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操振华

作品数:20 被引量:4H指数:2
供职机构:南京大学更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:一般工业技术理学金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 14篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 4篇一般工业技术
  • 3篇理学
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 9篇溅射
  • 9篇磁控
  • 9篇磁控溅射
  • 8篇纳米
  • 8篇溅射法
  • 8篇磁控溅射法
  • 7篇直流磁控
  • 7篇直流磁控溅射
  • 6篇直流磁控溅射...
  • 6篇金属
  • 5篇微电子
  • 3篇退火
  • 3篇阻挡层
  • 3篇扩散阻挡层
  • 3篇高真空
  • 3篇分子泵
  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇单晶硅片
  • 2篇氮气保护

机构

  • 20篇南京大学
  • 3篇江苏奥蓝工程...

作者

  • 20篇操振华
  • 16篇孟祥康
  • 9篇李平云
  • 8篇陆海鸣
  • 4篇陆洪彬
  • 4篇胡坤
  • 4篇唐少春
  • 3篇刘澎
  • 3篇徐春
  • 3篇孙超
  • 3篇蔡云鹏
  • 2篇佘茜玮
  • 2篇顾敏豪
  • 2篇朱少鹏
  • 2篇汪蕾
  • 2篇胡勇
  • 2篇魏明真
  • 1篇任华
  • 1篇高文华
  • 1篇谢浩

传媒

  • 2篇南京大学学报...

年份

  • 1篇2020
  • 3篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 4篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 4篇2009
  • 2篇2008
20 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
厚度对纳米晶铜膜延展性的逆尺寸效应
单轴拉伸测试研究了沉积在聚酰亚胺衬底上不同厚度纳米晶铜膜的延展性.通过SEM统计微裂纹密度(MCD),如图一 (a)所示,同一应变下,较厚铜膜的MCD较大;通过四探针测电阻法测量不同厚度的铜膜电阻变化(R/Ro),如图一...
胡坤操振华孟祥康
关键词:延展性厚度尺寸效应
微波超声波高效协同技术及环保节能设备的开发与应用
唐少春孟祥康高文华朱健陆洪彬尹青堂谢浩操振华王勇光
项目组利用物理场之间的干预和促进作用,实现了微波、超声波两者不同优势的有效结合与互补,成功解决了波场引入和协同处理过程带来的技术难题;以能量波的协效强化和持续稳定为宗旨,结合不同材料在微波超声波场中的电磁响应特性的差异,...
关键词:
关键词:功能材料
一种金属多层膜的制备方法
本发明涉及一种金属多层膜的制备方法,先将单晶硅片依次由丙酮和乙醇超声清洗,吹干后放入超高真空磁控溅射设备基片台上,准备镀膜;采用直流磁控溅射法,将金属靶材放在真空室靶台上,在本底真空度为1.0×10<Sup>‑5</Su...
操振华孙超魏明真马玉洁王耿洁蔡云鹏孟祥康
文献传递
一种基于模拟IC服役条件的多场耦合实验方法和装置
基于模拟IC真实服役条件的多场耦合装置,由主工作室、闸板阀、分子泵、机械泵、高压直流电源及控制柜、加热器组件、铜板、电场支撑杆、电场支撑杆和陶瓷垫支撑板构成,加热器组件被安装在铜板背部。实现了对电场与温度在高真空下的耦合...
孟祥康操振华李平云刘澎徐春陆海鸣
文献传递
高强度纳米结构双相高熵合金薄膜
操振华蔡云鹏孟祥康
纳米压痕法测量纳米晶金属Cu薄膜力学性能的研究被引量:2
2009年
采用纳米压痕法测量了不同厚度(180~1000nm)的纳米晶Cu膜的硬度和弹性模量.结果表明,Cu膜硬度与厚度的关系类似于Hall-Petch关系,而弹性模量与厚度无关,其值相比块体粗晶Cu下降了约20%,分析位移-载荷曲线发现晶粒尺寸越大的Cu膜其位移跳跃现象越明显.另外,对于不同厚度的Cu膜其临界剪切应力的范围约在3.02~4.07GPa之间,基本接近粗晶Cu的理论剪切强度,位错塞积依然是其塑性变形的主要机制.
操振华李平云陆海鸣孟祥康
关键词:纳米压痕纳米晶CU膜力学性能
纳米金属Ni的饱和磁化强度和居里温度的尺寸依赖效应被引量:3
2009年
目前,纳米铁磁材料的磁学性质得到了广泛的关注.利用振动样品磁强计测试了纳米金属Ni的饱和磁化强度和居里温度.结果表明,纳米金属Ni的饱和磁化强度和居里温度低于粗晶Ni的饱和磁化强度和居里温度.而且,纳米金属Ni的饱和磁化强度和居里温度都具有尺寸依赖特性.采用一理论模型解释了饱和磁化强度和居里温度的尺寸依赖特性.
李平云操振华陆海鸣孟祥康
关键词:纳米饱和磁化强度居里温度
一种基于模拟IC服役条件的多场耦合实验方法和装置
基于模拟IC真实服役条件的多场耦合装置,由主工作室、闸板阀、分子泵、机械泵、高压直流电源及控制柜、加热器组件、铜板、电场支撑杆、电场支撑杆和陶瓷垫支撑板构成,加热器组件被安装在铜板背部。实现了对电场与温度在高真空下的耦合...
孟祥康操振华李平云刘澎徐春陆海鸣
文献传递
一种太阳能吸收膜及其制备方法
本发明公开了一种太阳能吸收膜。依次包括底层金属片Cu、吸收层和反应溅射形成的AlN减反射层,吸收层包括若干个吸收周期层,每个周期层包括两层有效吸收层膜,该效吸收层膜从上往下依次为金属层Ni膜和陶瓷吸收层TiNxOy-Ni...
黄林冲操振华魏明真徐丽君石俊孟祥康
文献传递
金属薄膜力学行为多尺度效应的研究
金属薄膜可作为微电子器件(集成电路和微/纳电子机械系统)的组元材料。如金属Cu膜是目前大规模集成电路中最重要的互连材料,金属Ta膜直接和Cu膜相连,是应用最广泛的扩散阻挡层材料。众所周知,金属薄膜力学性能的优劣直接影响到...
操振华
关键词:金属薄膜塑性变形纳米压痕
共2页<12>
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