史锡婷
- 作品数：5 被引量：13H指数：3
- 供职机构：华中科技大学光电子科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 化学镀镍在32×32非致冷红外焦平面互连中的应用被引量：3
- 2005年
- 红外焦平面需要用互连技术把光敏元阵列与信号读出电路进行互连,利用化学镀的方法,在32×32非致冷红外焦平面阵列的CMOS读出电路上镀直径为6μm,高度为2μm的互连柱。测试结果表明,该技术稳定可靠,是实现接触孔互连的可行方法。
- 赵小梅陈四海付小潮史锡婷董珊李毅易新建
- 关键词：互连红外焦平面化学镀镍
- 软刻蚀复制技术制作聚合物微透镜阵列
- 2005年
- 介绍了利用软刻蚀紫外模塑技术制作复制聚合物折射和衍射微透镜阵列的工艺过程。实验过程和测试结果表明，聚二甲基硅氧烷(PDMS)模具可以完好地将母版上的微透镜阵列复制到硅或玻璃材料上的光敏胶上，并可多次使用，且母版无损伤。此技术具有速度快，工艺简单的特点，可用于微透镜与图像传感器的单片集成。
- 赵悦赖建军史锡婷易新建张坤
- 关键词：微透镜
- 蒸发制备金属薄膜实现MEMS工艺中电互连被引量：3
- 2005年
- 介绍了利用蒸发方法制备金属薄膜来实现MEMS工艺中的互连,采用剥离方法制作金属互连柱。分别在剥离层为双层AZ5214负胶、聚酰亚胺(ZKPI-305IID)和AZ5214负胶、ENPI剥离胶的情况下,实验并制备了金属Ni互连柱(双层AZ5214金属柱高1.86μm,聚酰亚胺(ZKPI-305IID)和AZ5214柱高2.0μm,ENPI柱高1.5μm),都起到了较好的互连作用。
- 黄磊陈四海何少伟史锡婷李敏杰李毅易新建
- 关键词：微机电系统互连电子束蒸发
- 剥离技术制作金属互连柱及其在MEMS中的应用被引量：8
- 2005年
- 介绍了利用AZ5214光刻胶及ZKPI-305IID型非光敏聚酰亚胺制作的两种不同的剥离层,即双层AZ5214和ZKPI+AZ5214。此两种剥离工艺简单易操作,可剥离出1μm金属镍柱,并可在MEMS工艺制作中获得了良好的效果。
- 史锡婷陈四海何少伟黄磊李毅易新建
- 关键词：微电子机械系统聚酰亚胺
- 32×32微镜阵列的ANSYS模拟和制造工艺研究被引量：1
- 2006年
- 基于ANSYS软件模拟设计了单元镜面面积为60×60μm2的32×32元微反射镜阵列,其工作频率可达到30KHz,最大扫描偏转角度为±10°,响应时间少于30μs。同时提出了一种基于表面薄膜工艺的加工方法,成功制作了该32×32元的微镜阵列,并进行了初步测试。
- 赵悦赖建军陈坦史锡婷易新建余建华
- 关键词：ANSYS模拟化学镀
