理论、模拟和实验研究，对提高光学光刻分辨率，发展我国新型...
周远
关键词：偏振效应光传播半导体技术
疾病呼吸标志物的筛选方法、装置及终端设备
本申请适用于计算机应用技术领域，提供了一种疾病呼吸标志物的筛选方法，包括：根据每个呼出气体的采集和检测参数、对应采样对象的信息之间的相似性确定样本数据集对应的样本相似性网络，之后根据每个呼出气体的呼吸指纹确定各呼出气体包...
邹莹畅胡放荣朱铭扬蒋国保周远陈英刘莉葛梦瑜李宁易宇轩
新建本科院校光电信息科学与工程新工科专业建设挑战与对策被引量：2
2019年
新工科专业需要根据专业特点及高校类型分类建设。本文对新建本科院校的光电信息科学与工程新工科专业建设进行了初步探索。基于专业的典型特征以及新建本科院校的办学特点,从建设理念、办学资源、师资力量、生源质量、体制机制、协同办学等方面分析了面临的挑战并提出了对策,以期为相应高校专业的新工科建设提供参考。
周远陈英孙利平张竹娴
关键词：新建本科院校
Risley棱镜在光学侦察中的应用被引量：5
2014年
近年来Risley棱镜在军事侦察领域得到越来越多的应用。介绍Risley棱镜的基本组成,从数学模型上论证了Risley棱镜两种工作原理及其应用技术,分析了工程实现的难点,描述了国内外的工程应用情况,国防科技大学研制的物理样机可实现10°光束偏转,实验结果表明已初步实现了扫描成像和光束扫描功能。
洪华杰周远陶忠范大鹏范世珣
关键词：光学侦察光束扫描
基于双椭圆结构的高Q值太赫兹超材料传感器被引量：5
2021年
设计了一种基于双椭圆结构的高品质因数(Q值)太赫兹(THz)超材料传感器,该传感器的每个单元均包含两个厚度为0.2μm、位于聚合物基底上且互成一定角度的金属椭圆。用时域有限积分法对传感器的结构进行了优化,通过破坏面内反转对称性使金属椭圆阵列组成的超表面激发垂直入射的THz波。实验结果表明,该传感器的Q值高达348。在传感器表面覆盖厚度为20μm的待测物时,其灵敏度为293 GHz/RIU(Refractive index unit),可用于高灵敏度检测、痕量生物样本检测和疾病早期诊断等领域。
曾庆鹏胡放荣周远邹莹畅汪之又
关键词：传感器
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