您的位置： 专家智库 > >

薛佩佩

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

主题

  • 3篇螺钉
  • 2篇底板
  • 2篇照明
  • 2篇照明系统
  • 2篇热膨胀
  • 2篇热膨胀系数
  • 2篇组件
  • 2篇相干
  • 2篇相干光
  • 2篇相干光源
  • 2篇连接板
  • 2篇明镜
  • 2篇精密车床
  • 2篇宽带光源
  • 2篇环境补偿
  • 2篇固定螺钉
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻机
  • 2篇光源
  • 2篇多自由度

机构

  • 8篇中国科学院上...

作者

  • 8篇薛佩佩
  • 8篇黄惠杰
  • 6篇陈明
  • 6篇任冰强
  • 6篇杨宝喜
  • 6篇钱珍梅
  • 6篇王振
  • 4篇李璟
  • 2篇林栋梁
  • 2篇胡小邦
  • 2篇杨增辉
  • 2篇孙征宇
  • 2篇朱菁
  • 2篇程伟林

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
共 8 条 记 录，以下是 1-8
全选 清除 导出
排序方式：
高精度光学间隔测量装置和测量方法
一种高精度光学间隔测量装置和测量方法，装置包括：短相干光源、激光测长光源、照明指示用光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、测量光路、参考镜光路、延迟扫描光路、波分复用器、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、环境传感...
杨宝喜魏张帆胡小邦李璟陈明朱菁薛佩佩黄惠杰
文献传递
光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构
一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明...
薛佩佩陈明杨宝喜任冰强钱珍梅王振黄惠杰
文献传递
多自由度调整机构
一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和三个调整螺钉组件，在连接板上三个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结...
钱珍梅杨增辉任冰强程伟林薛佩佩王振林栋梁孙征宇黄惠杰
文献传递
大口径透镜的调整固定装置
一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同...
薛佩佩杨宝喜陈明李璟任冰强钱珍梅王振黄惠杰
文献传递
多自由度调整机构
一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和3个调整螺钉组件，在连接板上3个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结...
钱珍梅杨增辉任冰强程伟林薛佩佩王振林栋梁孙征宇黄惠杰
文献传递
高精度光学间隔测量装置和测量方法
一种高精度光学间隔测量装置和测量方法，装置包括：短相干光源、激光测长光源、照明指示用光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、测量光路、参考镜光路、延迟扫描光路、波分复用器、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、环境传感...
杨宝喜魏张帆胡小邦李璟陈明朱菁薛佩佩黄惠杰
文献传递
大口径透镜的调整固定装置
一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同...
薛佩佩杨宝喜陈明李璟任冰强钱珍梅王振黄惠杰
文献传递
光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构
一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明...
薛佩佩陈明杨宝喜任冰强钱珍梅王振黄惠杰
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0