石春梅
- 作品数:3 被引量:2H指数:1
- 供职机构:西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金:陕西省自然科学基金西安应用材料创新基金更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术更多>>
- 直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究被引量:1
- 2008年
- 采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3)前驱溶胶及其凝胶薄膜;结合直接感光法,首先制备图形化凝胶薄膜,再通过后续热处理,在Pt/TiO_2/SiO_2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜,其图形厚度约为793nm,相对介电常数约为600,介电损耗约为0.03.
- 张卫华袁媛石春梅赵高扬
- 关键词:BST薄膜感光性微细图形溶胶-凝胶工艺
- 直接感光法制备锆钛酸铅镧薄膜图形及其性能
- 2008年
- 采用化学修饰溶胶凝胶工艺,以PVP为薄膜开裂抑制剂,以苯酰丙酮为化学修饰剂,利用其与金属盐形成的配位螯合物结构,合成了具有紫外光感应特性的锆钛酸铅镧(Pb0.91La0.09(Zr0.65Ti0.35)O3,PLZT)前驱溶胶;对单次提拉得到的凝胶薄膜进行直接感光法图形制备;通过后续热处理,在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上得到了具有钙钛矿结构的PLZT薄膜图形,其最终热处理后的膜厚约为260nm,剩余极化强度约为6.7μC/cm2,矫顽场强约为77kV/cm,相对介电常数约为356,介电损耗约为0.02,漏电流密度小于10-2μA/cm2,极化疲劳特性可达107以上.
- 张卫华石春梅袁媛赵高扬盛淑月
- 关键词:溶胶凝胶微细图形感光性
- 直接感光法PLZT薄膜图形制备及其性能的研究
- 锆钛酸铅镧铁电薄膜/(PLZT/)由于具备许多优良的铁电、介电性能、压电效应和电光效应等物理性能,被广泛的应用于动态随机存储器DRAM、非挥发性存储器FeRAM等铁电集成领域。对于铁电集成器件的应用,不仅要求一定的膜厚,...
- 石春梅
- 关键词:锆钛酸铅镧溶胶-凝胶工艺微细图形PVP铁电薄膜
- 文献传递