翁国峰
- 作品数：7 被引量：11H指数：2
- 供职机构：武汉工程大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：核科学技术理学化学工程更多>>
- 溴甲烷的等离子体发射光谱测量被引量：2
- 2011年
- 利用脉冲射频空心阴极等离子体源激发含溴甲烷的工作气体产生等离子体,采用HR4000型高分辨力光谱仪测量了等离子体的发射光谱。通过光谱比较,在等离子体发射光谱图中得到了位于635.07,700.52nm的溴原子的特征峰,并实验研究了工作气压和溴甲烷密度对溴原子特征峰强度的影响。实验结果表明:在相同的溴甲烷密度下,溴原子的特征峰强度随气压的升高而降低;在相同的气压条件下,溴原子的特征峰强度随溴甲烷密度的升高而升高;溴甲烷密度测量的精度高于1g/m3。
- 翁国峰马志斌
- 关键词：空心阴极脉冲射频等离子体发射光谱溴甲烷
- 高压微波氢等离子体Balmer线系的实验被引量：3
- 2011年
- 采用压缩波导反应腔结构和热辅助激发的方式产生了可稳定运行于近一个大气压条件下的微波辉光氢等离子体,通过发射光谱诊断技术测量了连续放电过程中氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线,并分析了谱线强度随气压的变化趋势及其机理.实验结果表明,氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线的强度都有随着气压上升先升高后下降的趋势,等离子体的电子激发温度则是随着气压的升高先降低后趋向于稳定.
- 翁国峰湛玉龙陶利平陶利平付秋明
- 关键词：发射光谱
- 微波等离子体化学气相沉积金刚石光谱分析被引量：3
- 2012年
- 采用等离子体光谱分析微波等离子体化学气相(MPCVD)沉积金刚石过程中基团的空间分布及甲烷浓度变化时基团浓度的变化情况.实验过程中分别测量了氢原子的Hα(656.19 nm)、Hβ(486.71 nm)和Hγ(434.56 nm)谱线,以及基团CH(431.31 nm)、C2(515.63 nm)谱线.结果表明:氢原子和基团CH、C2的浓度沿等离子体柱的径向先增加再减小.随着甲烷浓度逐步增加,氢原子及基团CH、C2的浓度相应增加,其中C2基团所受影响最大.
- 马志斌陶利平翁国峰严垒
- 关键词：等离子体光谱金刚石基团
- 基体对金刚石厚膜质量的影响研究被引量：2
- 2011年
- 采用MPCVD法在钼基体上制备金刚石厚膜,测量了等离子体发射光谱,并利用XPS、Raman和SEM对金刚石厚膜进行表征。研究了Mo原子进入金刚石中的机制及其对金刚石厚膜的影响。结果表明:除了热扩散,Mo原子还会以蒸发进入等离子体的方式进入金刚石。金刚石中的Mo原子是以Mo+4、Mo+6以及介于Mo+4-Mo+6之间的化合态存在。在沿成核面到生长面的方向上,sp2C的含量会逐渐减小;成核面的内应力表现为较小的拉应力,随着生长进入连续膜生长阶段,内应力转变为压应力并随膜厚度增加压应力大小逐渐降低,在距离成核面30μm左右处,内应力转变为拉应力,且随着膜厚度进一步增加而缓慢增大。
- 湛玉龙马志斌翁国峰吴建鹏
- 关键词：内应力
- 高气压下微波等离子体化学气相沉积金刚石
- 微波等离子体化学气相沉积是制备高质量金刚石膜的一个理想的方法。本文利用具有强化电磁场分布的压缩波导结构，设计了一套微波等离子体源，该源能够在较低气体流量和微波功率条件下，实现高气压的稳定放电。利用该微波等离子体源进行金刚...
- 马志斌张磊翁国峰湛玉龙
- 关键词：金刚石微波等离子体化学气相沉积
- 高压微波氢等离子体Balmer线系的实验
- 采用压缩波导反应腔结构和热辅助激发的方式产生了可稳定运行于近一个大气压条件下的微波辉光氢等离子体,通过发射光谱诊断技术测量了连续放电过程中氢Balmer线系的H、H、H和H谱线,并分析了谱线强度随气压的变化趋势及其机理....
- 翁国峰湛玉龙陶利平付秋明马志斌
- 关键词：发射光谱
- 文献传递
- 等离子体发射光谱研究
- 等离子体发射光谱是探究等离子体参数、等离子体基团分布的有效工具。本文利用发射光谱技术对压缩波导微波氢等离子体进行原位在线测量，研究了在微波等离子体化学气相沉积金刚石过程中等离子体内部基团、等离子体参数、等离子体内部粒子的...
- 翁国峰
- 关键词：氢等离子体发射光谱溴甲烷
- 文献传递
