西安工业学院光电与工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
- 作品数：12 被引量：74H指数：6
- 相关作者：李建超郭芮更多>>
- 相关机构：吉林大学生物与农业工程学院南京理工大学电子工程与光电技术学院更多>>
- 发文基金：陕西省教育厅规划基金中国人民解放军总装备部预研基金国家留学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术建筑科学更多>>
- 干涉图空域延拓技术研究被引量：6
- 2005年
- 现代干涉测试的核心是用合理的算法处理干涉图而获得所需的面形及参数。用二维FFT方法处理干涉图时,由于FFT算法只能处理数字化的离散数据,且要求数据分布区域必须是矩形区域,因此必须设法将圆形区域干涉图扩展延拓成矩形区域。在研究二维FFT法进行干涉测试基本原理的基础上,提出了一种干涉图空域迭代延拓的原理和方法,利用该方法对一幅实际干涉图进行空域延拓,取得了满意的延拓效果。结果表明,该方法具有较高的处理精度,为波面相位复原奠定了基础。
- 苏俊宏陈磊朱日宏
- 关键词：二维FFT干涉图
- 类金刚石薄膜光学常数的测量方法被引量：11
- 2005年
- 采用椭偏法测量类金刚石(DLC)薄膜的光学常数,分析了DLC薄膜折射率分布情况,提出了DLC薄膜折射率呈渐变分布的概念,建立了采用椭偏法进行DLC薄膜光学常数测量的多层物理模型,分析讨论了实验方法的可行性和测量结果的可靠性.实验结果表明:采用该模型进行DLC薄膜光学常数的测量,使拟合误差(MSE)从31.71下降到1.125,提高了测量精度.
- 杭凌侠徐均琪李建超
- 关键词：类金刚石薄膜折射率
- 一种基于光电极值法的光学膜厚监控系统的改进设计被引量：8
- 2002年
- 介绍目前通用的基于光电极值法的光学膜厚监控系统的特点 ,针对其缺点进行改进设计 ,新系统的稳定性有较大提高 ,可满足镀制多层介质薄膜器件的要求。
- 权贵秦韩军弥谦
- 关键词：系统设计光学薄膜
- 非平衡磁控溅射DLC薄膜应力研究被引量：3
- 2005年
- 类金刚石(DLC) 薄膜可用作红外增透保护膜,高的薄膜残余应力造成薄膜附着力下降是目前应用中存在的主要问题之一.本文从DLC薄膜作为红外增透保护膜的需求出发,采用非平衡磁控溅射技术生长DLC薄膜.实测了薄膜的残余应力,分析研究了薄膜残余应力在不同工艺条件下的变化情况.探讨了薄膜残余应力与薄膜厚度、光学透过率、离子能量、沉积速率以及能流密度之间的关系.研究结果表明,薄膜残余应力平衡值在0.9～2.2GPa之间,相应的单面镀膜样片的透过率在4μm波长处为69% ～ 63%,随工艺的不同而变化.工艺优化后薄膜残余应力显著下降.硅基底上薄膜与基底剥离的力的临界值大于2160GPa·nm,最大薄膜厚度≥ 2400nm;锗基底上最大薄膜厚度≥ 2000nm,可以满足整个红外波段的需求.
- 杭凌侠Y.YIN 徐均琪李建超
- 关键词：应力类金刚石薄膜非平衡磁控溅射
- 薄膜光学常数的模拟退火算法研究被引量：8
- 2005年
- 在薄膜的光学参数拟合时,操作者给定的模型初值对拟合结果有很大的关系。采用广泛用于求解复杂系统优化问题的模拟退火算法来求解薄膜光学常数,降低了操作者给定拟合模型初值的要求。通过对常规的模拟退火算法以及非常快速的模拟退火方法(Very Fast Stimulated Annealing,VFSA)分析,针对性地在模型扰动及退火计划上存在的缺陷作了改进,提高了 VFSA 算法的计算稳健性。通过大量的拟合实践,验证了提出的改进模拟退火方法的有效性。
- 李建超苏俊宏
- 关键词：类金刚石薄膜光学常数模拟退火算法
- 用激光干涉法测量长度的智能化处理技术研究被引量：3
- 2002年
- 介绍利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用 FFT分析干涉条纹方法 ,分析并解决测量端面长度标准中条纹图的处理技术。应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度 ,而且大大地提高了测量精度。
- 苏俊宏
- 双波长激光干涉移相式测量长度技术研究被引量：3
- 2003年
- 研究了应用移相干涉术测量新的一等量块的方法。对干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到表征其表面的离散波差值,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果。
- 苏俊宏
- 关键词：移相干涉术
- 增强型脉冲离子源镀制DLC薄膜拉曼光谱研究被引量：3
- 2006年
- 本文利用增强型脉冲电弧离子源在硅基底上沉积类金刚石薄膜,拉曼光谱分析表明DLC薄膜中sp3键含量比不加磁过滤装置时脉冲离子源所镀的类金刚石薄膜高,折射率更接近金刚石折射率2.4并且光学带隙也增大,证明用增强型脉冲离子源镀制的类金刚石薄膜sp3键含量提高,性能得到了很大改善。
- 陈朝平朱昌郭芮
- 关键词：类金刚石薄膜拉曼光谱光学带隙
- 移相干涉术用于测量长度方法研究
- 2003年
- 研究了应用移相干涉术测量新的1等量块的方法.对于干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到一组表征它们表面的离散波差值,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果.
- 苏俊宏
- 关键词：移相干涉术测量方法干涉图像工作面长度
- 类金刚石薄膜光学常数拟合模型的合理性研究被引量：5
- 2004年
- 由于椭偏光谱测量结果不能直接反映所测量样品材料的结构和光学性质,所以需要利用最小二乘法来拟合分析椭偏光谱数据得到光学常数。而椭偏光谱分析依赖于构建的模型,且可能存在多模型解,因此考虑模型的合理性就显得十分必要。本文采用椭偏法测量了类金刚石薄膜(DLC)的光学常数,分析并拟合了脉冲真空电弧离子技术镀制的类金刚石薄膜的椭偏光谱,获得了光学常数,并对拟合模型的合理性和测量结果的可靠性进行了分析。
- 李建超苏俊宏徐均琪
- 关键词：类金刚石薄膜光学常数椭偏光谱可靠性
