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吴剑威

作品数：121 被引量：61H指数：4
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 105篇专利
  • 12篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 16篇自动化与计算...
  • 14篇文化科学
  • 9篇机械工程
  • 7篇电子电信
  • 6篇金属学及工艺
  • 3篇交通运输工程
  • 3篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇建筑科学

主题

  • 31篇光刻
  • 31篇光刻机
  • 21篇气浮
  • 16篇工件台
  • 15篇仪器
  • 15篇精密仪器
  • 14篇电机
  • 11篇微动台
  • 10篇线圈
  • 9篇导轨
  • 9篇解耦
  • 9篇反馈控制
  • 8篇永磁
  • 8篇光阑
  • 8篇磁悬浮
  • 7篇平面电机
  • 7篇轴承
  • 7篇隔振
  • 7篇磁浮
  • 6篇大行程

机构

  • 120篇哈尔滨工业大...
  • 1篇黑龙江工程学...
  • 1篇中国计量科学...
  • 1篇工业和信息化...

作者

  • 120篇吴剑威
  • 82篇谭久彬
  • 57篇赵鹏越
  • 29篇王继尧
  • 26篇张银
  • 20篇郑健
  • 19篇崔继文
  • 14篇赵博
  • 13篇刘江
  • 12篇王辉
  • 8篇史士财
  • 7篇刘宏
  • 6篇刘永猛
  • 6篇崔俊宁
  • 5篇刘欢
  • 5篇袁勇
  • 3篇黄景志
  • 2篇胡鹏程
  • 2篇刘俭
  • 2篇司圣洁

传媒

  • 2篇哈尔滨工业大...
  • 2篇机器人
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇轴承
  • 1篇华中科技大学...
  • 1篇机械与电子
  • 1篇高技术通讯
  • 1篇计算机仿真

年份

  • 8篇2023
  • 44篇2022
  • 8篇2021
  • 19篇2019
  • 9篇2018
  • 13篇2016
  • 7篇2015
  • 4篇2014
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 3篇2009
  • 1篇2006
共 121 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种柔性二维导向机构
一种柔性二维导向机构，包含二维线性运动平台，还包含外壳、驱动杆、输入端二维同位柔性铰链、直线解耦补偿结构和输出端二维同位柔性铰链；所述二维线性运动平台的固定部安装在所述外壳上，所述输入端二维同位柔性铰链下端安装在二维线性...
赵鹏越晏祯卓吴剑威赵博潘健生
一种基于并列动磁钢的直线运动装置
本发明公开一种基于并列动磁钢的直线运动装置；该装置将磁钢并行排列并置于双层线圈中间，通过对线圈中电流来驱动运动滑块部件的直线运动，这种“三明治”型的并列动磁钢结构能够在提供足够的电机出力的同时，不会产生额外的偏转力矩，但...
吴剑威温众普陈天风崔继文谭久彬
文献传递
涡流补偿的双排永磁体向心励磁矩形开放磁场式低频振动校准台
涡流补偿的双排永磁体向心励磁矩形开放磁场式低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放磁场式磁路结构，双排永磁体对称安装在长磁轭内侧表面，且同磁极相向布置，通过磁轭构成对称的闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的强磁场...
谭久彬吴剑威崔俊宁
文献传递
长永磁管向心励磁的圆柱形封闭磁场式低频振动校准台
长永磁管向心励磁的圆柱形封闭磁场式低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，永磁管以粘接方式同轴装配在长圆筒形外磁轭内部进行励磁，永磁管内表面磁极的极性相同，通过磁轭构成闭合磁路，在气隙中产生...
谭久彬吴剑威崔俊宁
文献传递
一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法
本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组...
赵鹏越王继尧吴剑威刘江李昌其王辉谭久彬
文献传递
一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置
一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中无法测量复眼单元在运动时的俯仰角和翻滚角误差，无法评估复眼单元工作时的运动精度与运动稳定性的问题，本发明提供的一种基...
吴剑威晏祯卓赵鹏越王继尧李一帆
一种高加速往复运动恒重力补偿装置
本发明公开一种高加速往复运动恒重力补偿装置；该装置的直线运动部件可沿垂向运动配装在导轨上，低摩擦气缸的活塞杆通过解耦单元与直线运动部件连接；该装置可为直线运动部件高加速往复运动提供恒定的重力补偿，具有运动顺畅、结构紧凑、...
吴剑威张银彬德尔温众普谭久彬
文献传递
自由飘浮空间机器人笛卡尔避奇异运动规划被引量：7
2009年
为了解决自由飘浮空间机器人笛卡尔运动规划过程中由动力学奇异而导致的关节速度无限大或无法计算的问题,提出了一种基于奇异值分解的高精度避奇异运动规划算法.在传统阻尼最小方差的基础上,利用奇异值分解将阻尼系数从固定量转化为随广义雅可比矩阵动态自适应变化的变量,算法保证了空间机器人通过奇异点时各关节的角速度变化曲线连续且平稳.算例验证了算法的有效性,结果表明该算法在非奇异位置不会引入跟踪误差,相比传统阻尼最小二乘法累计跟踪误差大约降低15%.
吴剑威史士财刘宏
关键词：自由飘浮空间机器人动力学奇异奇异值分解
一种长行程准零刚度柔性导向机构
本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电...
吴剑威张银李一帆赵鹏越晏祯卓
基于双层气浮的悬臂式直线运动基准装置
本发明公开一种基于双层气浮的悬臂式直线运动基准装置；该装置通过双层的力封闭式气浮结构，实现了二维的气浮支承与导向，并提高了单位气浮工作面上的转动刚度，最终通过结合精密驱动与反馈控制，达到高速、高加速、高频运动的目的。本发...
吴剑威温众普张银谭久彬
文献传递
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