厦门大学物理与机电工程学院机电工程系
- 作品数：989 被引量：3,834H指数：24
- 相关作者：席文明韩雷高文秀王磊游龙翔更多>>
- 相关机构：集美大学机械工程学院集美大学轮机工程学院华侨大学机电及自动化学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金福建省自然科学基金厦门市科技计划项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信金属学及工艺更多>>
- TMAH单晶硅腐蚀特性研究被引量：16
- 2003年
- TMAH是一种具有优良的腐蚀性能的各向异性腐蚀剂,选择性好,无毒且不污染环境,最重要的是TMAH与CMOS工艺相兼容,符合SOC的发展趋势。TMAH正逐渐替代KOH和其他腐蚀液,成为实现MEMS工艺中微三维结构的主要腐蚀剂。本文着重介绍了TMAH的特性、工艺条件及应用。
- 邓俊泳冯勇建
- 关键词：TMAH单晶硅各向异性腐蚀微机电系统
- 大口径光学元件超精密加工技术与应用被引量：24
- 2013年
- 大口径光学元件超精密加工技术是多种学科新技术成果的综合应用,促进了民用和国防等尖端技术领域的发展,在国家大光学工程的推动下,我国的超精密加工技术取得显著的成果。围绕大口径光学元件'高精度磨削+确定性抛光'超精密加工体系,介绍该领域研究进展及厦门大学微纳米加工与检测联合实验室取得的相关研究成果,主要针对光学元件磨削和抛光两个加工流程,详细分析磨削装备技术、磨削工艺技术、精密检测技术、可控气囊抛光技术、加工环境监控技术和中频误差评价技术等关键技术的研究应用情况。这些技术研究从超精密加工的需求出发,借鉴国内外的研究经验和成果,通过对装备、工艺、检测等各方面整合,形成具有自主知识产权的大口径光学元件磨抛超精密加工体系,从而实现大口径光学元件高精度、低缺陷加工。
- 郭隐彪杨炜王振忠彭云峰毕果杨平
- 关键词：超精密加工气囊抛光环境监控
- 钟表分轮自动装配机的设计与实现被引量：3
- 2009年
- 设计了一台全自动的钟表分轮装配机,阐述了该机的构成和控制原理,很好地实现了分轮和分轮轴的快速高效装配,极大提高了分轮和分轮轴装配车间的生产效率和产品品质,节约了大量的人力成本。该机所设计的装配件采用整体预定位的方法,缩短了定位时间,提高了装配精度,适用于其它类似精密器件的自动装配上。
- 陈满足胡国清栾厚宝
- 关键词：分轮
- 三角履带诱导轮动力学建模与脱轮仿真被引量：9
- 2013年
- 为解决三角履带脱轮问题,将动力学仿真技术应用到设计中。结合诱导轮、张紧装置、支撑轮、驱动轮等部件的结构,分析了其受力情况,并建立了一类诱导轮张紧装置的动力学模型;同时利用多体动力学软件RecurDyn建立了三角履带车辆的模型,研究了其诱导轮张紧装置的预紧力参数变化对履带张紧力和前端支撑轮垂向位移的影响规律。研究结果表明:适当地增加车辆三角履带张紧装置的压力能够有效地减少支撑轮的垂向位移;计算结果与仿真值的比较结果显示两者基本吻合,说明了该仿真模型的合理性,这为三角履带详细设计阶段各参数的获取提供了参考。
- 钱尧一侯亮林文广林森泉
- 关键词：诱导轮动力学RECURDYN仿真
- 线材折弯回弹的分析与补偿被引量：4
- 2014年
- 回弹对于线材折弯加工的精度影响非常明显,为探索线材回弹规律,建立了线材折弯过程的数学模型,以材质45钢的线材为研究对象,进行有限元分析与试验研究。验证了有限元分析与试验方法获得回弹角度数据的一致性,考虑折弯角度和线材直径两个主要参数对回弹的影响,建立了线材折弯回弹角度的双参数数学模型。将回弹角度双参数数学模型应用于弯丝机的补偿模块,进行线材折弯试验,取得明显的折弯补偿效果,使线材折弯加工精度达到了1°,实现了对任意折弯角度和线材直径的线材折弯回弹补偿。
- 王萌萌姚斌沈志煌欧阳醌卢杰冯伟张东生
- 关键词：线材有限元回弹补偿
- 过热蒸汽流量微机计量系统被引量：6
- 2002年
- 本计量系统以节流装置标准孔板为检测手段 ,采集实时工况参数 :压力、差压、温度 ,根据过热蒸汽流量计量数学模型 ,对流出系数c、流束膨胀系数ε、节流装置开口直径d、节流装置前过热蒸汽的密度 ρ等进行在线实时修正补偿 。
- 陈永明黄元庆许旭亮
- 关键词：过热蒸汽流量节流装置系统设计微机检测系统
- 超声技术在硅湿法腐蚀中的应用被引量：9
- 2009年
- 为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面，在硅湿法腐蚀中引入超声技术。对超声湿法腐蚀系统进行了改进，以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0．5℃之内。采用60℃，10％质量分数的KOH溶液，在超声频率为59kHz，超声功率为60～180w（间隔10W）条件下对（100）硅片进行湿法腐蚀。最后，运用激光共聚焦扫描显微镜（LSCM）对腐蚀后硅片表面粗糙度进行测量，并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响。实验结果表明：超声功率在120W时，可以获得平滑的腐蚀表面，表面粗糙度Rq值为0．020um。在湿法腐蚀系统中采用超声技术，可以明显改善腐蚀表面质量，在较低温度和较低浓度的KOH溶液中，选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面。
- 曾毅波王凌云谷丹丹孙道恒
- 关键词：湿法腐蚀超声技术表面粗糙度激光共聚焦扫描显微镜微机电系统
- 上横梁变形分析过程的参数化
- 2004年
- 本文利用MSC．Patran提供的PCL语言编写了上横梁的建模、加载、分析和结果读取等函数，实现了上横梁受力变形分析的参数化，从而火大提高了变形仿真的效率，且为后续的优化工作奠定了基础。
- 刘益芳候亮
- 关键词：参数化PCL仿真横梁受力变形
- 机器人视觉伺服控制中的自标定方法研究被引量：1
- 2009年
- 利用误差矩阵方法对系统进行标定,虽然该标定不能完全消除系统坐标系间的误差,但与未标定坐标系间误差相比,精度有了很大的提高。在系统标定后,可以用基于位置的视觉跟踪方法对特征点进行跟踪,提高系统的速度。该方法的最大优点,是标定过程简单、精度高。实验结果表明,在光学系统畸变影响下,一次标定可以将误差控制在3个像素范围内。
- 许群姚胜强王媛媛席文明
- 关键词：视觉跟踪
- 光纤传感网络用于电磁流变结构的特性测试与工程控制
- 1999年
- 电流变材料(Electrorheological-ER)是近年出现的能够在外加电场作用下改变性能的新材料,光纤传感器以其优良的抗电磁干扰能力成为ER构件的性能测试和应用研究中的首选.智能结构使用的难点之一是根据实际使用的目的和结构设计合适的传感器和控制系统.本文先探讨了偏振光纤传感器测量ER构件的动态应变的基本原理,然后以欧拉- 伯努利(Euler-Bernoulli)梁的横向弯曲振动为例讨论了一种用光纤传感网络判断一维振动的几阶振动模式的方法,进而探讨了二维情况下圆板振动模式的判断,可作为动态情况下智能结构实际使用的参考模式.
- 侯芳韩雷
