骆如枋
- 作品数：26 被引量：19H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信化学工程更多>>
- 动态湿度校准装置
- 本实用新型是动态湿度校准装置，属于气象学仪表的测试或校准领域，其目的是建立低湿校准装置以校准湿度测量的仪器和传感器。它由气体干燥系统，气体增湿系统和露点仪构成，气体干燥系统采用5A分子筛-3A分子筛-液氮冷冻螺旋管的排列...
- 黎修琪毛平天骆如枋何焕南
- 文献传递
- 湿度传感器的新进展被引量：3
- 1993年
- 一、攻关中心:提高稳定性与可靠性近两年来,国内国外,在湿度传感器的应用方面,因受传感器的长期稳定性差和可靠性低的制约而无明显进展;但在湿度传感器的研究方面恰有长足进步,出现了可喜的势头。由于长期稳定性、可靠性是多年来阻碍湿度传感器实际应用和进一步发展的主要障碍,因此国内外的研究工作主要围绕这一主题而展开,即:研究各类湿度传感器的漂移机理、改善和提高湿度传感器的稳定性和可靠性、寻求新的高精度、高可靠、长寿命湿度传感器及相应的湿敏材料。二、高分子薄膜电容型湿度传感器的漂移机理高分子薄膜电容型湿度传感器自问世以来,素以响应快、温度系数小。
- 骆如枋
- 关键词：温度传感器湿敏材料电容型
- 国外气体、湿度传感器的研究动向——兼议我国湿度传感器技术问题及对策被引量：1
- 1997年
- 一、IMCS'96概况获国家人事部专家司部分经费支持,我们于96年7月21日—25日赴美国马里兰州盖琴斯堡参加了在那里举行的第六届国际化学传感器会议(IMCS’96)。 IMCS’96由美国商务部国家技术标准局(NIST)主办,得到了美国科学基金会、海军研究所以及NGK火花塞、日立、福特汽车、摩托罗拉等九家公司的赞助。来自全世界27个国家约400名科学家参加了这次盛会。美国、日本和德国科学家人数名列前三,中国大陆、台湾和香港均有学者出席。
- 黄安荣骆如枋
- 关键词：气体传感器化学传感器
- 气体中微量水份的测定—露点法和氧化铝电容法被引量：2
- 1986年
- 在半导体材料及电子器件生产中，要用到诸如氢、氮、氧、氩和氦等高纯气体，气体纯度严重影响产品质量。如氢，氮等气体及其流经的系统中的水份和氧，对硅及Ⅲ一V族化合物是极其有害的杂质。在硅外延工艺中，氢中水份达100vpm时，硅外延层会变成多晶结构。在MOS大规模集成电路的硅栅多晶薄膜工艺中，若稀释气体中含有微量水份，使多晶硅薄膜中夹有“氧化硅集团”，从而在刻蚀多晶硅薄膜时，造成多晶硅脱落，致使电学性能变坏。由上可知，对高纯气体及其流经系统中的微量氧和水份必须进行监测和控制。
- 黎修祺骆如枋毛平天
- 关键词：电容法氧化铝气体纯度硅外延层微量氧硅栅
- 湿度测量仪
- 本实用新型是以Si-MOS型Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>湿度传感器为测湿元件的湿度测量仪。它采用α相Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>作为MOS结构的氧化层并以正交分量法电容...
- 曹德福骆如枋
- 文献传递
- 用WS型微量水份测定分析中微量水份
- 黎修祺毛天平骆如枋
- 关键词：气体温度影响湿度记录仪
- 我国湿度传感器十年来的主要成就
- 骆如枋
- 关键词：传感器湿度传感器
- 从５<'th>ＩＭＣＳ看湿度传感器的发展趋势
- 骆如枋
- 关键词：湿度传感器
- 湿度传感器研究中的一种新想法被引量：1
- 1991年
- 新想法认为,在现今科技、工艺水平下,衡量湿敏传感器性能的首要标准,应从以前注意高灵敏、好线性方向转变到快响应、小滞后、高精度和高稳定方向。对感湿材料,应当强调使用对水的吸附熟低于42kJ/mol的低活性、低吸附的低湿敏材料。 文章从几个方面说明新想法形成过程,列举在新想法指导下湿敏传感器研究所取得的一些突破性进展,从而提出对气敏传感器的研究也不无作用的新想法。
- 骆如枋
- 关键词：湿度传感器气敏传感器传感器
- 多孔α-Al<,2>O<,3>薄膜电容型湿度传感器的温度特性和温度补偿技术
- 骆如枋陆玉萍顾天行
- 关键词：薄膜电容湿度传感器温度特性温度补偿
