中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
- 作品数：163 被引量：883H指数：15
- 相关作者：曹健林王占山翁兆恒米宝永钱神恩更多>>
- 相关机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院物理研究所吉林工业大学理学院应用物理系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 磁流变抛光技术被引量：98
- 1999年
- 对磁介质辅助抛光技术２０ 年来的发展作了简要的回顾，进而介绍了磁流变抛光技术的产生和发展背景、抛光机理及微观解释、数学模型，同时提出了这种抛光技术的关键所在，并对其发展未来进行了展望。
- 张峰余景池张学军王权陡
- 关键词：磁流变抛光抛光
- 用于LCOS微显示的折射-衍射目视系统设计被引量：6
- 2002年
- 设计了一种用于计算机娱乐和3-D虚拟现实的头盔目视系统,该系统由一个折射-衍射混杂目镜和一个中继反射镜构成,适用于规格为18mm的微电子硅芯片液晶（LCOS）显示.整个系统在满足60°大视场、10mm出瞳直径和23mm出瞳距离的前提下,有效地减小了重量和尺寸,并且像差优良.
- 赵秋玲王肇圻母国光卢振武
- 关键词：系统设计
- 离子束刻蚀过程中台阶侧壁倾斜现象研究被引量：2
- 2000年
- 从标量衍射理论出发 ,在傅立叶光学的基础上 ,建立一个数学模型 ,分析台阶侧壁倾斜对多阶菲涅耳透镜衍射效率的影响。并通过实验 ,分析影响台阶侧壁倾斜、表面粗糙度和刻蚀速率的因素 ,确定离子束刻蚀菲涅耳透镜的最佳工艺参数。
- 李红军卢振武廖江红翁志成
- 关键词：离子束刻蚀
- 三刺激值配色和全光谱配色的比较被引量：30
- 1999年
- 通过三刺激值配色和全光谱配色的比较，将最小二乘法应用于三刺激值配色中，并将三刺激值配色的基本思想变化为使匹配色和标准色的色差趋于最小，同时，给出了配方的具体表达式。计算机配色的预测结果表明此方法能够较好地满足配色要求。
- 王喜昌周丰昆禹秉熙龙科慧
- 关键词：计算机配色
- 软X射线多层反射膜的一种新型设计方法被引量：5
- 1999年
- 在循环递推法基础上加入随机数运算，得到一种简易、精度高、有较高实用价值的多层发射膜设计方法。给出了设计步骤，进行了一系列多层膜设计。通过比较，这种方法与复振幅平面法所得结果非常接近，甚至有的多层膜的设计结果更好。
- 柯常军王占山张铁强曹健林陈星旦
- 关键词：软X射线多层膜随机数设计方法光学元件
- LD泵浦的紧贴式产业化固体绿激光器的研究被引量：2
- 1999年
- 通过对ＬＤ泵浦的固体激光器热效应的分析，给出了计算热效应的理论方法，以及紧贴腔结构的实验方法，对ＬＤ泵浦的固体激光器的产业化提供理论与实验基础。
- 刘伟仁钱龙生余锦
- 关键词：LD泵浦固体激光器绿激光器热效应
- 软X射线接触式显微术研究
- 1999年
- 按照生物样品各分辨单元具有多种透过率的特点，设计了一个多衬度的台阶状蛋白质模型，根据曝光量与衬度，信噪比，抗蚀膜性能的关系，确定了曝光量。同时模拟样品模型各台阶的真实成像条件，测量了各台阶所对应的抗蚀膜显影速率曲线，对显影条件作了定量分析。将曝光量，显影条件，与分辨率紧密结合起来，找到了一种较好的实验方法。
- 刘毅楠王占山李哲曹健林林宜平
- 关键词：软X射线显微术生物样品曝光量
- 冷冻靶激光等离子体软X射线源
- 1998年
- 报道了以固态ＣＯ２作为靶材的一种新型激光等离子体软Ｘ射线源，与常规金属靶激光等离子体软Ｘ射线源相比，它是一种低污染的光源，深入研究正在进行中。
- 林景全陈波陈波曹健林陈星旦
- 关键词：激光等离子体
- 共路外差表面轮廓仪被引量：7
- 1993年
- 本文提出了一种改进的外差共路干涉仪,用于表面粗糙度的测量,它对机械振动、温度变化等极不敏感,纵向分辨率为0.1nm,可用于表面粗糙度的实际检测工作.
- 韩昌元刘斌卢振武张晓辉顾去吾
- 关键词：轮廓仪表面粗糙率光洁度量仪
- 用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性
- 1998年
- 我们用Ｈｅｎｋｅ型软Ｘ射线源完成了栅网的接触式成像，采用Ｔａｌｙｓｔｅｐ台阶仪测量了不同曝光时间ＰＭＭＡ光刻胶的溶解速率。由测量曲线可知光刻胶在显影开始时速率较快，随着时间的增加，溶解速率逐渐趋缓，最后达到所有的曝光时间下的样品的溶解速率都相同。这与理论分析十分吻合。
- 王占山刘毅楠曹健林
- 关键词：显微术光刻胶X射线
