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张力
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
大连交通大学
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相关领域:
理学
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合作作者
张发荣
大连交通大学
薛钰芝
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张力
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年份
1篇
2005
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纳米多层膜的电性能及表面形貌
被引量:1
2005年
用热蒸发沉积和自然氧化法制备纳米量级的Al/Al2O3及Cr/Cr2O3薄膜和多层膜。本文采用三点法测定了常温、低温下的U-I特性,发现常温、低温下纳米量级的Al/Al2O3及Cr/Cr2O3薄膜具有类似负阻的特性。SEM检测表明,薄膜表面均匀,薄膜的厚度和称重法所得的厚度基本相符。AFM和STM观察表明薄膜表面存在着岛状结构,表面粗糙度在纳米尺度范围内。
张发荣
薛钰芝
张力
关键词:
热蒸发
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