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刘晓航

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：吉林大学更多>>
相关领域：一般工业技术经济管理电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇经济管理
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇氮化硼薄膜
  • 2篇氮化
  • 2篇原位掺杂
  • 2篇射频磁控
  • 2篇射频磁控溅射
  • 2篇探测器
  • 2篇溅射
  • 2篇光电
  • 2篇光电探测
  • 2篇光电探测器
  • 2篇半导体
  • 2篇掺杂
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇氮化铝
  • 1篇氮化铝薄膜
  • 1篇氮化硼
  • 1篇导体
  • 1篇邓小平
  • 1篇邓小平区域经...

机构

  • 6篇吉林大学

作者

  • 6篇刘晓航
  • 5篇陈曦
  • 5篇赵纪红
  • 5篇高延军
  • 5篇陈占国
  • 4篇侯丽新
  • 4篇刘秀环
  • 2篇张文博
  • 1篇王帅

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 2篇2022
  • 1篇2021
  • 1篇2009
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种原位C掺杂的P型六方氮化硼薄膜及其制备方法
一种原位C掺杂的P型六方氮化硼薄膜及其制备方法，属于半导体薄膜制备和掺杂技术领域。本发明采用低压化学气相沉积(LPCVD)技术，通过BCl<Sub>3</Sub>+NH<Sub>3</Sub>→hBN+HCl反应在衬底上...
陈占国范盛达刘晓航陈曦侯丽新刘秀环赵纪红高延军
一种嵌入式MSM结构的六方氮化硼深紫外光电探测器及其制备方法
一种嵌入式MSM结构的六方氮化硼深紫外光电探测器及其制备方法，属于半导体光电探测技术领域。本发明所述六方氮化硼深紫外光电探测器，自下而上由c轴蓝宝石衬底层、六方氮化硼层、嵌入式MSM电极结构层和六方氮化硼包层组成，其中嵌...
孙浩航陈占国刘晓航张文博陈曦赵纪红侯丽新刘秀环高延军
文献传递
一种Mg原位掺杂的P型六方氮化硼薄膜及其制备方法
一种Mg原位掺杂的P型六方氮化硼薄膜及其制备方法，属于半导体掺杂技术领域。采用射频磁控溅射技术，首先在衬底上进行第一层hBN薄层的溅射生长，然后再接着进行第一层Mg杂质源的溅射生长，每个溅射周期得到的膜厚为20～60nm...
陈占国刘晓航陈曦赵纪红刘秀环侯丽新高延军
文献传递
一种多光吸收层结构的宽光谱光电探测器及其制备方法
一种多光吸收层结构的宽光谱光电探测器及其制备方法，属于半导体光电探测技术领域。由硅衬底层1、氧化锌层2(厚度50～200nm)、具有叉指结构的掩埋式电极层3(叉指间距和叉指宽度均为3～20μm，对数为20～40对，厚度5...
陈占国关宇锋王帅刘晓航陈曦赵纪红高延军
邓小平区域经济思想浅析
20世纪80年代中期以来,东部沿海地区充分利用国家给予的优惠政策,发展经济,形成了全国的投资热点。而内地特别是西部地区本来就缺乏的资金、人才等资源更加短缺,资源开发和利用都落后于东部,与东部差距也越来越大。全面理解邓小平...
刘晓航
关键词：邓小平区域经济非均衡发展
文献传递
一种氮化铝日盲光电探测器及其制备方法
一种氮化铝日盲光电探测器及其制备方法，属于半导体光电探测技术领域。本发明以c面蓝宝石为衬底，采用反应射频磁控溅射技术在衬底上生长氮化铝薄膜，然后以“面对面”的退火方式改善氮化铝薄膜的结晶质量，再通过磁控溅射或电子束蒸发的...
陈占国张文博陈曦孙浩航刘晓航赵纪红刘秀环侯丽新高延军
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