刘凤琼
- 作品数:15 被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院近代物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学文化科学一般工业技术核科学技术更多>>
- 一种能应用多种方法制备类金刚石薄膜的装置
- 本实用新型公开了一种能应用多种方法制备类金刚石薄膜的装置,包括真空腔室、磁控溅射源、电弧离子源和多弧离子源,其中,磁控溅射源、电弧离子源和多弧离子源设置于真空腔室上。本实用新型公开的能应用多种方法制备类金刚石薄膜的装置,...
- 刘凤琼卢子伟张宏斌李占奎李海霞陈若富李荣华王秀华
- 文献传递
- 一种大面积<Sup>13</Sup>C同位素靶的制备方法
- 本发明公开了一种大面积<Sup>13</Sup>C同位素靶的制备方法。采用热压法将<Sup>13</Sup>C同位素粉末热压到背靶材上,得到用于磁控溅射的<Sup>13</Sup>C同位素块状靶材;将热压成型的<Sup>...
- 卢子伟刘凤琼朱亚滨张宏斌李海霞李荣华王秀华陈翠红李占奎
- 医用重离子加速器U型碳剥离膜的研制
- 2019年
- 碳剥离膜作为剥离器的核心组成部件是医用重离子加速器的重要装置之一,研制出满足医用重离子加速器要求的碳剥离膜至关重要。采用交流弧光放电法完成了医用重离子加速器中碳剥离膜的研制,并用扫描电子显微镜和拉曼表征手段测试分析了碳剥离膜的薄膜特性。为了不影响已注入环中离子的正常运行,靶框设计为U型,靶边框较窄仅为2 mm,碳剥离膜的有效面积为1 600 mm(2 40 mm×40 mm)。碳剥离膜的厚度为15μg·cm^?2,理论计算结果表明该碳剥离膜的厚度均匀性为97.65%。碳剥离膜具有一定的机械韧性,可以完成碳剥离膜的自动换膜过程,且在自动换膜过程中无破裂损伤。扫描电子显微镜观测结果显示:碳剥离膜的表面平整,内部结构致密。拉曼测试结果表明:位于1 580 cm^?1附近的G峰明显强于位于1 300 cm^?1附近的D峰,说明薄膜的石墨化程度较高;2 700 cm^?1左右的2D峰较弱,说明石墨分子层数较多。
- 刘凤琼卢子伟张宏斌戎欣娟李荣华李海霞李占奎王秀华
- 关键词:扫描电子显微镜拉曼
- 一种大面积<Sup>13</Sup>C同位素靶的制备方法
- 本发明公开了一种大面积<Sup>13</Sup>C同位素靶的制备方法。采用热压法将<Sup>13</Sup>C同位素粉末热压到背靶材上,得到用于磁控溅射的<Sup>13</Sup>C同位素块状靶材;将热压成型的<Sup>...
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- 新型p^(+)深层扩散结构p-in-n硅微条核辐射探测器被引量:1
- 2021年
- 设计了一种新型的p+深层扩散结构p-in-n硅微条核辐射探测器,介绍了该探测器的结构、工艺及性能测试结果.探测器为灵敏面积10 mm×10 mm的单面60条探测器,p+注入条宽64μm,栅宽96μm,p+注入条中心下方的p+深层扩散区宽10μm.测试内容包括该探测器的电学特性(反向漏电流、耗尽电压、条间电容、条间电阻)和探测特性(能量分辨、条间串扰).该探测器在45 V全耗尽偏压下,各条的反向漏电流均小于1.3 nA.探测器对241Amα粒子的能量分辨率约为2.6%,相邻条之间的串扰率约为4%.
- 王秀华李海霞李占奎李春艳陈翠红鲁辰桂李荣华祖凯玲王柱生刘凤琼
- 关键词:硅微条探测器P
- 一种无靶框自支撑碳剥离膜及其制备方法
- 本发明公开了一种制备无靶框自支撑碳剥离膜的方法。该方法包括下述步骤:1)取玻璃片并旋涂甜菜碱溶液;2)置于碳弧法制备碳剥离膜设备的真空室中,抽真空至真空度小于1.5*10<Sup>‑</Sup><Sup>3</Sup>P...
- 卢子伟刘凤琼张宏斌李海霞陈翠红李荣华王秀华李占奎
- 一种医用治癌加速器碳剥离膜存储和携带盒
- 本发明涉及一种医用治癌加速器碳剥离膜存储和携带盒,包括外密封盒、内减震盒和减震层,内减震盒设置在外密封盒的内部,其顶部盖设连接有顶板,内部设置有隔板,并通过隔板分隔出至少两个放置腔;放置腔的底部设置有缓冲层;减震层设置在...
- 卢子伟刘凤琼张宏斌李海霞李占奎李荣华王秀华陈翠红
- 大面积硅微条探测器的研制
- 硅微条探测器因其很强的位置分辨率与能量分辨率而广泛应用于世界各大物理实验室。本文描述了用微电子工艺研制的硅微条探测器的结构、工作原理、制备工艺和测试结果。我们已经研制出96条,条条符合实验要求的大面积单面硅微条探测器,该...
- 李荣华李占奎李海霞刘凤琼陈翠红王秀华戎欣娟王柱生李春艳祖凯玲卢子伟
- 关键词:硅微条探测器能量分辨率
- 文献传递
- 大面积硅微条探测器的研制
- 硅微条探测器因其很强的位置分辨率与能量分辨率而广泛应用于世界各大物理实验室。本文描述了用微电子工艺研制的硅微条探测器的结构、工作原理、制备工艺和测试结果。我们已经研制出96条,条条符合实验要求的大面积单面硅微条探测器,该...
- 李荣华李占奎李海霞刘凤琼陈翠红王秀华戎欣娟王柱生李春艳祖凯玲卢子伟
- 关键词:硅微条探测器能量分辨率
- 一种无靶框自支撑碳剥离膜及其制备方法
- 本发明公开了一种制备无靶框自支撑碳剥离膜的方法。该方法包括下述步骤:1)取玻璃片并旋涂甜菜碱溶液;2)置于碳弧法制备碳剥离膜设备的真空室中,抽真空至真空度小于1.5*10<Sup>‑</Sup><Sup>3</Sup>P...
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