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李庆贤

作品数：5 被引量：18H指数：2
供职机构：中国计量科学研究院更多>>
发文基金：国家科技支撑计划国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇机械工程
  • 3篇一般工业技术

主题

  • 5篇校准
  • 5篇激光干涉
  • 4篇激光
  • 3篇六自由度
  • 2篇校准系统
  • 2篇校准装置
  • 2篇计量学
  • 2篇分光
  • 2篇干涉仪
  • 2篇测距
  • 2篇测距技术
  • 1篇单轴
  • 1篇电容式
  • 1篇电容式位移传...
  • 1篇平面镜
  • 1篇位移传感器
  • 1篇误差分析
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇仿真

机构

  • 4篇中国计量科学...
  • 2篇浙江理工大学
  • 1篇天津大学
  • 1篇中国计量学院
  • 1篇苏州市计量测...

作者

  • 5篇李庆贤
  • 4篇施玉书
  • 4篇高思田
  • 4篇李伟
  • 3篇李适
  • 2篇皮磊
  • 2篇李琪
  • 2篇王鹤群
  • 2篇沈飞
  • 2篇王兴旺
  • 2篇郭鑫
  • 2篇张树
  • 1篇李东升
  • 1篇卢明臻
  • 1篇陈本永

传媒

  • 2篇计量学报

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于HSPMI的激光干涉位移校准系统的构建及实验研究被引量：5
2013年
基于高稳定性平面镜干涉仪（HSPMI）构建了一套激光干涉纳米位移校准系统。描述了该系统的组成，设计了基于VME总线的数字信号处理计算机软件程序，对影响系统测量不确定度的各类误差进行了分析，得出该校准系统测量不确定度为2．93nm。分别对系统稳定性和纳米级位移测试进行了实验，验证了构建系统的有效性和实用性。
李庆贤高思田李伟施玉书卢明臻陈本永
关键词：计量学激光干涉误差分析
一种纳米位移台六自由度校准装置
本实用新型公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移...
施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
一种纳米位移台六自由度校准装置
本发明公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量...
施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
文献传递
高精度电容式位移传感器校准方法的研究被引量：13
2015年
介绍一种使用激光干涉仪结合单轴精密位移台对电容式位移传感器进行校准的方法。建立了一套高精度电容式位移传感器校准装置，利用单轴精密位移台位移与电压之间的关系产生纳米级的微小位移，同时使用激光干涉仪和待校准电容式位移传感器测量单轴精密位移台的微小位移。该装置可实现电容式位移传感器线性度、测量重复性以及测量分辨率的校准。实验验证了此校准方法的准确性和实用性，对影响校准的主要因素进行了分析，其综合不确定度为2．2nm。
郑志月施玉书高思田李东升李伟李适李庆贤
关键词：计量学电容式位移传感器激光干涉仪
纳米位移台六自由度的激光干涉校准系统的研制
随着微/纳米科学技术的发展，纳米级定位技术已成为纳米科学技术领域的一项关键技术，对纳米位移台的多自由度测量和校准提出了迫切的要求。本论文依托于国家科技支撑计划课题“纳米位移定位控制技术和系统的研发(2011BAK15B0...
李庆贤
关键词：六自由度校准系统激光干涉仿真模拟
文献传递
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