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宋乐
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南京理工大学
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相关领域:
机械工程
电子电信
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合作作者
周舒
南京理工大学
陈磊
南京理工大学
郑权
南京理工大学
李金鹏
南京理工大学
韩志刚
南京理工大学
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宋乐
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陈磊
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周舒
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郑东晖
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韩志刚
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宋倩
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张瑜
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陈悦
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张瑞
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朱文华
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胡芬
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周斌斌
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万骏
年份
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2019
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2018
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2015
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基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置及微位移量测量方法
本发明提供一种基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置,包括宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒、干涉物镜、精密电控平台、短波截止滤光片、SMA905光纤接头、光纤、光谱仪、计算机和。光路结构沿光路行进方向依次是宽带光源...
陈磊
郑权
韩志刚
周斌斌
张瑞
宋乐
周舒
文献传递
基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法
本发明公开了一种基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法。步骤如下:采用延迟阵列作为动态干涉系统的移相器件,所述延迟阵列包含4个子波片且各子波片分别为λ/4片、λ/2片、3λ/4片、λ片,延迟阵列后方设置透振方向与水...
陈磊
李金鹏
郑东晖
周舒
宋乐
郑权
高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪
本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪,它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线...
陈磊
郑东晖
张瑜
朱文华
胡芬
李金鹏
韩志刚
万骏
宋乐
周舒
陈宇琪
谷晨风
郑权
基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置
本发明公开了一种基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置。装置包括白光干涉仪和两个双频激光回馈位移测量系统,并且两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪为连动结构,将两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪结合为一体式...
陈磊
李金鹏
陈悦
宋倩
宋乐
周舒
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基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法
本发明公开了一种基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法。步骤如下:采用延迟阵列作为动态干涉系统的移相器件,所述延迟阵列包含4个子波片且各子波片分别为λ/4片、λ/2片、3λ/4片、λ片,延迟阵列后方设置透振方向与水...
陈磊
李金鹏
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高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪
本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪,它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线...
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基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置
本发明公开了一种基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置。装置包括白光干涉仪和两个双频激光回馈位移测量系统,并且两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪为连动结构,将两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪结合为一体式...
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基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置及微位移量测量方法
本发明提供一种基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置,包括宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒、干涉物镜、精密电控平台、短波截止滤光片、SMA905光纤接头、光纤、光谱仪、计算机和。光路结构沿光路行进方向依次是宽带光源...
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基于光学干涉显微镜的超光滑表面轮廓测 量方法研究
基于短相干光移相测量的干涉显微镜技术具有检测精度高、测量速度快、非接触测量等优点,可以满足超光滑表面元件工业检测的要求,受到高度的重视。研制了Mirau型干涉光路结构的短相干光干涉显微镜,以此为基础对高精度移相算法进行研...
宋乐
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干涉显微镜
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