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索智群
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供职机构:
中国科学院声学研究所
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相关领域:
理学
电子电信
一般工业技术
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合作作者
乔东海
中国科学院声学研究所
何庆
中国科学院声学研究所
邓英
中国科学院声学研究所
邓越
中国科学院声学研究所
游庆瑜
中国科学院声学研究所
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单晶硅电容式低频传声器的设计和制作
本文提出了一种新型低频电容传声器的结构,并具体阐述了其理论建模及制作工艺。该电容式低频传声器采用各向异性体刻蚀单晶硅作为振动膜,具有低频灵敏度高、频率响应平坦的特点。通过声电等效电路建模,对该传声器性能进行了理论分析,并...
何庆
索智群
乔东海
关键词:
电容式传声器
微机电系统
文献传递
一种基于硅微加工技术的光纤加速度计
本发明涉及一种基于硅微加工技术的光纤加速度计。该基于硅微加工技术的光纤加速度计包括:加速度-位移敏感结构,具有加速度传感头;加速度传感头包括上表面具有反射镜的检测质量块;干涉腔支架,在所述加速度-位移敏感结构上方;该干涉...
索智群
乔东海
文献传递
一种具有分割电极的电容传声器
本发明提供一种具有分割电极的电容传声器,该电容传声器包含两个微电容极板和两个电极,其特征在于,所述两个电极中的任意一个沿径向对称等分分割为n个形状和面积完全相同的独立的电极单元,所述的n个电极单元相互绝缘且关于其所在的微...
何庆
乔东海
索智群
邓英
力平衡模拟反馈电容加速度计的研究
本文介绍了力平衡式模拟反馈电容加速度计的工作原理,对有特定参数的传感头设计了匹配电路并进行了Matlab仿真,仿真结果符合对系统的要求,对加速度计的匹配电路设计具有一定的参考意义。
索智群
乔东海
关键词:
电容加速度计
微机电系统
匹配电路
MATLAB仿真
单晶硅电容式低频传声器的设计和制作
本文提出了一种新型低频电容传声器的结构,并具体阐述了其理论建模及制作工艺。该电容式低频传声器采用各向异性体刻蚀单晶硅作为振动膜,具有低频灵敏度高、频率响应平坦的特点。通过声电等效电路建模,对该传声器性能进行了理论分析,并...
何庆
索智群
乔东海
关键词:
电容式传声器
微机电系统
单晶硅
振动膜
文献传递
用于水声释放的数字匹配滤波器及其FPGA实现
本文提出了一种用于水声释放器的低功耗数字匹配滤波器及其FPGA实现方法。MATLAB仿真和FPGA实验结果表明,该匹配滤波器灵敏度高和信噪比高,功耗低。实际的水声编码接收实验表明,该系统性能好、可靠性高。
何庆
游庆瑜
索智群
乔东海
关键词:
数字匹配滤波器
MATLAB仿真
现场可编程门阵列
一种光纤加速度传感器探头及加速度传感器系统
本发明提供一种光纤加速度传感器探头以及基于相位载波调制技术的光纤加速度传感器系统。该系统包括:激光光源、光纤、光纤耦合器、光纤加速度传感器探头、光电探测器、相位载波调制信号电子解调系统。激光光源是一种相位载波调制的激光光...
乔东海
何庆
索智群
邓英
文献传递
一种带声学腔的电容式加速度传感器
本发明提供一种带声学腔的电容式加速度传感器。包括:传感器框架、由检测质量块和弹性振动膜构成的加速度检测结构、和带有阻尼孔和限位凸点的背极板。检测质量块位于加速度传感器中心位置,通过四周的弹性振动膜与传感器框架相连接;背极...
乔东海
何庆
索智群
齐敏
游庆瑜
文献传递
一种硅微加速度传感器
本发明涉及一种硅微加速度传感器,包括加速度传感头和背极板,加速度传感头包括框架,背极板和框架形成包围加速度传感头的空间,在框架和背极板之间形成气孔,从而使加速度传感头与背极板之间的空气能够通过气孔自由流动。本发明的硅微加...
索智群
何庆
乔东海
文献传递
一种基板内嵌式麦克风封装结构
本发明涉及一种基板内嵌式麦克风封装结构,包括:金属顶盖、基板、麦克风芯片、电路芯片和无源元件,所述的基板的上表面用于承载并固定所述的麦克风芯片、电路芯片和无源元件;该基板的上表面和下表面均设置有电连通的接地电极,用于与金...
乔东海
何庆
索智群
邓英
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