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柏昕昱
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
供职机构:
吉林大学物理学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
理学
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合作作者
隋瑛锐
吉林师范大学物理学院
刘波
吉林大学物理学院
姚斌
吉林大学物理学院
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吉林师范大学...
年份
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2008
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射频磁控溅射制备ZrN薄膜及其表征
被引量:5
2008年
本文利用射频磁控溅射在N2和Ar混合气氛环境下,在玻璃衬底上沉积ZrN薄膜.采用X射线衍射(XRD)、X射线散射能谱(EDX)和扫描电子显微镜(SEM)技术对薄膜微观结构、成分及形貌进行分析.结果表明,制备的ZrN薄膜是化学计量比接近于1的面心NaCl结构.从薄膜的表面形貌图可知,薄膜表面平整,缺陷很少,晶粒排列非常致密,且空位及表面缺陷很少.
隋瑛锐
柏昕昱
刘波
姚斌
关键词:
射频磁控溅射
X射线衍射
石墨纳米条带的输运性质
本论文采用紧束缚近似方法(tight-banding)和Landau-Buttiker公式计算了石墨条带的电子输运性质。研究了门压、磁场对不同边界石墨纳米条带体系的电导性质的影响。并用Dirac方程求解了石墨纳米条带的波...
柏昕昱
关键词:
磁场
输运性质
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