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古桥秀夫

作品数：6 被引量：5H指数：1
供职机构：爱知工业大学更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程

主题

  • 3篇电路
  • 3篇集成电路
  • 1篇定位控制
  • 1篇定位装置
  • 1篇控制研究
  • 1篇激光
  • 1篇激光束
  • 1篇光束
  • 1篇复合控制
  • 1篇超大规模集成
  • 1篇超大规模集成...
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 6篇爱知工业大学
  • 6篇扬州大学

作者

  • 6篇古桥秀夫
  • 6篇内田悦行
  • 4篇周礼中
  • 2篇谢勇

传媒

  • 1篇传感器技术
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇工业仪表与自...
  • 1篇机械与电子
  • 1篇微计算机信息
  • 1篇扬州大学学报...

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2003
  • 1篇2002
  • 1篇2001
  • 1篇2000
  • 1篇1999
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
基于反射式激光莫尔信号的精密定位控制
2002年
介绍了反射式激光莫尔信号特性和差动式精密定位方法 ,用实验验证了反射式激光莫尔信号特性的实验测定结果与理论计算结果的一致性。
周礼中古桥秀夫内田悦行
基于激光莫尔信号精密定位装置的精度提高被引量：1
2001年
为提高基于激光莫尔信号精密装置的定位精度 ,本文探讨了激光束束径与激光莫尔信号的依存关系 ,给出了与光栅衍射缝隙条数相对应的最小激光束束径的大小。
周礼中古桥秀夫内田悦行
关键词：超大规模集成电路定位装置
利用激光莫尔信号精密定位的复合控制研究被引量：1
1999年
在分析利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法的基础上，提出了精密定位的粗控、微控两段复合式控制方法，实现了装置宽范围控制的精密定位高精度及精密定位时间的缩短． 对加快集成电路制造技术的进步有重要的参考价值．
周礼中古桥秀夫内田悦行
关键词：复合控制集成电路
莫尔信号传感器光栅倾斜角度对精密定位准确度的影响被引量：2
2000年
介绍利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法，给出激光莫尔信号传感器光栅设定角度误差时的莫尔信号位移特性，以此说明了光栅设定的角度倾斜如何影响精密定位装置的定位准确度。
周礼中古桥秀夫内田悦行
精密定位装置光栅倾斜时的定位精度
2004年
介绍了激光莫尔信号精密定位装置中光栅倾斜时莫尔信号的位移特性,给出了光栅倾斜时差动式和修正式精密定位方法、定位精度的计算机仿真计算结果,说明了装置中光栅设定的角度倾斜如何影响精密定位装置的定位精度。
周礼中谢勇古桥秀夫内田悦行
基于激光莫尔信号精密定位装置的高速高精度定位控制被引量：1
2003年
介绍了激光干涉莫尔信号差动式精密定位方法,提出了精密定位装置的粗控和微控两段式控制方式,扩大了装置的定位控制范围,又有效地缩短精密定位时间,实现装置宽控制范围的高速高精度控制。
周礼中谢勇古桥秀夫内田悦行
关键词：集成电路定位控制
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