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鲍路路
作品数:
3
被引量:4
H指数:2
供职机构:
中国科学院合肥智能机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
江儒龙
中国科学院合肥智能机械研究所
林丙涛
中国科学院合肥智能机械研究所
孔德义
中国科学院合肥智能机械研究所
郭攀
中国科学院合肥智能机械研究所
李庄
中国科学院合肥智能机械研究所
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传感器与微系...
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2009
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3
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高g值加速度计及其检测电路的设计
高量程、耐冲击的高g值硅微加速度计在导航、国防、冲击测量等领域具有重要的应用背景。与常规的低量程加速度计不同,高g值加速度计的设计和封装存在许多难题,有必要进行深入的研究。 本文在对各种硅微传感器特点进行比较的...
鲍路路
关键词:
MEMS
电容式加速度计
读出电路
硅微传感器
阻尼器
文献传递
硅微机械二维加速度计的结构设计
被引量:2
2009年
提出了一种新型的双轴电容式微机械加速度计的结构形式。采用1个质量块敏感2个正交方向的加速度,设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦,且结构稳定性好。详细讨论了该加速度计的工作原理,并利用有限元软件对敏感结构进行了静态和模态分析,从理论上验证了所提出的双轴电容式微机械加速度计整体结构的可行性。
鲍路路
孔德义
林丙涛
江儒龙
关键词:
微加速度计
梳状电极
有限元仿真
用于MEMS微电容检测的全差分放大器
2009年
设计了一种用于MEMS电容传感器的低噪声低失调全差分运算放大器。微传感器传感电容一般很小,传感电容的变化更小。低噪声低失调放大器大大提高了整个传感器检测电路精度。该放大器采用连续时间共模反馈方法稳定共模输出、低阻结点斩波和动态匹配方法以期达到有稳定输出的低噪声低失调全差分放大器,给出基于HJTC 0.18μm CMOS 1P6M工艺的仿真结果,经过精心设计,各项指标达到或超过应用要求。
江儒龙
孔德义
李庄
鲍路路
林丙涛
郭攀
关键词:
全差分运放
共模反馈
低噪声
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