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西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室

作品数:103 被引量:323H指数:9
相关作者:陈霞李雪菁黄国俊邹逢张霄更多>>
相关机构:第四军医大学口腔医学系西北工业大学材料学院西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室更多>>
发文基金:陕西省教育厅科研计划项目国家自然科学基金西安工业大学校长基金更多>>
相关领域:理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 93篇期刊文章
  • 10篇会议论文

领域

  • 46篇理学
  • 21篇电子电信
  • 16篇机械工程
  • 13篇一般工业技术
  • 10篇金属学及工艺
  • 8篇自动化与计算...
  • 4篇医药卫生
  • 1篇化学工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇核科学技术
  • 1篇文化科学
  • 1篇兵器科学与技...

主题

  • 24篇光学
  • 14篇磁控
  • 14篇磁控溅射
  • 11篇粗糙度
  • 10篇面粗糙度
  • 10篇激光
  • 10篇表面粗糙度
  • 8篇离子能量
  • 8篇溅射
  • 7篇抛光
  • 7篇类金刚石
  • 7篇光学常数
  • 7篇非平衡磁控溅...
  • 6篇氮化
  • 6篇离子束
  • 6篇金刚石薄膜
  • 6篇类金刚石薄膜
  • 6篇沉积速率
  • 6篇磁流变
  • 6篇磁流变抛光

机构

  • 103篇西安工业大学
  • 4篇第四军医大学
  • 4篇西北工业大学
  • 3篇西安电子科技...
  • 2篇西安理工大学
  • 2篇西安交通大学
  • 2篇山西师范大学
  • 2篇中国科学院微...
  • 2篇西安北方秦川...
  • 1篇北京理工大学
  • 1篇重庆工商大学
  • 1篇北京理工大学...
  • 1篇中国兵器工业...
  • 1篇中国重型机械...
  • 1篇西安现代控制...
  • 1篇第四军医大学...
  • 1篇空军杭州航空...
  • 1篇微光夜视技术...
  • 1篇中国联通
  • 1篇中国兵器工业...

作者

  • 31篇杭凌侠
  • 17篇弥谦
  • 15篇刘卫国
  • 14篇徐均琪
  • 13篇潘永强
  • 11篇梁海锋
  • 9篇惠迎雪
  • 9篇严一心
  • 7篇阳志强
  • 7篇郭忠达
  • 7篇田爱玲
  • 6篇蔡长龙
  • 6篇吴慎将
  • 6篇刘丙才
  • 6篇苏俊宏
  • 5篇李党娟
  • 5篇周顺
  • 5篇高爱华
  • 4篇刘欢
  • 4篇刘群华

