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秦邻
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
电子工业部
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相关领域:
机械工程
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合作作者
钟先信
重庆大学光电工程学院
黄友恕
重庆大学光电工程学院
朱维安
重庆大学光电工程学院
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秦邻
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朱维安
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黄友恕
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钟先信
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1篇
光学精密工程
年份
1篇
1998
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化学腐蚀法制造硅微透镜列阵的实验研究
被引量:2
1998年
采用KOH:H2O的湿法化学腐蚀Si{100}晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜,透镜直径可从几个微米到几个毫米,焦距和孔径之比f/D可以从2.5到10以上。文章给出了微透镜及列阵的实验测试结果和若干显微照片,对其设计与制造建立了半经验理论模型。最后,对球面的形成原理及异常焦斑形状作了讨论。
朱维安
黄友恕
钟先信
秦邻
关键词:
微机械
微光学
短程透镜
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