东南大学机械工程学院先进制造技术实验室
- 作品数：3 被引量：4H指数：2
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- Metropolis蒙特卡罗模拟湿法腐蚀算法研究及应用被引量：3
- 2008年
- 探讨了Metropolis蒙特卡罗方法模拟硅微加工各向异性湿法腐蚀仿真算法.在台阶流动(step flow)模型上引入了腐蚀概率方程,确定了蒙特卡罗转移概率.通过对不同相位晶面(vicinal surface)在掩模下的腐蚀模拟对提出的方法进行了校验分析,解释了蒙特卡罗法处理复杂晶面的原理和过程.模拟测试中,仿真程序能正确地再现不同晶向腐蚀速率特性以及凸角腐蚀的结构形态,经过与目前报道的元胞自动机以及其他种类蒙特卡罗法比较分析,模型具有较高的仿真效率和结果精度.最后,该系统模拟一个实际的微加速度传感器设计中的凸角补偿问题,在震动岛块的掩模补偿设计中验证了模型的正确性.
- 朱鹏幸研易红汤文成
- 关键词：单晶硅各向异性湿法腐蚀
- 蒙特卡罗法单晶硅的腐蚀工艺表面微观形态仿真研究
- 2008年
- 讨论了基于蒙特卡罗法模拟各向异性腐蚀加工的微观表面形态的仿真方法.应用台阶流动模型,分析了(h,k,l)晶面中(h+2,h,h),(h,1,1),(h+2,h+2,h)以及(h,h,1)晶面族上反应活跃的台阶部位原子的排列特征,结合微掩模的作用和定义方法,提出了通过限制各晶面族台阶部位广泛存在的一级、二级邻居数为(3,7)原子移除概率的方法来模拟快速反应区域的吸附抑制现象.把上述内容应用于RPF函数对(100)面的凸起结构,(110)面的带状条纹以及(111)面的三角形凹陷微观结构进行了仿真计算,解释了腐蚀中微观形貌的特征和成因.算法在3种基础晶面和高指数(322)晶面的计算结果能够很好地符合实验中观察到的表面形态微观特征,验证了方法的有效性.
- 幸研朱鹏易红汤文成
- 关键词：蒙特卡罗单晶硅湿法腐蚀表面形态
- 基于原子模型的各向异性腐蚀模拟方法对比分析被引量：2
- 2007年
- 分析了蒙特卡罗方法和元胞自动机法在微加工中各项异性腐蚀的特点和过程,开发了仿真系统,分别使用两种方法模拟使用掩模下的硅微加工过程.通过使用掩模获得的两个微结构的仿真结果,对元胞自动机和蒙特卡罗法的基本结果和特性进行了讨论和分析.两种方法在一定程度上都能正确地反映了实验的结果,元胞自动机在系统结构初步设计中能发挥更大的作用,而蒙特卡罗法能获得细致的表面结构,粗糙度等数据,在小尺度分析上具有更强的模拟能力.
- 朱鹏幸研易红
- 关键词：蒙特卡罗元胞自动机单晶硅湿法腐蚀