传媒

  • 20篇西安工业大学...
  • 13篇真空科学与技...
  • 9篇应用光学
  • 7篇表面技术
  • 6篇红外与激光工...
  • 4篇光学技术
  • 3篇国外电子测量...
  • 3篇中国真空学会...
  • 2篇物理学报
  • 2篇激光与光电子...
  • 2篇材料导报
  • 2篇真空
  • 2篇光学仪器
  • 2篇电子设计工程
  • 1篇光电子.激光
  • 1篇稀有金属材料...
  • 1篇物理
  • 1篇特种铸造及有...
  • 1篇光学学报
  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 7篇2014
  • 9篇2013
  • 14篇2012
  • 11篇2011
  • 20篇2010
  • 11篇2009
  • 12篇2008
  • 6篇2007
  • 6篇2006
103 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
加强高校实践教学改革的研究与探讨被引量:1
2008年
实践教学不但培养学生动手能力和分析问题、解决问题的能力,而且直接影响学生的世界观和思维方法,它是培养学生动手能力和创新精神的重要途径。本文就如何更好的改革实践教学,进一步提高学生的动手能力展开讨论,提出了若干行之有效的方法。
刘欢王珊珊宋亮
关键词:实践教学教学模式
红外光幕靶信号采集与调理电路设计被引量:3
2010年
针对PDF文件的特点,应用pdfbox开源库对PDF文件进行解析,去除PDF文件的文件头、交叉引用表以及文件尾等额外的文档描述信息得到目标信息。在研究不确定性理论的基础上,确定初始证据各种特征的可信度计算方法,通过推理网络及证据理论的推理算法,得到各个证据的可信度,最后比较各个证据可信度,对论文元数据进行抽取。实验表明,各类元数据的查全率都在87%以上,查准率都在92%以上,与常用的正则表达式方法相比准确率提高了10%以上,大幅提高了工作效率。
信强刘群华赵新林韩峰
关键词:红外光幕靶靶场测试弹丸
氮氧化硅薄膜红外吸收特性的研究被引量:2
2011年
利用等离子体增强化学气相沉积法沉积氮氧化硅(SiOxNy)薄膜,通过X射线光电子能谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、椭偏仪等表征技术,研究不同N2O与NH3流量比R条件下薄膜的组分、光学常数及红外吸收特性。研究结果表明:随着流量比R的增加,SiOxNy薄膜中O的相对百分含量提高,N含量降低,而Si含量基本不变;薄膜由于Si—O、Si—N键形成的吸收峰峰值波长向短波(高波数)移动,变化范围为11.6μm(波数860 cm-1)~9.4μm(波数1063 cm-1),且吸收峰的宽度先增大后减小。此外,薄膜的折射率与薄膜中H含量也随流量比R的增加而降低。相比于SiOx,SiNx薄膜,组分特定的SiOxNy薄膜的吸收峰最宽且在长波红外窗口8~12μm内吸收强度最大,说明SiOxNy薄膜是一种良好的热探测器选择吸收层材料。
周顺刘卫国蔡长龙刘欢
关键词:光学氮氧化硅红外吸收等离子体增强化学气相沉积
智能交通灯控制器的设计被引量:5
2010年
现代社会对交通运输日趋依赖,传统的交通灯控制系统已经表现出明显的缺点:红绿灯时间相对固定,不能随车流量的改变而调整红绿灯的显示时间。基于上述原因,设计了一种简易的智能交通灯控制器系统。首先介绍了交通灯控制系统的设计方案,以单片机AT89S51芯片为中心来实现智能控制;接着用汇编语言在Keil环境下进行编程调试,通过软件Protues实现硬件仿真,最后将软件系统与硬件联调,实现了以下功能:绿灯时间可检测车流量并可通过双位数码管显示,能根据实际车流量自动设置红绿灯燃亮时间;红绿灯循环点亮,倒计时5s时黄灯闪烁警示;车辆闯红灯报警。该控制器系统在很大程度上缓解了交通压力,解决了繁华道路交通堵塞等情况。
吴慎将李党娟
关键词:单片机交通灯车流量检测报警汇编语言
氧气气氛对氧化铪薄膜性能的影响被引量:4
2009年
