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常超

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇钝化
  • 2篇钝化膜
  • 2篇探测器
  • 2篇紫外探测
  • 2篇紫外探测器
  • 2篇光刻
  • 2篇GAN基紫外...
  • 1篇单片
  • 1篇单片集成
  • 1篇等离子体
  • 1篇致密
  • 1篇致密度
  • 1篇双层膜
  • 1篇透镜
  • 1篇欧姆接触
  • 1篇欧姆接触电极
  • 1篇微透镜
  • 1篇线列
  • 1篇接触电极
  • 1篇刻蚀

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇常超
  • 3篇李向阳
  • 3篇卢怡丹
  • 3篇王立伟
  • 3篇刘秀娟
  • 2篇张燕
  • 1篇刘诗嘉
  • 1篇张可锋
  • 1篇王仍
  • 1篇乔辉
  • 1篇徐鹏霄
  • 1篇徐斌

年份

  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器及制备方法
本发明公开一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器及制备方法，所述的双层钝化膜为利用光刻技术保留在器件表面和台面侧面的上、下两层的双层Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>薄膜，其制备工艺为：在AlGa...
刘秀娟张燕李向阳王立伟卢怡丹常超
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一种单片集成式红外微透镜线列的制备方法
本发明公开了一种单片集成式红外微透镜线列的制备方法，该方法工艺上采用光刻套刻结合ICP干法刻蚀的手段，然后采用化学湿法腐蚀制备出曲率半径均匀的微透镜线列。本方法为优化单片集成红外微透镜列阵的聚光能力提供了依据，对于提高器...
徐鹏霄乔辉张可锋李向阳王仍刘诗嘉徐斌刘秀娟卢怡丹王立伟常超
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一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器
本实用新型公开一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器，器件结构为：在蓝宝石衬底上依次为AlN缓冲层、n型AlGaN层、i型AlGaN层、p型AlGaN层、下层Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>钝化...
刘秀娟张燕李向阳王立伟卢怡丹常超
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