权哲浩
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信电气工程更多>>
- 扫描隧道显微镜微动台的有限元分析与实验研究被引量：3
- 2008年
- 设计了一种以基于尺蠖运动原理的微动台为核心的扫描隧道显微镜(STM)机械机构,利用有限元方法对微动台部分的结构进行分析,对其静态、模态特性进行了实验研究。结果表明:微动台具有较大的行程和较好的稳定性,载物力可以达到16.7 N,最小步距约8.8 nm,行程14mm。
- 权哲浩林玉池仝凌志金日光赵美蓉
- 关键词：扫描隧道显微镜微动台压电陶瓷有限元分析
- 大行程纳米级步进压电微动台的特性研究被引量：2
- 2008年
- 运用有限元分析方法,建立纳米级步进压电微动台的实体模型并进行了仿真计算,考察了结构参数对步进型压电微动台性能的影响,得到了压电微动台的固有频率和振型。采用正交实验法设计结构参数,分析了不同因素对压电微动台的固有频率和振动幅值的影响,得到了影响二者之比的4个因素的最优设计参数。根据逐步回归分析的方法建立了结构设计参数的数学模型,从而定量地分析各自变量与一阶固有频率之间的关系。
- 权哲浩林玉池赵美蓉李光鲜齐永岳
- 关键词：有限元分析正交实验法
- 大行程压电微动台的有限元分析与实验被引量：1
- 2007年
- 设计了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电微动台,变传统单驱动器结构为双驱动器结构,采用"推-拉"接力运动原理,实现了大的驱动力与行程.利用有限元方法对压电微动台的结构和静、动态特性进行了研究.实验结果表明,压电微动台的运动范围为11 mm,稳定性好,载物力可以达到24.5 N,最小步距小于20 nm.
- 权哲浩林玉池赵美蓉齐永岳
- 关键词：有限元分析静态特性动态特性
- 纳米级步进压电微动台结构设计与性能分析研究
- 作为纳米技术中的关键环节，步进压电精密驱动技术是现代精密驱动技术中的热门研究领域之一，并且正在朝着高精度、高分辨率的方向加以提高，一些新方法、新原理和新技术不断涌现出来。
本文对外驱动和内驱动两种驱动方式的步进...
- 权哲浩
- 关键词：纳米测量机微机电系统
