吴关平
- 作品数：28 被引量：15H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于电流阶梯波的相变存储器擦驱动电路
- 2011年
- 基于相变存储器的擦操作(SET)特性,设计了一种能够产生电流阶梯波的相变存储器擦驱动电路,采用130nm标准CMOS工艺将其与128kb的相变存储器实验芯片集成。相比传统的单一电流脉冲擦驱动电路,这种改进后的擦驱动电路能将相变存储单元的电阻均值从15kΩ左右降至7kΩ左右,并且存储阵列的阻值分布一致性也得到提升,最终能将128kb相变存储实验芯片的单元成品率提升至99%以上。
- 陈一峰宋志棠陈小刚陈后鹏刘波白宁陈邦明吴关平谢志峰杨左娅
- 关键词：相变存储器非易失性存储器
- 制备复合材料的可组装靶材、其制造、修复和改装方法
- 本发明揭示了一种用于制备复合材料的可组装靶材，其特征在于具有第一材料基底，基底上方具有多个凹槽，凹槽中填充有至少一种非第一材料。制造上述靶材的步骤如下：在第一材料基底靶材上形成槽结构，填充至少一种非第一材料的粉末或者熔液...
- 张挺宋志棠刘波吴关平成岩封松林
- 文献传递
- 双浅沟道隔离的外延二极管阵列的制备方法
- 本发明公开了一种双浅沟道隔离的外延二极管阵列的制备方法，该方法首先在衬底上形成重掺杂的第一导电类型区域和高掺杂的第二导电类型区域，生长外延层，然后通过深沟道刻蚀形成二极管阵列字线间的隔离和垂直于深沟道方向的浅沟道刻蚀形成...
- 张超宋志棠万旭东刘波吴关平张挺杨左娅谢志峰
- 制备纳米晶电阻转换材料的方法
- 本发明揭示了一种制备纳米晶电阻转换材料和单元的方法，包括如下步骤：首先沉积超薄的电阻转换存储材料薄膜，随后通过退火在基底上形成均匀的纳米晶，再者通过功能材料的沉积形成对纳米晶的包覆；重复上述三步，形成具有功能材料包覆的均...
- 张挺宋志棠刘波吴关平张超封松林陈邦明
- 相变存储器的选通二极管阵列及其制备方法
- 一种相变存储器的选通二极管阵列及其制备方法，所述制备方法包括：在P型半导体衬底表面进行离子注入，退火生成重掺杂的N型半导体层；在重掺杂的N型半导体层的表面进行外延生长，形成本征半导体层；进行刻蚀工艺以形成用于隔离字线的第...
- 李宜瑾宋志棠凌云刘燕刘波龚岳峰张超吴关平杨左娅
- 文献传递
- 有效抑制自掺杂效应的外延生长方法
- 本发明涉及了一种有效抑制自掺杂效应的外延生长方法，其首先清除含有重掺杂埋层区域的半导体衬底和待使用的反应腔室内壁的杂质，然后将半导体衬底载入被清洗过的反应腔室，在真空条件下对其进行预烘烤，以去除所述半导体衬底表面的湿气及...
- 张超宋志棠万旭东刘波吴关平张挺杨左娅谢志峰
- 柱状纳米加热电极的制备方法
- 本发明涉及一种柱状纳米加热电极的制备方法，首先在衬底上沉积一层厚度为100nm～300nm的TiN薄膜，利用亚微米CMOS标准工艺曝光技术在TiN薄膜上形成直径为200nm～300nm的光刻胶图形，接着利用反应离子刻蚀技...
- 冯高明宋志棠刘波封松林万旭东吴关平
- 文献传递
- 一种电阻转换存储器结构及其制造方法
- 本发明揭示了一种电阻转换存储器结构及其制造方法，该电阻转换存储器结构，包括：多个选通单元和多个电阻转换存储单元；其中，每一个选通单元对应两个电阻转换存储单元；所述电阻转换存储单元包括上电极、下电极和夹在所述上、下电极之间...
- 张挺朱南飞宋志棠刘波吴关平张超谢志峰封松林
- 柱状相变材料纳米阵列及其制备方法
- 本发明涉及一种柱状相变材料纳米阵列及其制备方法，可在亚微米CMOS标准工艺曝光技术基础上，通过利用反应离子刻蚀技术刻蚀修整光刻胶的方法，制备出柱状结构直径为50nm左右的柱状相变材料纳米阵列。本发明不仅避免了直接使用10...
- 冯高明宋志棠刘波封松林万旭东吴关平
- 文献传递
- 纳米集成电路大生产中新工艺技术现状及发展趋势被引量：15
- 2012年
- 近年来微纳电子科学和集成电路产业的发展,证明了有效30多年的摩尔定律未来正在受到挑战.在传统的集成电路技术发展似乎走到技术尽头的时候,依靠新材料和新结构的技术发展,摩尔定律才能继续显示其有效性.但是技术发展的步伐呈现减缓的趋势.在进入21世纪后,各种新器件材料的引进以及各种新器件结构的陆续推出,给世界集成电路产业带来了诸多机遇和挑战.本文总结分析了微纳电子产业技术主流发展趋势,包括:新材料新工艺应用、先进CMOS制造工艺集成技术、3D系统芯片封装技术、新型存储器技术、新型逻辑器件的产业化技术,并且介绍了国内先进集成电路产业技术的研发现状,包括近年来取得的一些生产技术研发成果.文中提出了一些纳米集成电路生产工艺技术发展中的主要挑战和应对建议,并针对国内集成电路科技和产业发展提出了一些看法.
- 吴汉明吴关平吴金刚黄河俞少峰李序武卜伟海
