中国电子科技集团公司第四十五研究所
- 作品数：788 被引量：1,554H指数：17
- 相关作者：童志义连军莉柳滨种宝春王学军更多>>
- 相关机构：北京中电科电子装备有限公司桂林电子科技大学北京信息科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 全自动探针台硅片传输系统的预对准算法研究被引量：2
- 2016年
- 提出了一种硅片传输系统的预对准算法,根据线阵CCD采集的边缘电压数据并结合机械手的固有特性,计算出圆心坐标和切边位置,实现硅片的预对准。经过实验验证,该算法有效提高了预对准的可靠性和稳定性。
- 胡晓霞黄睿艾博
- 关键词：传输系统
- 激光干涉仪在XY工作台测量中的应用被引量：2
- 2020年
- 激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术。其具有分辨率高、测量速度快、溯源好的特点。利用激光干涉位移测量技术,可以实现工作台的高精度测量。首先介绍了目前主要的激光干涉位移测量技术,并对干涉仪的特点进行了分析,最后介绍了激光干涉位移测量在XY工作台定位精度、垂直度测量的应用。
- 金黎雷
- 关键词：纳米级激光干涉
- 激光冷分离工艺技术基础研究被引量：1
- 2022年
- 从SiC晶棒切割工艺需求与技术特点出发,对比分析了激光冷分离技术的应用优势,详细介绍了激光冷分离技术研制过程中的关键技术和难点技术,最后对该技术未来发展趋势进行了展望。
- 李斌高小虎邢旻
- 关键词：激光晶圆
- 基于NX与MATLAB的运动台刚柔耦合模型的建模与仿真
- 2023年
- 为了进一步加强控制策略与机械结构的结合,达到提升控制水平,优化机械设计的目的,建立4自由度运动台的NX Simcenter Motion刚柔耦合模型,添加驱动力与传感器,将变量输出至MATLAB,在MATLAB中的Simulink模块中搭建计算仿真运动控制模型,计算后得到位移及误差数据。分别计算刚体模型、刚柔耦合模型的结果并分析。通过仿真计算及结果对比,可以得出结论:刚柔耦合模型与刚体模型相比,更接近轨迹规划;与实际结构相比,可以在设计初期没有实体结构的情况下进行测试。
- 杨凌光刘帅张金郭威陶金雨
- 关键词：建模仿真刚柔耦合矩阵实验室
- 基于Modbus通讯协议的PLC运动控制研究
- 2024年
- 在基于Modbus通讯协议的PLC运动控制系统中,PLC作为主站,通过Modbus协议与从站设备(如变频器、电机控制器等)进行通讯。探讨了如何在上位机工控软件中通过Modbus通讯协议与PLC运动控制器及PLC输入输出模块进行数据交换以及逻辑程控。
- 左宁胡奇威袁丽娟
- 关键词：MODBUS通讯协议电机控制器
- 超声键合换能系统支承状态下导纳特性测量
- 2007年
- 分析了无负载情况下肋环夹持装置和劈刀两个主要因素对超声键合换能系统电学导纳特性的影响情况。分析了压电换能器的等效电路,通过压电换能器的导纳圆图,确定换能器各参数的变化情况。
- 广明安韩雷
- 关键词：等效电路导纳
- 温度测量法在水压层压机维修中的应用被引量：1
- 2020年
- 水压层压机压力系统故障为易发故障,由于系统压力高,压力管道系统多采用硬管连接,发生故障后拆解检查具有一定困难,有时还会造成部分连接件的损坏,为了达到简化操作,无损判断故障点的目的,提出了温度测量法,通过对不同位置管道壁温度的测量来判断水压层压机压力系统故障点,能够在不拆解或少拆解的情况下,对压力系统复杂故障进行快速无损定位。能在半导体设备维修行业中的水压层压机的维修中起到一定的指导作用,提高维修效率,减少误操作和拆解检查对设备造成的损伤,提高维修中维修人员的人身和设备本身的安全系数。
- 张文朋吴海赵英伟金黎雷
- 关键词：设备维修
- 干式抛光在减薄加工中的工艺研究
- 2024年
- 介绍了干式抛光的工艺过程和原理,主要研究了干式抛光工艺过程中抛光压力、抛光位置、抛光时间对晶片表面粗糙度的影响。提出减小晶片表面粗糙度的工艺措施,为减少后续抛光工序的抛光时间提供指导。
- 孙莉莉衣忠波王刚
- 关键词：粗糙度
- 电机齿轮耦合技术在多线切割机排线上的技术研究
- 2017年
- 介绍了电子齿轮耦合技术在摆动式单线切割机上的理论研究,详细分析了摆动式金刚石单线切割机的排线工作过程,最后完成了该技术在设备上的实际应用,以及向相似设备技术输出的共性技术研究。
- 丁彭刚陈煜吴学宾
- 碲锌镉晶片表面精密抛光系统研究
- 2022年
- 介绍了表面抛光的工艺过程和技术原理,对影响抛光质量的关键部件抛光盘主轴和承载器进行分析研究。通过抛光压力精密控制,抛光结果满足晶片表面平坦化要求。
- 赵祥张文斌张世民高岳
- 关键词：碲锌镉表面抛光承载器
