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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
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一种用于真空干泵测试的智能控制系统
本发属于控制领域及真空干泵领域,具体涉及一种用于真空干泵测试的智能控制系统,包括PLC控制器、温度控制模块、流量控制模块、真空获得模块、压力测量模块、变频调速模块、微型处理器、循环冷却系统、继电器模块、数据显示模块,可以...
刘坤
关天恩
雷震霖
王光玉
孔祥玲
郝明
陈树雷
巴德纯
文献传递
真空干泵可靠性技术及其应用
近年来,随着新兴产业的快速发展和传统行业的升级加速,干式真空泵的需求旺盛,国内真空行业出现了数量众多的干泵制造企业,真空干泵的发展迎来了井喷式增长时期。与此同时,由于干泵应用环境苛刻,真空干泵制造企业也面临着巨大的挑战。...
王光玉
文献传递
一种防止低温泵泄压阀反向泄露的密封装置
本实用新型涉及低温泵的密封装置,具体地说是一种防止低温泵泄压阀反向泄露的密封装置,包括密封帽、密封垫及紧固件,其中密封帽通过所述紧固件安装于低温泵泄压阀处,所述密封帽完全覆盖住泄压阀;所述密封帽具有密封面,所述密封帽的密...
张学锋
王勇
毕永生
佟雷
王启佳
赵崇凌
雷震霖
金属压铸设备的压射装置
本实用新型提供了一种金属压铸设备的压射装置。金属压铸设备包括真空室,压射装置包括液压缸和压射杆,液压缸包括缸筒、前缸盖和液压缸传动轴,其中压射杆连接于液压缸的液压缸传动轴,压射杆位于真空室内。真空室的侧壁上设有传动孔,液...
陈列
葛琪威
吴雷斌
黄晓霞
张国栋
王宏宇
谢中泉
吕文强
文献传递
一种真空泵测试系统及测试方法
本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真...
刘坤
迟小宇
雷震霖
于明鹤
毕德龙
张军
郭丽娟
刘永源
杜广煜
巴德纯
一种多级罗茨真空泵
本发明涉及真空技术领域,具体地说是一种多级罗茨真空泵,包括罗茨泵腔、隔板、罗茨转子、第一封盖、第二封盖和转子轴,其中罗茨泵腔和隔板交错设置,每个罗茨泵腔中均设有罗茨转子,罗茨泵腔包括可拆装的泵腔上部和泵腔下部,且罗茨泵腔...
刘坤
倪久双
王光玉
孔祥玲
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迟小宇
巴德纯
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一种机械手
本发明涉及真空镀膜实验设备技术领域,具体的说是一种机械手。包括磁力传递杆、驱动手柄及夹持机构,其中驱动手柄安装在磁力传递杆的一端,通过磁力耦合可驱动磁力传递杆沿其旋转轴线方向直线移动并可绕其旋转轴线方向转动,夹持机构安装...
白印
冯彬
鲁向群
雷震霖
郭东民
文献传递
一种真空干泵内部流场参数测试系统
本发明涉及真空干泵测试领域,具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统,包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶,第一真空室与待测真空干泵的进气口相连,第二真空室与待测真空干泵的出气口相连,...
刘坤
关天恩
雷震霖
王光玉
孔祥玲
毕德龙
段启惠
迟小宇
陈树雷
杜广煜
巴德纯
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一种真空泵粉尘沉积过滤装置
本发明涉及真空泵技术领域,具体地说是一种真空泵粉尘沉积过滤装置。包括冷却腔、导流机构、及冷却腔盖板,其中导流机构的外侧设有冷却腔,所述冷却腔的下端设有冷却腔盖板,所述导流机构容置于冷却腔和冷却腔盖板所形成的内腔内,所述冷...
雷震霖
王光玉
刘在行
文献传递
一种应用于超高真空环境一体式水冷套
本发明涉及分子束外延设备束源炉配件技术领域,具体地说是一种应用于超高真空环境一体式水冷套,内、外筒顶部和底部分别焊超高真空刀口法兰或端堵,最高点开口处在轴向竖直位置的金属管,贴合内、外筒壁面螺旋等距缠绕,形成螺旋环形水道...
雷震霖
毕永生
赵崇凌
黄成
王勇
陈春
果彬
王启佳
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