赖秀琼
- 作品数：5 被引量：4H指数：2
- 供职机构：华南师范大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信核科学技术理学机械工程更多>>
- 微波等离子体参数诊断及制备类金刚石膜的特性研究
- 本文首先利用Langmuir单探针对微波等离子体装置反应室内的等离子体密度进行了测试及分析，并探究了等离子体密度随放电气压及微波功率的变化。结果表明：反应室中等离子体密度最均匀分布的位置Z=10mm处，即为沉积薄膜的最佳...
- 赖秀琼
- 关键词：类金刚石膜气相沉积等离子体诊断发射光谱
- 文献传递
- 离子源辅助法制备TiN及等离子体特性研究被引量：2
- 2006年
- 采用TCP等离子体辅助电子束蒸发沉积技术,在室温条件下的玻璃基片上制备了纳米结构的氮化钛薄膜.运用X衍射技术对该薄膜进行表征.利用朗缪尔静电双探针诊断了蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度及分析其分布规律,并分析了气压和功率对等离子体分布的影响.结果表明:离子源源口等离子体密度较大且分布不均匀;反应室内等离子体迅速扩散,密度变小且分布趋于均匀.
- 张茂平陈俊芳蒙高庆向鹏飞史磊赖秀琼
- 关键词：氮化钛
- 基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统
- 2008年
- 该文提出了一种基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法.该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰.信号的采集与处理通过Verilog HDL语言描述,并在Cyclone系列可编程逻辑器件FPGA上实现,提高了等离子体静电探针参数诊断的效率.得到了放电气压0.25 Pa、射频13.56MHz、功率200 W条件下石英管内的空气等离子体密度和电子温度.
- 史磊陈俊芳符斯列杨春林黄孟祥赖秀琼张洪滨
- 关键词：等离子体源FPGA朗谬尔探针
- 微波放电氢等离子体的特性诊断和分析被引量：2
- 2008年
- 在微波等离子化学气相沉积装置中,分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与气压和功率的关系,还分析了Hα(656.3 nm)的峰值强度与气压和功率的关系,得到了微波放电氢等离子体内部的基本特性.
- 杨春林陈俊芳符斯列史磊张洪宾黄孟祥赖秀琼
- 关键词：LANGMUIR探针等离子体密度发射光谱
- 微波等离子体制备类金刚石薄膜的研究
- 微波放电是无电极放电,能获得纯净和高密度的等离子体。在微波等离子体中存在大量的长寿命自由基,微波能增强气体分子的激发、电离和离解过程。由于等离子体具有一定的空间分布,为了沉积出比较均匀、纯净和高质量的半导体薄膜,故需要对...
- 赖秀琼陈俊芳杨春林史磊
- 关键词：等离子体类金刚石薄膜微波放电半导体薄膜
- 文献传递
