许念坎
- 作品数:17 被引量:77H指数:4
- 供职机构:西北工业大学更多>>
- 发文基金:中国航空科学基金更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
- 类金刚石薄膜的高红外透过率研究被引量:1
- 1992年
- 类金刚石薄膜最主要应用在光学领域,尤其在红外领域,它非常适合于作红外窗口材料的增透兼保护膜。本文采用电容耦合射频外加直流设备,裂解碳氢化合物产生等离子体,进行离子增强化学气相沉积,制备类金刚石薄膜。采用平板式电极,衬底样品放在阴极极板上。
- 郭力军张贵锋刘正堂许念坎郑修麟
- 关键词:类金刚石红外透过率
- 全文增补中
- 二氧化钒相变薄膜的无机溶胶-凝胶制备技术基础研究
- 尹大川许念坎
- 1、课题来源与背景:二氧化钒是一种光电功能材料,该材料在340K发生金属-半导体相变,并伴随可逆的光电性能突变。因其发生相变时也发生体积改变,故其块体形态会因反复相变导致材料碎裂,而薄膜形态则可避免上述问题。为此,本项目...
- 关键词:
- 关键词:钒氧化物
- 类金刚石薄膜的结构与光学性能研究
- 1992年
- 一、前言 类金刚石碳膜(Diamond-Like Carbon Films)是国际上70年代发展起来的一种新型薄膜材料。由于该薄膜具有坚硬耐磨、电阻率和热导率高、化学性能稳定、光学透明等类似于金刚石的特性,因此,自1971年美国人Aisenberg首先发表有关类金刚石碳膜的研究论文后,引起了世界各国的浓厚兴趣。与金刚石薄膜相比,类金刚石薄模有以下3个特点:(1)制备方法比较简便,成本较低,沉积温度低,在二、三百摄氏度以下;(2)沉积膜的微观表面光滑;(3)依赖膜的组分和结构,其性质可在很宽的范围内变化。例如,根据所采用的气源种类等因素的不同,折射率可在1.7~2.9之间变化。这些优点表明:类金刚石薄膜特别适用于作光学零部件的增透膜和保护膜。类金刚石薄膜的性质由其结构所决定,而结构又与制备方法和制备条件有关。因此,研究类金刚石薄膜的性质、结构和沉积工艺间的关系是非常重要的课题。 二、试验方法 改装GDM-300BN型高真空镀膜机。采用平板型阴阳极平行安装,屏蔽的阴极水冷并接13.56MHz射频电源功率极,阳极与真空罩相连并接地。Ar、CH4、C2H2气体流量由质量流量计控制,直流负偏压大小用WYG-30B高压速调管电源调节,设备示意如图1所示。衬底材料为单晶硅和锗。
- 张贵锋郭力军刘正堂许念坎郑修麟
- 关键词:类金刚石薄膜类金刚石碳膜真空镀膜机沉积温度速调管电源功率
- 制备二氧化钒薄膜的无机溶胶-凝胶技术
- 尹大川许念坎
- 1、课题来源与背景: 二氧化钒是一种光电功能材料,该材料在68?C处发生金属-半导体相变,并伴随可逆的光电性能突变。因其发生相变时也发生体积改变,故其块体形态会因反复相变导致材料碎裂。其薄膜形态则可避免上述问题。为此,该...
- 关键词:
- 关键词:二氧化钒薄膜
- 二氧化钒薄膜表面起泡的起因和防止被引量:4
- 1997年
- 对新型的二氧化钒薄膜制备技术即无机溶胶-凝胶法,在制膜过程中其膜面容易起泡这个问题进行了研究,发现制备过程中脱水和晶化过程是起泡的主因。经采用300℃以上的慢速升温烘干处理工艺,避免了在后序真空处理过程中发生脱水和晶化过程,解决了二氧化钒薄膜表面起泡的难题,获得了表面状态很好的二氧化钒薄膜。
- 尹大川许念坎张晶宇刘正堂郑修麟
- 关键词:二氧化钒溶胶-凝胶法表面起泡
- a-C:H膜折射率的变化规律及红外应用
- 1994年
- 本文对a-C:H膜的性质如折射率和生长速率的变化规律进行了研究,并且在增透原理的指导下制备了具有高红外透过率的单波段。
- 郭力军许念坎郑修麟
- 关键词:折射率红外透过率
- 具有纳米结构的 VO_2 相变薄膜被引量:2
- 1997年
- 采用无机溶胶-凝胶法制备VO2相变薄膜,该薄膜相变时的电阻(率)突变可达4~5个数量级。并用XRD,DSC和TGA法研究了制膜过程中干凝胶膜的层状非晶纳米结构。通过适当的非晶晶化过程及随后V2O5→VO2转变的真空热处理,可获得带有空洞(void)结构的低密度纳米薄膜。
- 许念坎尹大川张晶宇郑修麟
- 关键词:溶胶凝胶法二氧化钒
- 一种制备VO_2薄膜的新技术被引量:1
- 1994年
- 一种制备VO_2薄膜的新技术尹大川,许念坎,郑修麟VO2薄膜在68℃存在可逆的金属—绝缘体相变,在相交时表现出光学、电学性质的突变.该膜是一种新型的功能材料,具有广阔的应用前景,如可用作高灵敏度的光、电开关材料,光盘中光学数据存储介质材料,透明导电材?..
- 尹大川许念坎郑修麟
- 关键词:二氧化钒溶胶
- 类金刚石碳膜的间歇式沉积法被引量:1
- 1992年
- 在机械学领域中,类金刚石碳膜的应用尚需解决的问题之一是膜与衬底的附着性和膜厚,两者往不能统一。为此,我们采用了间歇式沉积法。实验表明,间歇式沉积可大大增加膜厚而不影响膜与衬底的附着性。
- 张贵锋耿东生许念坎郑修麟
- 关键词:辉光放电类金刚石
- 高性能二氧化钒薄膜的处理工艺被引量:3
- 1995年
- 高性能二氧化钒薄膜的处理工艺尹大川,许念坎,张晶宇,郑修麟二氧化钒薄膜是一种新型的热敏功能材料[1—3],它在68℃附近发生相变的过程中同时发生的光学、电学性质的突变是人们感兴趣的焦点。提高这些性质的突变性能一直是二氧化钒薄膜应用的关键内容之一,也是...
- 尹大川许念坎张晶宇郑修麟
- 关键词:二氧化钒薄膜电阻率突变相变