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张力

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:大连交通大学更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电性能
  • 1篇多层膜
  • 1篇热蒸发
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米多层膜
  • 1篇表面形貌

机构

  • 1篇大连交通大学

作者

  • 1篇张力
  • 1篇薛钰芝
  • 1篇张发荣

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2005
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
纳米多层膜的电性能及表面形貌被引量:1
2005年
用热蒸发沉积和自然氧化法制备纳米量级的Al/Al2O3及Cr/Cr2O3薄膜和多层膜。本文采用三点法测定了常温、低温下的U-I特性,发现常温、低温下纳米量级的Al/Al2O3及Cr/Cr2O3薄膜具有类似负阻的特性。SEM检测表明,薄膜表面均匀,薄膜的厚度和称重法所得的厚度基本相符。AFM和STM观察表明薄膜表面存在着岛状结构,表面粗糙度在纳米尺度范围内。
张发荣薛钰芝张力
关键词:热蒸发
共1页<1>
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