在有氧和无氧气氛条件下,采用真空电子束热蒸发技术在P-Si(100)硅衬底上制备了HfO2薄膜.利用X射线光电子能谱,对薄膜的化学组分进行表征,利用椭偏法对薄膜的膜厚和折射率进行测定,利用紫外可见光谱测量了薄膜的在200 nm^1 200 nm范围内的光透过率,并计算出其光学能隙,利用C-V测试系统对退火后薄膜的介电性能进行测试.结果表明,有氧和无氧条件下制备的薄膜中组分含量存在明显差异,相比于无氧条件下制备的薄膜,有氧条件下制备的薄膜中含有较少的铪单质,因而在可见光范围内具有较高透光率和光学能隙,较低的折射率和更优异的介电性能.
惠迎雪杨陈田玉祥徐均琪
关键词:电子束蒸发HFO2薄膜透过率椭偏仪C-V特性
纯Ti镀制TiSiN薄膜后与Solidex结合强度的研究被引量:1
2008年
在纯Ti表面磁控溅射镀制不同Si含量的TiSiN膜后,比较与Solidex的结合强度并对界面进行分析。试验采用3组纯Ti试件,一组表面不作处理,另两组应用磁控溅射设备镀制不同Si含量的TiSiN膜后烤塑,采用AGS万能材料试验机测试纯Ti与Solidex的结合强度,并应用电子探针显微分析仪观察分析镀膜层-树脂界面。经方差分析显示,镀膜组结合强度优于未镀膜组,镀膜组中提高Si含量增加了结合强度,镀膜组中形成致密非晶态TiN、SiNx,它填补了金属基底与Solidex烤塑专用树脂可能存在的空隙,有助于阻止金属离子渗出。
尹路王戈张琳琳梁海峰郭天文
关键词:磁控溅射镀膜
抛物面反射镜光轴的确定被引量:6
2008年
介绍了一种确定抛物面反射镜光轴的新方法。当抛物面反射镜绕着机械旋转轴旋转时,利用2束平行光(一束与机械旋转轴平行的光和一束与机械旋转轴成一定角度的斜平行光)经抛物面反射镜反射的像点运动,调整抛物面反射镜的位置,使光轴与机械旋转轴重合。理论分析结果表明:其定轴的倾斜误差不大于1,′平移误差不大于5μm。该方法可用于抛物面反射镜检验,也可用于抛物面反射镜的调校工艺中。
陈钦芳徐昌杰王青松
关键词:非球面加工
磁控反应溅射沉积AlN薄膜的制备工艺被引量:1
2008年
采用反应磁控溅射的技术,利用高纯氮气和氩气混合气体在K9玻璃基片上沉积了AlN薄膜.通过正交实验,分析了工艺参数与沉积速率的关系.研究了氮气浓度对透过率的影响.实验结果表明:在各工艺参数中靶功率对沉积速率影响最大,靶功率为1.0kW,氮气浓度控制在25%~35%时薄膜的性能良好,沉积速率为39nm/min,薄膜在可见光区域平均透过率为90%.该薄膜可以广泛用于光学薄膜和压电薄膜材料.
朱昌朱春燕
关键词:反应磁控溅射ALN薄膜沉积速率透过率
氮硅锆-羟磷灰石涂层应用于纯钛种植体的实验研究被引量:3
2009年
目的对比研究采用不同涂层的纯钛种植体表面骨结合力及耐腐蚀性。方法采用等离子喷涂技术在纯钛表面制备氮硅锆-羟磷灰石(ZrSiN-HA)复合涂层并植入实验动物下颌骨。利用扫描电镜(SEM)观察分析复合涂层的表面形貌,电子万能材料实验机对比检测ZrSiN-HA组、氮硅锆(ZrSiN)组、羟磷灰石(HA)组与纯钛种植体组涂层的骨结合力并观测各组断裂区域的形貌,电化学腐蚀测试系统对比检测4组涂层的耐腐蚀性。结果种植体表面喷涂ZrSiN-HA后较单纯喷涂HA的表面更加致密,结晶化明显;ZrSiN-HA涂层与其他涂层比较骨结合力最高,耐腐蚀性能最强。结论ZrSiN-HA涂层的应用有利于种植体的长期固位,对齿科修复体具有一定的应用价值。
尹路惠迎雪姚江武
关键词:纯钛骨结合等离子喷涂
直流磁过滤电弧源沉积氧化铝薄膜的研究被引量:1
2013年
采用直流磁过滤电弧源技术,在K9玻璃基底上制备氧化铝薄膜,研究了沉积时的氧气分量和阴极靶电流对薄膜折射率、沉积速率、消光系数和表面粗糙度的影响。结果表明:薄膜折射率、沉积速率和消光系数均随着氧气分量的增加而降低,随着阴极靶电流的升高而增加;薄膜表面粗糙度则随氧气分量或阴极靶电流的增加,呈先减小、后增大的趋势。分析认为,主要是因为随着氧气分量和阴极靶电流的变化,基底表面铝原子和氧气的比例发生了改变,进而影响到薄膜的相关性能。
弥谦王昆刘哲
关键词:氧化铝薄膜
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