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石岛芳夫

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：名古屋大学更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇数值模拟
  • 1篇表面波等离子...
  • 1篇值模拟

机构

  • 1篇华中科技大学
  • 1篇名古屋大学

作者

  • 1篇江中和
  • 1篇石岛芳夫
  • 1篇但敏
  • 1篇菅井秀郎
  • 1篇刘明海
  • 1篇胡希伟
  • 1篇李斌

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
大面积表面波等离子体的特性研究被引量：9
2006年
介绍一种矩形反应腔体结构的表面波等离子体源,通过对垫层介质及天线结构的优化设计,产生了大面积均匀的等离子体.采用静电探针测量了等离子体参数(密度,电子温度)在不同运行条件(气压,功率)下的空间分布;采用扩散模型,数值模拟了等离子体密度在垂直方向上的空间分布,并比较好地解释了实验测量结果.
刘明海菅井秀郎胡希伟石岛芳夫江中和李斌但敏
关键词：表面波等离子体数值模拟
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共1页<1>
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