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刘晓宇

作品数：42 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：中国科学院战略性先导科技专项上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 24篇专利
  • 15篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 11篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 6篇理学
  • 4篇文化科学
  • 3篇机械工程
  • 2篇轻工技术与工...
  • 1篇建筑科学
  • 1篇医药卫生

主题

  • 10篇电子束曝光
  • 7篇电极
  • 7篇石墨
  • 7篇石墨烯
  • 7篇纳米
  • 7篇场效应
  • 5篇图形化
  • 5篇抗蚀剂
  • 5篇超导
  • 4篇电子束
  • 4篇纳米线
  • 4篇光刻
  • 4篇场效应器件
  • 4篇衬底
  • 3篇电子束抗蚀剂
  • 3篇显影
  • 3篇量子
  • 3篇金属
  • 3篇金属电极
  • 3篇刻蚀

机构

  • 40篇中国科学院

作者

  • 40篇刘晓宇
  • 15篇王镇
  • 14篇尤立星
  • 12篇谢晓明
  • 11篇张伟君
  • 9篇李浩
  • 9篇王浩敏
  • 9篇谢红
  • 8篇张露
  • 7篇孙秋娟
  • 4篇陈垒
  • 3篇杨晓燕
  • 3篇吴天如
  • 3篇巫君杰
  • 2篇王会武
  • 2篇于广辉
  • 2篇唐述杰
  • 2篇陈志蓥
  • 2篇张有为
  • 2篇宋阳曦

年份

  • 6篇2024
  • 3篇2023
  • 3篇2022
  • 1篇2020
  • 2篇2018
  • 6篇2017
  • 4篇2016
  • 4篇2015
  • 6篇2014
  • 5篇2013
共 42 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于石墨烯的隧穿场效应管单元、阵列及其形成方法
本发明提供一种基于石墨烯的隧穿场效应管单元、阵列及其形成方法，所述单元至少包括衬底；所述衬底上自下而上依次包括底栅电极、第一电介质层、底层石墨烯、绝缘阻挡层、顶层石墨烯、第二电介质层及顶栅电极；所述底层石墨烯及所述顶层石...
王浩敏谢红吴天如孙秋娟王慧山宋阳曦刘晓宇唐述杰谢晓明
文献传递
一种电子束曝光剂量校正方法
本发明提供一种电子束曝光剂量校正方法，根据版图图形中不同占空比的图形区域进行图形分区，各个区域分别采用邻近效应校正计算得到第一剂量校正系数，并根据各个区域的占空比得到第二剂量校正系数，在第一剂量校正系数的基础上叠加第二剂...
刘晓宇彭炜
实用化高性能超导纳米线单光子探测技术
尤立星王镇张伟君谢晓明李浩杨晓燕张露刘晓宇周慧王永良彭炜
该项目隶属光量子探测、超导电子技术和微纳器件的交叉领域，在量子信息技术高速发展的背景下启动。建立高探测效率低暗计数超导纳米线单光子探测器(SNSPD)设计方法和制备技术体系，自主掌握了NbN SNSPD制备、系统集成等核...
关键词：
关键词：设计方法
三维纳米超导量子干涉器的制备与表征
纳米超导量子干涉器件(nano-SQUID)是基于超导量子干涉器件(SQUID)发展起来的一种新型器件。它利用纳米结代替传统的隧道结，使得超导环面积大幅度缩小，从而提升了器件的最小可测自旋数，同时它还具有可承受较大临界磁...
汪浩陈垒刘晓宇武龙吴晓蕾王镇
关键词：调制深度
NanoSQUID相关的器件和应用研究
纳米超导量子干涉器件nanoSQUID利用纳米结代替常规的隧穿节,可以大幅度缩小超导环的尺寸从而增加器件的自旋灵敏度.另外,nanoSQUID可以承受较高的磁场,可以实现在磁场中直接和被测样品耦合,在纳米磁共振技术和微小...
陈垒汪浩武龙刘晓宇王镇
一种金属图形的制作方法
本发明提供一种金属图形的制作方法，该金属图形的制作方法包括以下步骤：利用版图设计工具制作出包括至少一目标图形和补偿图形的版图，目标图形包括至少一转角，补偿图形位于目标图形各个转角外围，将版图导入电子束曝光系统；提供一衬底...
彭炜吴止竞刘晓宇
超导纳米线单光子探测器时间抖动起源研究
超导纳米线单光子探测器(SNSPD)作为一种新兴的单光子探测器,具有时间抖动极低的特性,在量子通信、飞行时间测距和荧光光谱分析等时间相关应用中展现出广阔的前景.使用示波器的抖动分析功能,通过不同放大器改进测量电路,优化示...
巫君杰张伟君张露刘晓宇尤立星
一种石墨烯场效应器件制备方法
本发明提供一种石墨烯场效应器件集成方法。该方法在衬底上形成栅电极与对准标记。接下来制备出具有高介电常数的Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>薄膜，并利用湿法刻蚀的方法对其进行刻蚀，露出栅电极接触及对准标...
王浩敏谢红刘晓宇张有为陈志蓥于广辉谢晓明
文献传递
基于电子束曝光的高性能高频声表面波器件的制备方法
本发明提供一种基于电子束曝光的高性能高频声表面波器件的制备方法，在绝缘复合基底上进行表面增粘处理，可防止胶型结构移动或脱落，同时还可提升匀胶均匀性；选用双层胶体系，通过调控曝光剂量实现倒梯形结构制备，既有利于去胶剥离，提...
刘晓宇江文兵林志荣彭炜
薄膜滤波器对超导纳米线单光子探测器暗计数的抑制
暗计数是影响超导纳米线单光子探测器(SNSPD)应用的重要参数.我们设计了一种集成在SNSPD 衬底背面的薄膜带通滤波器,用来抑制由光纤引入的杂散光和黑体辐射带来的背景暗计数.滤波器由16 层SiO2/Si 双层结构构成...
杨晓燕李浩张伟君尤立星张露刘晓宇王镇
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