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傅旭

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中航工业北京航空制造工程研究所更多>>
相关领域：水利工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇水利工程

主题

  • 5篇化学气相
  • 3篇气相沉积
  • 3篇化学气相沉积
  • 2篇一体化
  • 2篇在线检测
  • 2篇在线检测系统
  • 2篇质量流量计
  • 2篇浓度场
  • 2篇气体浓度
  • 2篇气体质量流量...
  • 2篇稳流
  • 2篇流量计
  • 2篇均化
  • 2篇分布板
  • 1篇乙炔
  • 1篇软测量
  • 1篇软测量技术
  • 1篇碳纳米管
  • 1篇子系统
  • 1篇纳米

机构

  • 5篇中航工业北京...

作者

  • 5篇傅旭
  • 5篇马江宁
  • 5篇崔向中
  • 2篇马国佳
  • 2篇雷新更
  • 2篇孙梅
  • 2篇姜春竹
  • 2篇巩水利
  • 2篇孙刚
  • 2篇周国栋

年份

  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
化学气相沉积反应的装置
本发明公开了一种化学气相沉积反应的装置，包括：上端盖，其上开设有进料口和出气口；反应管，其内设有微孔分布板，微孔分布板上开设有多个穿孔，反应管通过微孔分布板分为上部流化床反应室及下部固定床均化室，反应管的固定床均化室的外...
崔向中傅旭马江宁马国佳巩水利孙梅孙刚
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化学气相沉积反应的装置
本发明公开了一种化学气相沉积反应的装置，包括：上端盖，其上开设有进料口和出气口；反应管，其内设有微孔分布板，微孔分布板上开设有多个穿孔，反应管通过微孔分布板分为上部流化床反应室及下部固定床均化室，反应管的固定床均化室的外...
崔向中傅旭马江宁马国佳巩水利孙梅孙刚
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基于软测量技术的乙炔化学气相沉积碳纳米管沉积速率的在线检测
本文以乙炔化学气相沉积碳纳米管反应过程为应用背景，利用软测量技术，根据反应机理建立数学模型，采用常规仪表成功实现了碳纳米管产量和沉积速率的在线连续检测。测试结果表明，该软测量模型可以准确的预估碳纳米管的实时生长速率，整个...
马江宁崔向中傅旭
关键词：软测量化学气相沉积碳纳米管
一种用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统
本发明提供一种用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统，包括：化学反应子系统；进气子系统，包括气体质量流量计，与所述化学反应子系统相连接；抽真空子系统，与所述的化学反应子系统相连接；气体采集子系统，与所述的化学反应子系统...
马江宁崔向中雷新更傅旭姜春竹周国栋
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一种用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统
本发明提供一种用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统，包括：化学反应子系统；进气子系统，包括气体质量流量计，与所述化学反应子系统相连接；抽真空子系统，与所述的化学反应子系统相连接；气体采集子系统，与所述的化学反应子系统...
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