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李野
作品数:
13
被引量:61
H指数:4
供职机构:
长春光学精密机械学院
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合作作者
卢耀华
长春理工大学
姜德龙
长春光学精密机械学院
田景全
长春理工大学
富丽晨
长春理工大学
端木庆铎
长春理工大学
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高纵横比微孔列阵的干刻工艺
被引量:2
1998年
本文简述了干法刻蚀的现状和Multiplex - ICP 的结构原理, 给出了高纵横比微孔列阵的初刻实验结果,
卢耀华
李野
端木庆铎
姜德龙
富丽晨
田景全
关键词:
选择比
刻蚀
微机械
AT-MCP微孔列阵基体形成的实验研究
了AT-MCP微孔列阵基体形成的工艺实验,给出了采用Multiplex-ICP进行干法刻蚀的初步结果,指出了一些有待深入探索的新现象。
端木庆铎
姜德龙
李野
卢耀华
关键词:
干法刻蚀
长径比
金薄膜UV透过特性对MCP电子增益测量影响的研究
被引量:1
2002年
介绍了微通道板的电子增益及其测量的UV光电法 ,并着重分析了UV光透过Au薄膜引起的附加输出 (或附加增益 )对测试结果的影响 ,给出了减小的途径 。
李野
但唐仁
高延军
程轶
姜得龙
田景全
关键词:
微通道板
金薄膜
MCP
微孔深通道列阵的关键技术及其应用
介绍了国内外关于微孔深通道列阵的研究工作进展,给出了初步实验结果,指出了传统工艺中从未遇到的新现象和新问题,提出了解决问题的初步设想,最后展望了微孔深通道绝缘基体的应用前景.
田景全
但唐仁
李野
富丽晨
姜德龙
卢耀华
端木庆铎
关键词:
感应耦合等离子体
微加工技术
文献传递
低强度X射线影像仪的新发展
被引量:8
1999年
扼要介绍国内外Lixiscope 的概况。提出在国产系统中在X射线源前加置X射线准直器,X 射线影像增强器采用纤维光学输出窗和小孔径大面积微通道板,可以改普像质、扩大视场。
李野
姜德龙
卢耀华
端木庆铎
田景全
富丽晨
关键词:
X射线
影像增强器
准直器
微通道板
微通道板非晶态Al_2O_3电子透射膜
被引量:23
1996年
文中介绍了MCP非晶态Al2O3电子透射膜在成像器件中的作用,阐述了膜层的选择、形成条件与方法,给出了膜层形成及其与辉光气体放电的关系,测量了膜层及带膜MCP的某些特性,并进行了初步分析和讨论.
田景全
姜德龙
富丽晨
卢耀华
李野
王桂芬
闫金良
关键词:
微通道板
电子透射膜
离子反馈
象增强器
二维电子倍增器及其新发展
被引量:12
1999年
概述了二维电子倍增器RLSG-MCP的发展概况和工艺的局限性,提出了用半导体工艺制作AT-MCP的技术途径,阐述了AT-MCP的优点;介绍了新型MSP电子倍增器的原理和特点,最后展望了电子倍增器的发展前景.
端木庆铎
田景全
姜会林
姜德龙
李野
卢耀华
富丽晨
关键词:
电子倍增器
微通道板
微球板
在多孔基底上形成免污离子壁垒超薄膜技术的新途径
2000年
文中介绍了在多孔基底MCP输入面上制作免污离子壁垒膜层的新工艺的基本原理和方法 ,给出了膜层成分分析和带膜MCP特性测试结果 ,并初步讨论了电子通过与膜厚的关系。
卢耀华
李野
万羿歌
孙秀平
姜德龙
关键词:
离子壁垒
超薄膜
微通道板
像增强器
近紫外面发射体—金属薄膜的研究
2000年
文中介绍了金属Al和Au薄膜光电阴极的光电发射特性和暴露大气后的稳定情况 ,给出了实验结果 。
卢耀华
李野
姜德龙
孙秀平
关键词:
光电发射
CsBr涂层对MCP电流响应特性影响的研究
被引量:2
1994年
当MCP输入面上蒸有CsBr 涂层时对 UV、光电子、 x射线的响应进行实验研究,给出实验结果并进行分析讨论。
姜德龙
李野
卢耀华
吴奎
田景全
关键词:
微通道板
涂层
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