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邱栋

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学更多>>
相关领域：环境科学与工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇理学

主题

  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 5篇气敏
  • 5篇气体传感
  • 5篇气体传感器
  • 4篇声表面波
  • 2篇低浓度
  • 2篇电容
  • 2篇电容式
  • 2篇独用
  • 2篇镀膜技术
  • 2篇真空室
  • 2篇振荡回路
  • 2篇声表面波器件
  • 2篇声表面波气体...
  • 2篇竖直平板
  • 2篇片架
  • 2篇气敏薄膜
  • 2篇气敏材料

机构

  • 11篇电子科技大学

作者

  • 11篇邱栋
  • 10篇蒋亚东
  • 10篇杜晓松
  • 4篇林庆浩
  • 3篇蔡贝贝
  • 2篇王洋
  • 2篇熊丽霞
  • 2篇龙吟
  • 2篇刘洋
  • 1篇吴泽
  • 1篇李臆

年份

  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 3篇2013
  • 3篇2012
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种双面膜片微型气体富集器
本发明公开了一种双面膜片微型气体富集器，由上下两个硅片键合而形成一个微型气室，每个硅片上设置有一个或多个悬空膜片，悬空膜片对应位置的硅被完全去除而形成空腔，每个悬空膜片上制备有薄膜加热器，每个悬空膜片的内壁涂敷有吸附薄膜...
杜晓松吴泽李臆蒋亚东邱栋
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一种直列多靶磁控溅射镀膜装置
一种直列多靶磁控溅射镀膜装置，涉及溅射镀膜技术领域。系采用长宽比大于3的矩形溅射靶，在箱式真空室中，将3个以上的矩形溅射靶平行共轴排成一列，所有靶的宽度方向都平行于真空室的长边，靶间距小于矩形靶宽度的2倍。矩形溅射靶上方...
杜晓松林庆浩邱栋蒋亚东
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一种硫系恶臭气体声表面波气敏传感器
一种硫系恶臭气体声表面波气敏传感器，属于传感器件技术领域。本发明以聚[甲基(4-羟基-4,4-双-三氟代甲基)-丁基]-硅氧烷为聚合物气敏材料，将所述聚合物气敏材料成膜于声表面波器件表面，得到硫系恶臭气体声表面波气敏传感...
杜晓松王洋刘洋邱栋龙吟蒋亚东
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恶臭硫系气体便携式快速气相色谱组件的制备与研究
有机挥发性有毒有害物质(VOC)是大气环境的一类主要污染物,在这些污染物中,有些气体具有非常强烈的恶臭性,这些气体不仅挥发性强,而且具有非常难闻的气味,诸如甲硫醚、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳等,主要是一些硫系物。这些气体...
邱栋
关键词：气相色谱检测
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一种独用参比的声表面波气体传感器阵列
本发明公开了一种独用参比的声表面波气体传感器阵列，包括n个测量传感器和n个参比传感器，还包括一个具有2n个振荡回路的传感器阵列电路板和由一个气罩紧扣在电路板上而构成的气室，n个测量传感器和n个参比传感器同时安装在所述气室...
杜晓松邱栋吴朋林林庆浩蒋亚东
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一种穿孔的平板电容式气体传感器及其制备方法
本发明公开了一种穿孔的平板电容式气体传感器，包括硅基板、硅顶盖、上电极薄膜、下电极薄膜、气敏介质。其特征在于：①硅基板上设有微阱，下电极薄膜位于微阱底部，上电极薄膜附着在硅顶盖上并悬于微阱的上方。电极薄膜彼此不接触，构成...
杜晓松蔡贝贝邱栋蒋亚东
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一种硫系恶臭气体声表面波气敏传感器
一种硫系恶臭气体声表面波气敏传感器，属于传感器件技术领域。本发明以聚[甲基(4-羟基-4,4-双-三氟代甲基)-丁基]-硅氧烷为聚合物气敏材料，将所述聚合物气敏材料成膜于声表面波器件表面，得到硫系恶臭气体声表面波气敏传感...
杜晓松王洋刘洋邱栋龙吟蒋亚东
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一种直列多靶磁控溅射镀膜装置
一种直列多靶磁控溅射镀膜装置，涉及溅射镀膜技术领域。系采用长宽比大于3的矩形溅射靶，在箱式真空室中，将3个以上的矩形溅射靶平行共轴排成一列，所有靶的宽度方向都平行于真空室的长边，靶间距小于矩形靶宽度的2倍。矩形溅射靶上方...
杜晓松林庆浩邱栋蒋亚东
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一种竖直平板电容式气体传感器及其制备方法
本发明公开了一种竖直平板电容式气体传感器，包括绝缘基板，绝缘基板上沉积有平面叉指电极，平面叉指电极上设置有竖直的N个电极板，N≥2，导电平板表面上附着有气敏薄膜，电极板上设置有绝缘顶盖，其中，①导电平板分别与相应的平面叉...
杜晓松熊丽霞蔡贝贝邱栋蒋亚东
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一种独用参比的声表面波气体传感器阵列
本发明公开了一种独用参比的声表面波气体传感器阵列，包括n个测量传感器和n个参比传感器，还包括一个具有2n个振荡回路的传感器阵列电路板和由一个气罩紧扣在电路板上而构成的气室，n个测量传感器和n个参比传感器同时安装在所述气室...
杜晓松邱栋吴朋林林庆浩蒋亚东
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