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姚东媛

作品数：7 被引量：10H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术农业科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文期刊文章

领域

  • 6篇自动化与计算...
  • 1篇农业科学

主题

  • 5篇蓝宝
  • 5篇蓝宝石
  • 5篇感器
  • 5篇硅
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 3篇压力传感器
  • 3篇力传感器
  • 2篇谐振
  • 1篇单片式
  • 1篇氧化铝
  • 1篇氧化铝陶瓷
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元仿真
  • 1篇伸缩力
  • 1篇石英
  • 1篇石英晶体
  • 1篇陶瓷
  • 1篇热力学
  • 1篇热力学研究

机构

  • 7篇中国电子科技...
  • 1篇空军驻黑龙江...

作者

  • 7篇姚东媛
  • 6篇谢胜秋
  • 3篇邹向光
  • 3篇王俊巍
  • 1篇高成臣
  • 1篇文彬
  • 1篇宋国庆
  • 1篇闻化
  • 1篇张丽新
  • 1篇谢树海
  • 1篇夏航

传媒

  • 4篇传感器与微系...
  • 1篇传感器技术
  • 1篇计量与测试技...
  • 1篇中小企业管理...

年份

  • 4篇2017
  • 1篇2010
  • 1篇2008
  • 1篇2004
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
低温压力传感器的研制
2017年
介绍了低温绝压传感器的研制过程,采用钛合金-硅-蓝宝石、陶瓷密封组件、低温电缆、插针连接等,通过材料选择和结构设计及优化,提高传感器整体耐低温的能力和绝压腔密封可靠性。研制出量程为(0~500)kPa、精度不大于0.2%FS、热漂移不大于0.03%FS/℃、工作温度范围为(-100~200)℃的低温压力传感器,可用于电离性、腐蚀性高低温介质压力的直接测量。
姚东媛谢胜秋王俊巍
关键词：传感器
有限元仿真在硅-蓝宝石高温压力传感器双膜片设计上的应用被引量：2
2010年
本文介绍了在硅-蓝宝石高温压力传感器设计中,运用E型膜片弹性变形原理和传感器压阻效原理,对双E型膜片进行设计,为满足研制实际需求,采用ANSYS M echan ical模块对双膜片力学模型仿真分析,绘出膜片径向应力切向应力的线性分布,合理构建膜片结构的相关参数,将压阻元件布局在应力分布的最佳区域上,研制的传感器满量程输出≥100mV,线性度提高为≤0.01%,传感器精度<0.1%。
谢胜秋姚东媛张丽新邹向光
关键词：ANSYS压力传感器
石英晶体谐振式绝对压力传感器研制被引量：2
2008年
介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制，采用石英晶体材料制做弹性膜片，用音叉式石英力敏谐振器检测压力，减少了传感器的体积，降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0-120kPa，中心频率为（40±4）kHz，精度为0．05％。
潘安宝闻化姚东媛高成臣谢树海
关键词：石英晶体谐振压力传感器
硅-蓝宝石绝压传感器陶瓷密封结构设计与分析被引量：1
2017年
介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了由陶瓷断裂导致的密封失效;选择热胀系数相近的可伐中间层材料,对比不同厚度缓冲层产生的残余应力,优化中间层结构,采用LTCC加工技术与真空钎焊工艺结合制作了陶瓷-可伐-钛合金密封组件,并通过了高、低温度试验考核:组件密封漏率小于1×10^(-10)Pa·m^3/s,密封可靠,满足绝压传感器使用寿命的要求。
姚东媛夏航王俊巍谢胜秋
关键词：氧化铝陶瓷
硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计被引量：3
2004年
介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用,通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡,达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的。
姚东媛文彬谢胜秋邹向光
宽温区工作压力传感器热力学研究被引量：3
2017年
介绍了硅—蓝宝石压力传感器的钛合金—蓝宝石复合弹性膜片在宽温区工作时温度变化材料不匹配引起的结构热应力,对弹性膜片的受热情况进行了分析,对不同结构形式传感器热稳定性影响程度进行了对比,利用P型掺杂硅温度特性减少结构热应力影响、降低传感器的热零点漂移。通过膜片结构选择和设计、材料选择、工艺优化和控制等可以使硅—蓝宝石压力传感器在-55~350℃宽温度范围内工作时热漂移不大于0.015%FS/℃,提高了宽温区工作时传感器的热稳定性。
姚东媛谢胜秋王俊巍吴佐飞
关键词：压力传感器热特性
单片式压电谐振型石英压力-温度传感器设计
2017年
提出了一种采用石英力敏谐振器(QFSR)—石英热敏谐振器(QTSR)的单片式压电谐振型石英压力—温度传感器(QPTS),设计了单片式QPTS结构、石英压力传感器的无应力封接方案以及新型压力—伸缩力变换器。单片式QPTS由QFSR和QTSR构成,均采用AT切型,厚度切变模式工作,不同的是QTSR的长边取向与石英X轴的夹角为60°。无应力封接方案使用石英、单晶硅、非晶态SiC、硼硅酸盐玻璃和柯伐合金的组合,并且利用石英化学刻蚀和物理修饰技术以及半导体的新工艺使QFSR和QTSR改性。其中,非晶态SiC层的制作是为了实现应力的缓冲:虽然硅和石英材料的热膨胀系数不匹配,可是二者之间的非晶态SiC层却能够良好地吸收其热应力,成为无应力结构。
宋国庆姚东媛邹向光谢胜秋
关键词：单片式
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