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上海微高精密机械工程有限公司

作品数：311 被引量：44H指数：3
相关作者：陈元棣更多>>
相关机构：上海微电子装备(集团)股份有限公司上海理工大学上海电机学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程经济管理更多>>

合作机构

文献类型

  • 275篇专利
  • 35篇期刊文章

领域

  • 34篇电子电信
  • 16篇自动化与计算...
  • 6篇机械工程
  • 4篇理学
  • 3篇经济管理
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇电气工程
  • 3篇文化科学
  • 2篇环境科学与工...
  • 2篇医药卫生
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇农业科学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 90篇光刻
  • 51篇硅片
  • 45篇掩模
  • 43篇光刻设备
  • 41篇对准标记
  • 41篇信号
  • 39篇光刻机
  • 33篇工件台
  • 22篇电机
  • 20篇微动
  • 19篇光栅
  • 18篇掩模版
  • 18篇模版
  • 17篇调平
  • 15篇感器
  • 14篇探测器
  • 14篇晶片
  • 14篇机械手
  • 12篇调焦
  • 12篇信号处理

机构

  • 310篇上海微高精密...
  • 17篇上海微电子装...
  • 3篇上海理工大学
  • 2篇上海电机学院
  • 1篇电子科技大学
  • 1篇华北电力大学
  • 1篇甘肃省科学院
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇威海市烟草专...
  • 1篇中国科学院兰...

作者

  • 3篇姜晨
  • 2篇马西沛
  • 1篇李洪珠
  • 1篇芮晓明
  • 1篇蒋亚东
  • 1篇柳亦兵
  • 1篇袁凯
  • 1篇吴志明
  • 1篇周超
  • 1篇叶卉
  • 1篇陈蕾
  • 1篇何峰
  • 1篇陈元棣
  • 1篇王军

传媒

  • 22篇电子工业专用...
  • 1篇电子科技
  • 1篇振动．测试与...
  • 1篇甘肃科学学报
  • 1篇无机材料学报
  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇真空
  • 1篇世界仪表与自...
  • 1篇集成电路应用
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇材料科学与工...
  • 1篇光学与光电技...
  • 1篇现代营销（上...
  • 1篇上海电机学院...

年份

  • 1篇2024
  • 10篇2023
  • 3篇2022
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 8篇2019
  • 9篇2018
  • 16篇2017
  • 18篇2016
  • 17篇2015
  • 25篇2014
  • 28篇2013
  • 30篇2012
  • 53篇2011
  • 19篇2010
  • 43篇2009
  • 22篇2008
  • 1篇2006
  • 3篇2005
  • 2篇2004
共 311 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种自动增益系统信号与增益同步采集装置与方法
本发明公开一种自动增益系统信号与增益同步采集装置及方法，该装置中包括：自动增益系统信号采集模块、增益同步采集模块和信号增益采集控制器，自动增益环节输入信号进入所述自动增益系统信号采集模块后分为两路，一路进入所述信号增益采...
王海江李运锋唐文力程鹏曹佩宋海军
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一种提高机械手示教效率的方法
本发明提供了一种提高机械手示教效率的方法，可有效解决片库安装误差对机械手传输的影响，提高机械手示教效率。所述方法包括步骤1：定义自定义坐标系，将机械手示教的片库的物理坐标系存入自定义坐标系的数据结构；步骤2：分别示教机械...
王文刚胡海峰李若庆
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基于外参考干涉对准技术的对准系统信号处理方法
2014年
给出了基于外参考干涉对准技术的对准系统的对准原理及信号处理流程。包括:基于外参考干涉对准技术的对准系统的对准原理;电子信号处理模块主要结构;信号的处理流程和算法原理,各衍射级次信号的分离方法简述等。
唐文力
关键词：信号处理解调信号分离
一种用于光刻设备的对准系统及对准方法
本发明提供了一种用于光刻设备的对准系统及对准方法，所述对准系统采用的参考标记的中间分支为共用参考标记，所述共用参考标记由不同方向的条形振幅光栅组成，形成新形式的参考标记，可以实现两个方向的位置扫描，使对准信号信噪比和强度...
杜聚有徐荣伟王诗华
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一种双轴同步与差动运动系统及其控制补偿方法
本发明涉及一种双轴同步与差动运动系统及其控制补偿方法，该系统包括平行设置的主动轴和从动轴，主动轴和从动轴包括分别沿主动轴和从动轴方向运动的直线运动单元，从动轴上还设有旋转机构，旋转机构包括固定件、旋转件及第一连接件和第二...
黄春霞田翠侠
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一种运动体的测量和初始化装置
本发明公开了一种运动体的测量和初始化装置，用于测量运动体在X、Y及Rz方向的位移以及对运动体进行初始化复位，包括三组二维测量机构、设于每组二维测量机构上的解耦机构、以及四组初始复位机构，其中两组二维测量机构位于运动体的X...
刘屈武李进春
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一种多采集通道的先进先出数据存储系统及其方法
本发明提供一种多采集通道延时先进先出数据存储系统和方法，存储系统包括依次连接的多通道采集单元、先进先出存储控制单元、存储单元、多通道缓冲单元，其特征在于：包括依次连接于多通道采集单元的的测量单元和采集调整单元，使用测量单...
王海江唐文力杨兴平宋海军胡明辉
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输电线路风雨激振分析模型及数值分析被引量：6
2012年
在分析电晕放电激振机理的基础上,基于有限单元法和Newmark积分法建立了输电线路风雨激振有限元分析模型。基于试验和数值分析方法,以输电线型号LGJ-240的相关参数为参考,分别研究了电晕放电离子风的产生及响应、电晕力和风载作用下的瞬态响应和谐响应特性。研究表明,电晕放电对舞动具有显著作用,并在特定输电线结构条件下,易于与外界风载耦合作用引起舞动。分析方法和结论可为多风雨区域的特高压输电线路设计、已有线路升级改造以及振动抑制提供必要参考。
周超芮晓明柳亦兵齐芊枫
关键词：有限单元法离子风电晕放电
零光程差自参考干涉对准系统
本发明提出一种零光程差自参考干涉对准系统，包括：激光光源模块，用于提供所需的照明光束；光学模块，用于将照明光束照射到对准标记上，形成光学信号；电子采集模块，用于将所述光学信号进行处理，获得光强信号；软件模块，用于对光强信...
蓝科李运锋王诗华
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一种工件台漏水保护装置
本发明提供一种工件台漏水保护装置，所述工件台包括：底板、安装于所述底板上的冷却水管、冷却水接头及电气部件，所述漏水保护装置包括漏水保护槽，所述漏水保护槽设置于所述底板中；所述漏水保护槽分布于所述底板上所述冷却水管、冷却水...
范哲光齐芊枫
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