汪渊
- 作品数：72 被引量：70H指数：4
- 供职机构：四川大学更多>>
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- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺电子电信更多>>
- 基于TiO_2纳米管的三维LiFePO_4正极材料的制备及其电化学性能被引量：1
- 2018年
- 本文用TiO_2纳米管阵列作为薄膜锂离子电池的三维模板,通过磁控溅射在TiO_2纳米管上沉积LiFePO_4薄膜,制备出了具有三维结构的LiFePO_4薄膜.结果表明,这种结构的电池不仅增大了LiFePO_4与电解质的接触面积、提高了正极材料的利用率,还有效地缩短了锂离子的迁移路径、弥补了锂离子扩散率低的缺陷,从而改善了电极材料的动力学性能.
- 牛文骁劳远侠刘中清汪渊
- 关键词：TIO2纳米管LIFEPO4磁控溅射
- 柔性基体材料表面获取多孔高纯锐钛矿相二氧化钛薄膜的工艺
- 本发明公开了一种在聚酰亚胺柔性基体表面获取多孔高纯锐钛矿相二氧化钛薄膜的工艺。该工艺包括柔性基体漂洗，离子轰击清洗，在柔性基体上直流/射频磁控溅射沉积金属铬过渡层和金属钛纳米薄膜，及通过等离子体微弧氧化原位获取具有择优取...
- 尹旭刘波汪渊杨吉军
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- 钛基非蒸散型吸气材料的制备工艺方法
- 一种制备钛基多孔非蒸散型吸气材料的工艺方法，该制备工艺包括：(1)材料包括第一种元素为金属吸气元素Ti和第二种元素Mo；(2)将两种金属粉末按吸气材料的成分要求进行配料；(3)将配好的粉末混合物在惰性气体Ar气保护下，在...
- 尉秀英秦光荣张艳熊玉华杜军毛昌辉王磊汪渊
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- 等离子体表面改性提高Cu/SiC:H/SiOC:H多层膜系界面结合强度和热稳定性研究
- 纳器件Cu互连结构体中Cu/SiC:H/SiOC:H多层膜系的界面结合性能及热稳定性是目前研究的热点和重点问题之一。由于Cu线与介电阻挡层(SiCN:H、SiC:H等)两者成份迥异所导致机械性能、表面能、界面能和热膨胀系...
- 刘波杨吉军汪渊徐可为
- 关键词：热稳定性
- 双层高熵合金扩散阻挡层的制备方法
- 本发明公开了一种双层高熵合金扩散阻挡层的制备方法，主要包含以下步骤：将单晶Si基体进行超声波清洗；采用反溅射清洗去除单晶Si基体中杂质，采用预溅射清洗去除靶材和靶片中的杂质；在通入Ar和N流量比为1：(0.65～0.9)...
- 汪渊石云龙张立东
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- 基于小波变换的磁控溅射Cu-W薄膜生长表面形貌评价
- 2004年
- 本文运用离散小波变换(DWT)法研究磁控溅射铜钨薄膜表面特征随溅射时间的演变.提出了一种基于小波变换表征生长薄膜表面形貌的方法.结果表明,高频部分引起薄膜表面形貌的变化.Cu-W薄膜在溅射时间超过600 s时才达到稳定.
- 汪渊白宣羽徐可为范多旺
- 关键词：表面形貌小波变换
- 一种纳米晶高熵氧化物薄膜的制备方法及应用
- 本发明公开了一种纳米晶高熵氧化物薄膜的制备方法及应用，制备方法包括以下步骤：先称取纯度高于99.90％的金属氧化物粉末混合物装入模具，再冷压成型，制成直径60mm，厚度5mm的圆柱体压坯；将所述圆柱体压坯高温煅烧后缓慢冷...
- 李晓华孙森杨朝明汪渊
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- Cu-Zr/ZrN薄膜体系的电阻率和纳米压入研究被引量：4
- 2005年
- 采用磁控溅射方法在 Si(111)基片上沉积 Cu-Zr/ZrN 薄膜体系作为扩散阻挡层。通过比较 Cu-Zr/ZrN 薄膜体系和三元非晶(Mo,Ta,W)-Si-N 的电阻率,同时比较 Cu-Zr/ZrN 薄膜体系和 Ta,TaN 的硬度,说明作为扩散阻挡层的材料的选取,应从整体性能上考虑,而不能仅仅考虑热稳定性等单一指标。
- 白宣羽汪渊徐可为
- 关键词：非晶电阻率纳米压入
- 一种纳米高熵氧化物的制备方法及锂离子电池负极材料
- 本发明公开了一种纳米高熵氧化物的制备方法及锂离子电池负极材料，通过将氧化铁、氧化钛、氧化镁、氧化锌和氧化铜粉末按照等摩尔金属原子化学计量比进行混合，经过球磨、冷压制块、高温烧结、再球磨，得到高熵氧化物(FeTiMgZnC...
- 汪渊陈鸿裘南
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- 集成电路的铜互连布线及其扩散阻挡层的研究进展
- 本文综述了集成电路互连线的发展历史及研究现状.介绍了铜作为互连金属的优势及几种铜互连线的沉积工艺,分别讨论了它们的优缺点.总结了扩散阻挡层材料的研究状况,指出了目前扩散阻挡层高电阻率的缺点.
- 白宣羽汪渊徐可为范多旺
- 关键词：铜扩散阻挡层集成电路互连线
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