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华南理工大学电子与信息学院微电子研究所

作品数：13 被引量：12H指数：2
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相关机构

领域

  • 1个电子电信

主题

  • 1个电子器件
  • 1个应力
  • 1个有限元
  • 1个有限元分析
  • 1个通孔
  • 1个铜互连
  • 1个铜互连线
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  • 1个微电子
  • 1个微电子器件
  • 1个可靠性
  • 1个可靠性研究
  • 1个互连
  • 1个互连线
  • 1个化学机械抛光
  • 1个机械抛光
  • 1个工艺波动
  • 1个CU
  • 1个CU互连
  • 1个IC

机构

  • 1个华南理工大学

资助

  • 1个电子元器件可...

传媒

  • 1个华南理工大学...
  • 1个微电子学

地区

  • 1个广东省
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侯通贤
作品数：7被引量：3H指数：1
供职机构：华南理工大学电子与信息学院微电子研究所
研究主题：铜互连 热应力 有限元分析 CU互连 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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