徐雪峰
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：北京大学物理学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- FIB系统溅射刻蚀KTP及LiNbO3晶体微结构的性能研究
- 光学晶体材料具有优异的性能,如电光、磁光、声光效应、非线性效应、光折变效应等,而FIB系统作为新型微纳米级加工仪器,可显微观测及无掩膜刻蚀,加工精度高,对材料选择性低,功能完善,近年已被广泛应用于各种材料微纳结构的制备与...
- 刘鹏黄庆徐雪峰颜莎王雪林
- 关键词：光学晶体聚焦离子束微结构
- 文献传递
- 用聚焦离子束在LiNbO<,3>晶体上刻蚀二维空气孔光子晶体的研究
- 光子晶体是近几十年迅速发展起来的一种新型人工结构功能材料，是一种折射率呈空间周期性变化的材料，其空间周期与光波长可以相比，由于布拉格散射能够产光子禁带，即频率落在禁带范围内的光是不能够在光子晶体中传播的。光子禁带的位置和...
- 徐雪峰
- 关键词：光子晶体铌酸锂聚焦离子束功能材料
- 用聚焦离子束气体辅助刻蚀在LiNbO_3上制备亚微米圆孔点阵被引量：1
- 2009年
- 使用聚焦粒子束(FIB)在LiNbO3上刻蚀用于光子晶体的亚微米圆孔二维点阵,研究了刻蚀束流、刻蚀时间和填充率等刻蚀参数对刻蚀结果造成的影响。为获得更好的刻蚀效果,还采用了FIB的气体辅助刻蚀方法(gas-assisted etching,GAE)。研究发现,与直接刻蚀结果相比,GAE减小了反沉积效应,得到了更好的孔形。禁带模拟计算表明,与常规FIB刻蚀出的锥形圆孔相比,使用XeF2气体辅助刻蚀得到的这种侧壁更陡直的圆孔阵列构成的光子晶体禁带更趋近于理想光子晶体的禁带。
- 徐雪峰颜莎王克明王雪林薛建明王宇钢
- 关键词：聚焦离子束铌酸锂
