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王开鹰
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10
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南京理工大学
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相关领域:
文化科学
机械工程
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合作作者
苏岩
南京理工大学
董涛
南京理工大学
何勇
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杨朝初
南京理工大学
方中
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应用于非制冷红外焦平面的硅锗薄膜平行转移方法
本发明公开了一种应用于非制冷红外焦平面的硅锗薄膜平行转移方法,包括清洗晶圆,对晶圆进行涂胶和前烘,用夹具固定晶圆形成晶圆对,对晶圆对进行热压键合,去除SI支撑层和BOX层等步骤,本发明无需考虑敏感材料沉积条件与CMOS晶...
王开鹰
董涛
方中
何勇
杨朝初
苏岩
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一种单电容相关双采样非制冷红外读出电路
本发明公开了一种单电容相关双采样非制冷红外读出电路,包括M×N像素探测单元阵列、CTIA型积分电路、单电容相关双采样电路、行列逻辑控制信号产生模块和输出缓冲电路:M×N像素探测单元阵列对采集到的信号进行光电转换,并输入至...
苏岩
董涛
何勇
周同
杨朝初
王开鹰
文献传递
应用硅锗薄膜的非制冷红外焦平面阵列像元制造方法
本发明公开了一种应用硅锗薄膜的非制冷红外焦平面阵列像元制造方法,包括将硅锗薄膜由SOI晶圆转移至CMOS晶圆,对薄膜刻蚀形成沟道,用lift-off法形成金属顶电极,对薄膜刻蚀形成敏感区块,PECVD法沉积氮化硅支撑薄膜...
何勇
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方中
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应用于非制冷红外焦平面的硅锗薄膜平行转移方法
本发明公开了一种应用于非制冷红外焦平面的硅锗薄膜平行转移方法,包括清洗晶圆,对晶圆进行涂胶和前烘,用夹具固定晶圆形成晶圆对,对晶圆对进行热压键合,去除SI支撑层和BOX层等步骤,本发明无需考虑敏感材料沉积条件与CMOS晶...
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杨朝初
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非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法
本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法,首先将圆晶片台与溅射靶材一、溅射靶材二的靶面偏心对准,打开真空室,把晶片放置于圆晶片台上;然后关闭真空室,按次序启动机械真空泵和低温真空泵,抽真空至10<S...
王开鹰
董涛
刘国华
何勇
张明明
苏岩
施芹
非制冷红外探测阵列用自掺杂硅锗/硅多量子阱热敏材料
本发明公开了一种非制冷红外探测阵列用自掺杂硅锗/硅多量子阱结构并具有较高温度电阻系数的热敏材料。材料包括底部接触层、底部隔离层、硅锗/硅多量子阱结构、顶部隔离层和顶部接触层。当隔离层厚度为35~100?nm,硼粒子由接触...
董涛
王开鹰
姜波
何勇
杨朝初
苏岩
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非制冷红外探测阵列用自掺杂硅锗/硅多量子阱热敏材料
本发明公开了一种非制冷红外探测阵列用自掺杂硅锗/硅多量子阱结构并具有较高温度电阻系数的热敏材料。材料包括底部接触层、底部隔离层、硅锗/硅多量子阱结构、顶部隔离层和顶部接触层。当隔离层厚度为35~100nm,硼粒子由接触层...
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非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法
本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法,首先将圆晶片台与溅射靶材一、溅射靶材二的靶面偏心对准,打开真空室,把晶片放置于圆晶片台上;然后关闭真空室,按次序启动机械真空泵和低温真空泵,抽真空至10<S...
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一种单电容相关双采样非制冷红外读出电路
本发明公开了一种单电容相关双采样非制冷红外读出电路,包括M×N像素探测单元阵列、CTIA型积分电路、单电容相关双采样电路、行列逻辑控制信号产生模块和输出缓冲电路:M×N像素探测单元阵列对采集到的信号进行光电转换,并输入至...
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应用硅锗薄膜的非制冷红外焦平面阵列像元制造方法
本发明公开了一种应用硅锗薄膜的非制冷红外焦平面阵列像元制造方法,包括将硅锗薄膜由SOI晶圆转移至CMOS晶圆,对薄膜刻蚀形成沟道,用lift-off法形成金属顶电极,对薄膜刻蚀形成敏感区块,PECVD法沉积氮化硅支撑薄膜...
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