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文献类型

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领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电极
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  • 1篇激光
  • 1篇激光器
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  • 1篇CO_2激光
  • 1篇参数测量
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇黄慧杰
  • 2篇程兆谷
  • 1篇李现勤
  • 1篇赵全忠
  • 1篇钱红斌
  • 1篇覃兆宇
  • 1篇高海军
  • 1篇刘翠青
  • 1篇石鸿斌
  • 1篇蒋金波
  • 1篇许国良
  • 1篇张志平

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2001
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
新型脉冲CO_2激光器参数的测量被引量:2
2001年
采用预电离脉冲群开关技术 ,在一具有独特电极结构的横流CO2 激光器上实现了高功率脉冲激光输出。详细介绍了从预电离到主放电 ,最终到激光输出的整个过程中 ,对电压、电流波形及光波形各参数的测量方法 ,并进行了简要分析 ;提出一种利用光的偏振特性对光进行衰减 ,测量光的方法。
刘翠青程兆谷李现勤许国良蒋金波石鸿斌赵全忠黄慧杰
关键词:参数测量电极结构二氧化碳激光器
硅片缺陷自动检测仪研制
程兆谷高海军钱红斌覃兆宇张志平黄慧杰
该系统包括激光光源系统、散射光收集系统、硅片螺旋扫描系统、光电检测和电子学处理系统以及计算机控制系统等几部分。在倾斜入射激光扫描散射检测技术,高效率大数值孔径散射光收集和光电检测技术,提高探测灵敏度和获得高的信噪比关键技...
关键词:
关键词:大规模集成电路
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