张耀平
- 作品数:18 被引量:46H指数:5
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:理学电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 红外激光薄膜表面缺陷研究被引量:3
- 2005年
- 薄膜缺陷是影响红外激光薄膜元件抗激光损伤的重要因素之一,长期以来一直是人们关注和研究的问题。本文介绍了红外激光薄膜缺陷的种类、特点及成因,在此基础上,分析了不同厂家镀膜材料与不同镀膜速率对薄膜表面缺陷密度的影响,并且得出了镀制激光薄膜所需的合适材料与速率,最后利用有限元方法对典型的节瘤与陷穴缺陷受激光作用进行了模拟分析,结果表明:节瘤缺陷种子深度小且直径大的缺陷产生的温升与应力较大,陷穴缺陷随直径增大,其产生的温升与应力也较大。
- 张耀平许鸿凌宁张云洞
- 关键词:激光薄膜红外激光缺陷密度镀膜材料激光作用节瘤
- 变形镜在激光辐照下热畸变有限元模拟被引量:4
- 2016年
- 利用有限元分析软件数值模拟了固体激光器系统中由单晶硅(Silicon)、石英(Silica)与超低膨胀玻璃(ULE)等不同材料制作的变形反射镜受激光辐照下的热畸变特性。计算结果表明:当入射激光功率密度为0.225 k W/cm^2,激光照射时间为10 s,镜面反射率为99.9%时,三种材料的变形镜的最大温升分别为0.804、6.751与7.122℃,最大热变形分别为0.049 3、0.034 8与0.005 4μm,相比之下,单晶硅温升较小,超低膨胀玻璃(ULE)的变形与应力最小,ULE是未来比较理想的镜面材料。最后,对变形镜在长脉冲激光辐照下也进行了计算与分析。
- 张耀平樊峻棋龙国云
- 关键词:自适应光学变形镜激光薄膜
- 光学薄膜残余应力分配预测模型计算方法研究
- 2006年
- 残余应力是光学薄膜研究的一个重要组成部分,它对光学元器件有很大的影响。根据弹性力学原理,基于应变不匹配,提出了一种可以预测薄膜残余应力分配的理论模型计算方法,并将计算结果与干涉仪测量值进行了对比。利用所建立的模型分析了薄膜参数变化时基底残余应力的变化情况。结果表明:所建模型合理;随着镀膜温度的增加,基底总残余应力随镀膜温度升高而呈增大的趋势;本征应力变化不太大;随着基底厚度的减小,基底上下表面应力呈增大的趋势,而薄膜应力则呈减小趋势,但变化趋势很小。基底的中心轴约位于基底上表面以下2/3处。
- 张耀平许鸿凌宁张云洞
- 关键词:残余应力
- 变形反射镜红外光学薄膜研究
- 本文从目前变形反射镜红外光学薄膜存在残余应力较大与表面缺陷多的实际问题出发,对变形反射镜红外光学薄膜从残余应力、表面缺陷、优化设计、制备工艺、参数测试等方面进行了系统研究,重点对薄膜表面缺陷进行了研究。
在薄膜...
- 张耀平
- 关键词:残余应力
- 文献传递
- 变形镜在激光辐照下热畸变有限元研究
- 利用有限元软件数值模拟了固体激光器系统中由单晶硅(Silicon)、石英(Silica)与超低膨胀玻璃(ULE)等不同材料制作的变形反射镜受激光辐照下的热畸变特性。计算结果表明:当入射激光功率密度为0.225 kW/cm...
- 张耀平樊峻棋龙国云
- 关键词:自适应光学变形镜激光薄膜有限元
- 文献传递
- 高反射元件在连续激光辐照下反射率和吸收实时测量方法
- 本发明公开了高反射元件在连续激光辐照下反射率和吸收实时测量方法,采用热透镜测量技术监测高反射光学元件在激光辐照过程中吸收损耗的实时变化,采用光腔衰荡技术同时监测高反射光学元件在激光辐照过程中反射率的实时变化。本发明可同时...
- 崔浩樊峻棋张耀平
- 文献传递
- 一种高反光学元件的S、P偏振反射率及相位差高精度同时测量方法
- 本发明涉及一种高反光学元件的S、P偏振反射率及相位差高精度同时测量方法,其中:一束与S和P偏振方向成一定角度的线偏振激光入射到初始谐振腔,同时探测经过偏振分光镜出射的两束垂直线偏光衰荡信号,将两路衰荡信号的和拟合处理得到...
- 崔浩樊峻棋张耀平龙国云周虹
- 文献传递
- 变形反射镜薄膜应力与元件变形有限元研究被引量:5
- 2005年
- 残余应力是变形反射镜面临的一个重要问题。考虑薄膜中残余应力的起源,利用有限元软件建立了变形反射镜有限元模型。基于所建立的有限元模型,计算变形镜各部分受薄膜残余应力作用后的变形与应力分布。与试验测量结果进行对比,计算结果表明,建立的模型是合理的,薄膜产生的残余应力为张应力,氟化物薄膜产生的张应力大于ZnS薄膜产生的压应力,残余应力主要集中在变形反射镜镜面上,基本呈放射状分布,外圈驱动器受到应力较大。
- 张耀平许鸿凌宁张云洞
- 关键词:薄膜应力有限元分析自适应光学
- YbF_3沉积速率对红外激光薄膜表面缺陷的影响被引量:7
- 2005年
- 在介绍了薄膜缺陷的特点及成因的基础上,分析了YbF3沉积速率对红外激光薄膜表面缺陷密度的影响,得出了镀制激光薄膜所需的合适速率。结果表明:薄膜表面缺陷主要以节瘤缺陷与陷穴缺陷为主,其缺陷密度随YbF3沉积速率的减小基本表现为减小的趋势,当ZnS沉积速率约为0.2nm/s,YbF3沉积速率约为0.4nm/s时,可得到比较满意的激光薄膜,薄膜表面缺陷密度仅为0.000675。
- 张耀平许鸿凌宁张云洞
- 关键词:激光薄膜沉积速率缺陷密度损伤阈值
- 一种新型三层双波段减反射膜设计研究被引量:4
- 2006年
- 双波段增透膜在激光系统中得到越来越多的应用,目前薄膜设计方法仅能设计简单的V与W型增透薄膜,利用矢量方法提出了一种新型的三层双波段减反射膜设计方法,基于所提出的薄膜设计方法,设计一个实例,与实际镀制薄膜反射光谱进行了对比,结果表明:实际镀制结果与理论计算结果具有较好的吻合,在所要求的波长处反射率为0.25%与0.29%,基本达到了工作要求。
- 张耀平许鸿凌宁张云洞
- 关键词:光学薄膜