您的位置: 专家智库 > >

秦邻

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:电子工业部更多>>
相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇短程透镜
  • 1篇透镜
  • 1篇微光学
  • 1篇微机械
  • 1篇列阵
  • 1篇光学

机构

  • 1篇重庆大学
  • 1篇电子工业部

作者

  • 1篇秦邻
  • 1篇朱维安
  • 1篇黄友恕
  • 1篇钟先信

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇1998
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
化学腐蚀法制造硅微透镜列阵的实验研究被引量:2
1998年
采用KOH:H2O的湿法化学腐蚀Si{100}晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜,透镜直径可从几个微米到几个毫米,焦距和孔径之比f/D可以从2.5到10以上。文章给出了微透镜及列阵的实验测试结果和若干显微照片,对其设计与制造建立了半经验理论模型。最后,对球面的形成原理及异常焦斑形状作了讨论。
朱维安黄友恕钟先信秦邻
关键词:微机械微光学短程透镜
共1页<1>
聚类工具0